规格参数
| 型号 | GY-TCS-600 |
|---|---|
| 控温区数 | 2~8 区(可按需扩展) |
| 控温范围 | 室温~600℃(依加热单元而定) |
| 传感器类型 | K/J/T 型热电偶、PT100/PT1000 热电阻 |
| 控温方式 | PID 闭环,支持分区独立设定 |
| 安全功能 | 超温报警、断偶检测、加热回路保护 |
产品详情
国洋热控成套温控系统(GY-TCS 系列)是一套面向高端制造场景的加热、测温、控温一体化解决方案,由加热执行单元、高精度温度传感器、智能温控主机及成套电气配套组成,适用于半导体、真空镀膜、工业高温炉等对温度均匀性与控制精度要求较高的工艺环节。系统按工艺需求定制,出厂前经热场均温测试与传感器等级鉴定,接线调试完成即可投用,适合希望缩短现场集成周期、降低多供应商协同成本的制造企业。
行业趋势:温控从"单点设备"走向"成套系统"
从近年高端制造的投资结构看,温控环节正在发生两个变化。其一,工艺窗口持续收窄:半导体前道设备、PVD/PECVD/CVD/ALD 等镀膜工艺对基片与腔体温度的均匀性要求越来越高,单靠一支加热器或一只温控表已难以覆盖整条热路。其二,设备国产化与本地化配套需求上升,整机厂更倾向寻找能同时提供加热器、传感器与控温逻辑的成套供应商,以减少接口不匹配、响应滞后与责任边界不清的问题。
在这一背景下,"成套温控系统"的价值不在于某一个部件有多突出,而在于热源、测点、控制算法与电气配套之间的匹配度。国洋热控的业务结构覆盖真空加热、铠装加热器、薄膜加热组件、热电偶与热电阻传感器、智能温控系统及非标电加热成套设备,恰好对应这一集成化趋势,公司也是江丰旗下睿晟半导体、先锋电子、红太阳集团、先导科技、上海微电子、中国航空航天集团等企业的指定供应商。
系统构成与核心功能
GY-TCS 系列以"分区加热 + 多点测温 + 闭环控温"为基本架构,可根据腔体或工件的热分布划分为若干独立控温区,每区配置加热执行单元与测温传感器,由温控主机统一采集与调节。主要功能包括:
- 多区独立控温,支持分区设定不同温度曲线,缓解边缘与中心温差
- 支持热电偶(K/J/T 型等)与热电阻(PT100/PT1000)多种传感器接入
- 具备超温报警、断偶检测、加热回路保护等安全逻辑
- 温控主机可选配通讯接口,便于接入上位机或产线控制系统
- 柜体与布线按现场工况成套设计,减少现场二次加工
加热执行单元可根据使用环境选择真空、防爆、铠装或薄膜加热组件;传感器部分由公司自主加工与标定,配合真空环境热场均温测试平台与热成像分析手段,在交付前对温度分布做验证,参数以实物及出厂测试记录为准。
相比分散采购方案的差异
常规做法是加热器、传感器、温控表分别向不同厂家采购,再由设备方自行集成。这种方式灵活,但在高精度场景中容易暴露几个问题:传感器与温控主机的分度号、补偿方式不一致导致读数偏差;加热功率与控温算法不匹配造成超调或响应迟缓;出现温度异常时,责任归属与排查路径较长。
成套系统的思路是把这些接口在出厂前统一:加热功率、测点位置、采样周期与控制参数按同一工艺目标联合调试,交付时附成套图纸与接线说明。对用户而言,收益主要体现在集成周期缩短、故障定位集中、后续备件与维护接口统一。需要说明的是,成套方案并非适用于所有场景,小批量、单点加热的需求采用分立器件往往更经济,用户在选型时可结合实际工艺评估。
应用场景
该系统主要面向对温度均匀性与稳定性有明确要求的工艺环节,典型场景包括:
- 半导体制造中的腔体加热、基座温控与工艺前处理
- 真空镀膜工艺(PVD、PECVD、CVD、ALD)中的基片与腔壁温度管理
- 真空炉、气氛炉等工业加热设备的成套温控配套
- 需要防爆或铠装结构的特殊工况加热与测温
不同场景对温区数量、控温精度、升降温速率的要求差异较大,具体配置需结合工艺曲线与腔体结构确认,具体参数请咨询。
研发支撑与服务交付
国洋热控为高新技术企业,现有授权专利2项、在申请专利6项,建有高精度热成像分析平台、真空环境热场均温测试平台、均温红外测试综合实验室及热电偶等级鉴定设备,形成从研发设计到生产制造的过程质控。公司同时是西安交大等多所高校的产学研合作基地,按"实验室研发—中试转化—产业化落地"的路径推进技术工程化。目前公司正与华碧检测洽谈共建电加热领域温度传感器专业检测中心,以进一步完善质量管控体系。
交付方面,成套系统按项目制推进:需求确认与热场评估、方案设计与选型、加工制造与出厂测试、现场安装指导与调试、售后备件与技术支持。非标部分支持按图纸或样品定制,交期视配置复杂度确定,以合同约定为准。
规格参数
- 型号:GY-TCS-600
- 控温区数:2~8 区(可按需扩展)
- 控温范围:室温~600℃(依加热单元而定)
- 传感器类型:K/J/T 型热电偶、PT100/PT1000 热电阻
- 控温方式:PID 闭环,支持分区独立设定
- 安全功能:超温报警、断偶检测、加热回路保护
以上参数为典型配置,以实物为准,具体参数请咨询。
联系方式:国洋热控 13773346667,地址:江苏省(详细地址请来电咨询)。