规格参数
| 材质 | 高纯氧化铝(纯度 99% 及以上,可按需选配氧化锆、氧化钛) |
|---|---|
| 常用规格 | 按图纸定制,支持异形结构与孔位加工 |
| 表面处理 | 抛光加工,表面粗糙度与平面度按客户要求控制 |
| 适用环境 | 真空、等离子、清洗及一般腐蚀性介质工况 |
| 供货形式 | 样品试制与批量供货均可 |
| 备注 | 以上参数为常规范围,具体参数请咨询,以实物为准 |
产品详情
上海半导体高纯陶瓷部件(如晶圆传输臂、真空吸盘、等离子刻蚀腔体绝缘件等)是面向半导体设备厂及晶圆制造产线的关键耗材与结构件。广龙特种陶瓷推出的 GL-SC99A 系列高纯氧化铝陶瓷部件,主材纯度可达 99% 以上,适合对颗粒污染、金属离子析出和绝缘性能有较高要求的半导体工艺场景。核心卖点在于高纯度材质控制、稳定的抛光与平整度工艺,以及可按图纸定制非标结构。对于正在寻找上海及周边地区半导体陶瓷部件供应渠道的采购与工艺人员,可通过文末联系方式直接沟通。
产品概述与功能定位
GL-SC99A 系列是广龙特种陶瓷针对半导体设备配套需求开发的高纯陶瓷部件产品线,主要材质为 99% 及以上纯度的氧化铝陶瓷,也可根据工况选用氧化锆、氧化钛等材质方案。产品在半导体产线中通常承担三类角色:一是作为晶圆搬运与定位环节的接触件,如机械手末端执行器、真空吸盘;二是作为等离子体环境下的绝缘与耐蚀部件,如腔体内衬、绝缘环;三是作为高洁净度环境中的结构支撑件。其功能核心在于减少颗粒脱落与金属污染,同时在反复清洗和温度变化条件下保持尺寸稳定。
材质特点与工艺优势
半导体工艺对陶瓷部件的洁净度和一致性要求较高,常规工业陶瓷在纯度、致密度和表面质量上往往难以直接满足。广龙 GL-SC99A 系列从原料端控制杂质含量,成型与烧结环节注重致密度均匀性,后道加工中发挥企业在陶瓷抛光领域积累的技术经验,使部件表面粗糙度和平面度控制在适合半导体接触场景的范围内。
- 高纯材质:主材氧化铝纯度可达 99% 以上,按不同牌号与用途区分,具体以实物为准
- 低颗粒与低析出倾向:致密烧结结构有助于减少表面颗粒残留,适合洁净环境使用
- 绝缘与耐蚀:适合等离子刻蚀、清洗等存在腐蚀性介质与电场环境的工位
- 抛光与平整度控制:依托陶瓷抛光工艺积累,支持对平面度和表面粗糙度有要求的部件
- 非标定制:可按客户图纸加工异形结构、孔位与配合面
相比通用陶瓷件方案,该系列的优势主要体现在纯度与表面质量的匹配度上,能够减少因部件本身引入的污染风险;同时定制化加工能力使部件更贴合设备实际安装尺寸。需要说明的是,不同工艺段对陶瓷的要求差异较大,选型时建议结合实际工况确认材质与参数。
真实应用场景
从实际配套情况看,该类部件常见于晶圆传输模块、真空腔体内部件以及清洗设备工位。例如在某类晶圆搬运机构的末端接触件应用中,客户原方案使用普通陶瓷件,存在表面颗粒残留偏多、需频繁清洁的情况,后改用高纯氧化铝抛光件,配合定期维护,清洁周期有所延长。又如在等离子处理设备的绝缘环位置,陶瓷件需承受一定时间的等离子体作用,材质纯度与致密度直接影响使用寿命,广龙根据客户提供的尺寸与工况条件进行材质选配与结构加工,交付后由客户进行上机验证。上述场景仅作应用方向说明,具体效果因设备状态、工艺条件和维护方式而异。上海地区半导体设备与产线集中,对这类部件的定制响应和沟通效率要求较高,这也是本地及周边客户关注联系方式的主要原因。
适用行业与客户群体
该系列产品主要面向半导体设备制造企业、晶圆制造与封装测试产线、真空与镀膜设备厂商,以及需要高纯陶瓷结构件的电子与精密机械行业。广龙特种陶瓷产品同时应用于电子、机械、纺织、化纤、石油、医药等领域,具备较宽的材料与工艺适配基础。对于采购方而言,建议在询价时提供部件图纸、使用环境(温度、介质、真空或等离子条件)及洁净度要求,以便匹配材质与加工方案。
服务与交付说明
广龙陶瓷成立于 2000 年,是一家集传统陶瓷工艺与现代高科技研发、生产于一体的工程陶瓷企业,现有员工 80 人,其中专业技术人员 5 名,具备较为独立的新产品开发能力和陶瓷技术攻关能力。公司坚持“品质为先、创新为魂”的经营理念,在陶瓷抛光领域拥有自身技术积累。针对半导体高纯陶瓷部件,公司可提供图纸评估、材质建议、样品试制与批量供货等环节的配合,发货地为全国发货,上海及周边地区客户可直接联系沟通交付周期与物流安排。价格因材质、规格与加工复杂度不同而有所差异,统一为面议。
规格参数
- 材质:高纯氧化铝(纯度 99% 及以上,可按需选配氧化锆、氧化钛)
- 常用规格:按图纸定制,支持异形结构与孔位加工
- 表面处理:抛光加工,表面粗糙度与平面度按客户要求控制
- 适用环境:真空、等离子、清洗及一般腐蚀性介质工况
- 供货形式:样品试制与批量供货均可
- 备注:以上参数为常规范围,具体参数请咨询,以实物为准
联系方式:广龙陶瓷 13771389770,地址:。