「青岛硅片旋涂仪****」-「济南冠齐优仪器有限公司」

青岛一家从事硅基器件与薄膜工艺研发的单位，长期用手工滴胶配合一台老旧匀胶机完成硅片旋涂，随着样品规格变多、批次要求变严，涂胶一致性越来越难保证，于是通过检索「青岛硅片旋涂仪****」找到了济南冠齐优仪器有限公司。本文以该项目的实际推进过程为主线，把需求沟通、机型选定、到货调试和使用情况完整梳理出来，供有 5mm 小片至 12 英寸硅片旋涂需求的实验室、科研院所与半导体、光学类企业参考。

项目背景：旧设备扛不住多规格、多材料的旋涂需求

该单位的旋涂工序主要服务于光刻图形化与薄膜制备两个方向，手头基片规格较杂：既有 5mm×5mm 的试验小片，也有 2 英寸、4 英寸、6 英寸硅片，偶尔还会用到 8 英寸样片；涂布材料涵盖常见正性胶、负性胶、聚酰亚胺前驱体以及部分水溶液体系。

原来那台匀胶机是拨盘调速的老机型，转速靠手感，同一批片子片内、片间膜厚容易散，后续曝光显影的结果波动明显，实验数据不好复现。客户提出的诉求很具体：换吸盘就能切换基片尺寸、转速可按配方存储调用、真空吸附要稳、新进人员能快速上手，同时后续耗材和维修要有人管。

需求拆解与机型选定

接到咨询后，济南冠齐优仪器有限公司的技术人员先请客户把基片尺寸、常用胶液、目标转速区间和单次投片量列清楚，再对照现有型号逐一匹配。客户的核心诉求大致是这几条：

• 兼容 5mm 小片到 12 英寸圆片，改换真空吸盘即可切换规格；
• 转速可编程，多段速曲线能设定并存储调用，减少人工干预；
• 真空吸附稳定，薄片、异形片不易飞片；
• 触摸屏操作，界面直观，学生和新人上手快；
• 设备后续的吸盘、管路等易损件供应与维修有本地支持。

综合预算与使用场景，最终选定 12DZ 型触屏可编程硅片旋涂仪，并按客户常做的几种尺寸配了对应吸盘。该型号属于公司 12 系列中的常规机型，同系列还有 12A、12Ac、12E/12EZ、16E/16EZ、16Ac 以及 12T 加热型等，可根据工艺需要选择不同精度与结构配置。

实施过程与现场调试

设备在章丘的生产环节完成装配与转速标定，出厂前做了空转测试和吸附检查。到货后，公司技术人员与客户约定时间进行安装调试，主要做了三件事：一是机台调平与真空管路连接，确认不同尺寸吸盘的吸附力是否稳定；二是用客户自带的光刻胶做试涂，逐段调整转速曲线，帮助设好一到两套可直接调用的匀胶配方；三是把日常清洁、吸盘更换、常见报警处理等操作要点现场演示一遍，并留下文字记录。

调试过程中还发现客户有一批边角不规则的碎片需要旋涂，常规吸盘固定效果一般，随后改用小尺寸吸盘配合托片工装解决，避免了碎片在高速旋转时移位的问题。

应用场景

这类硅片旋涂仪（匀胶机）主要面向需要把胶液或溶液均匀铺展在基片表面的工艺环节，常见的使用场景包括：光刻胶旋涂、聚酰亚胺涂布、有机溶液与水溶液的薄膜制备、光学薄膜试验、半导体工艺研发，以及高校的实验教学与毕业设计。设备对基片尺寸的适应范围较宽，同一台机器既能做小尺寸试验片，也能处理大尺寸晶圆，适合研发阶段样品规格频繁变化的场合。

服务与交付

济南冠齐优仪器有限公司位于山东省济南市章丘区，是章丘市冠牌电子设备厂（「英佳冠牌」制造主体）的关联单位，工厂专注匀胶、旋涂、显影清洗设备的制造与工艺打磨，公司负责产品销售、维修与技术服务，制造与服务两头衔接，客户遇到工艺或设备问题时能较快找到对应的人。除匀胶机外，公司还提供烤胶机（含顶针升降型）、摆臂显影清洗机、曝光机等配套设备，以及半自动滴胶匀胶机、涂源机、旋涂玻璃浆工作台等定制设备，可承接光刻胶、聚酰亚胺及大多数有机溶液、水溶液的旋涂作业配套。

目前公司产品已服务于上海交通大学、复旦大学、北京大学、浙江大学、山东大学、中科院相关研究所等高校与科研机构，以及山东科芯电子、浙江里阳半导体、TCL环鑫等半导体电子企业，并覆盖中国港澳台地区及新加坡、马来西亚等海外市场。上述青岛客户在使用一段时间后反馈，配方存储调用后批次之间的膜厚一致性明显好于原来，换片、换胶的准备工作也更省时。

有同类旋涂需求、想咨询青岛硅片旋涂仪****或了解具体机型配置的用户，可直接联系刘经理 13853139897（微信同号），地址：山东省济南市章丘区双山街道旭升村中心大街。

规格参数

• 型号：GQ-12DZ（12 系列触屏可编程硅片旋涂仪）
• 适用基片：5mm×5mm 小片至 12 英寸圆片／方片，需配对应规格真空吸盘
• 转速范围：约 100–8000 rpm，多段可编程，实际转速精度以出厂标定与实测为准
• 控制方式：触摸屏设定参数，支持配方存储与调用
• 电源：AC 220V／50Hz，以实物铭牌标注为准
• 可选配置：加热型旋涂、不同尺寸吸盘、滴胶与摆臂等定制结构

以上参数以实物为准，具体参数、价格与交期请咨询确认。