规格参数
| 型号 | MK-VRG-200 |
|---|---|
| 台面尺寸 | 100 mm × 100 mm（可定制） |
| 角度行程 | ±10°（可扩展至 ±15°） |
| 角度分辨率 | 0.001°（依反馈元件配置而定） |
| 重复定位精度 | ±0.003°（以实测报告为准） |
| 真空适配 | 优于 1×10⁻⁵ Pa（高真空/超高真空版本可选） |
产品详情
MK-VRG-200 是铭坤科技面向真空环境推出的一款伺服驱动真空角位台，主要用于真空腔体内光学元件、样品台、探测器的角度微调与定位。产品适配高真空与超高真空工况，采用伺服电机配合精密减速机构，可在不破坏真空的条件下完成角度闭环调整。对于需要长期连续运行、又希望控制采购与维护成本的实验室和产线而言，它属于兼顾性能与全生命周期投入的一类选择。
项目背景：一次真空腔体内的角位调整改造
2023 年，华东地区某科研院所的真空能谱实验平台提出了一项改造需求。该平台的真空腔体长期维持在 10⁻⁵ Pa 量级，腔体内布置有光学反射镜与样品托架，需要在实验过程中对镜片俯仰角进行多次微调。
原方案采用手动角位台，调节一次需要先泄真空、开腔、手动旋钮、再重新抽真空。单次流程耗时数小时，且反复开腔会影响腔体洁净度与真空度的恢复速度。课题组希望在不停机、不破坏真空的前提下完成角度调整，同时对角度重复性提出了可追溯的要求。
需求分析：真空兼容、伺服驱动与长期稳定
接到需求后，铭坤科技的技术人员与用户进行了两轮现场沟通，把诉求拆解为几个可量化的指标：
- 真空兼容：台体材料与润滑方式需满足高真空环境，放气率可控，不污染腔体；
- 驱动方式：由手动改为伺服电机驱动，支持上位机或控制器远程下发角度指令；
- 角度重复性：多次往返调节后，角度回位偏差需保持在用户可接受的范围内；
- 维护成本：结构尽量简单，易损件可单独更换，避免整台报废；
- 交付周期：改造窗口期有限，需要确定方案后尽快供货并配合联调。
这些诉求中，真空兼容和重复性是硬指标，而维护成本和交付节奏则直接关系到项目的长期使用成本。这也是用户在比选上海伺服真空角位台厂家时比较关注的部分。
方案设计：MK-VRG-200 伺服真空角位台的选型思路
结合腔体内部空间尺寸、负载重量与走线条件，铭坤科技推荐了 MK-VRG-200 伺服真空角位台，并配套了真空专用线缆与驱动器。方案要点如下：
结构与材料方面，台体采用不锈钢与真空兼容铝合金组合，运动副选用真空专用润滑脂，减少挥发物对腔体的影响。台面预留标准安装孔位，可直接替换原手动角位台，无需重新设计转接板。
驱动与控制方面，采用伺服电机搭配精密蜗轮蜗杆减速结构，兼顾扭矩输出与自锁能力。断电后角度位置基本保持，避免因意外停机造成光路偏移。控制器支持脉冲方向与通讯指令两种控制方式，便于接入用户既有的运动控制卡。
精度与反馈方面，可选配圆光栅或编码器反馈，实现角度闭环，用户可在软件端读取实时角度值并记录，满足实验数据可追溯的要求。
需要说明的是，具体配置需根据腔体接口、真空度等级和负载情况确定，最终参数以实物和双方确认的技术协议为准。
产品参数与核心卖点
- 型号：MK-VRG-200，台面尺寸与行程可按腔体空间定制；
- 驱动：伺服电机 + 精密减速机构，支持闭环控制与角度反馈；
- 真空适配：可选高真空或超高真空版本，线缆与润滑材料同步匹配；
- 安装：台面预留标准孔位，便于替换原有手动角位台；
- 维护：核心运动部件可单独拆装更换，降低后期使用成本；
- 配套：可提供驱动器、真空线缆、控制软件的成套交付。
应用场景
伺服真空角位台主要用在需要在真空或洁净环境中做角度调整的场合。铭坤科技的产品与方案已经应用于航空航天、造船、冶金、铁路和核工业、常规能源、军工兵器、电讯、3C 工厂自动化产线、半导体行业和研究机构以及大型基础设施等领域。
在具体使用中，常见场景包括：真空镀膜设备中靶材或基片的角度调整；同步辐射与能谱类仪器的样品角度定位；半导体检测设备中光学镜组的微调；以及各类真空实验平台中反射镜、光栅、探测器的姿态控制。用户在选择时，通常需要结合真空度、负载、行程和角度分辨率四项指标综合判断。
服务与交付
铭坤科技有限公司是一家研发及销售光学机械位移类调整件、光学仪器仪表、光谱能谱类仪器、检测仪器、无损检测仪器的专业性公司。公司成立以来秉着“诚以致远，商业兴邦”的企业精神和“专业，专心”的服务理念，长期服务于各大科研院校、中科院系统、工业工厂等。
在本次项目中，铭坤科技提供的服务包括：前期现场测量与选型建议、非标转接件的图纸确认、出厂前的角度重复性测试、到货后的安装指导与联调支持，以及后续的备件供应与技术支持。多年来公司坚持新品研发、技术创新，已获得多项发明专利、实用新型专利、软件著作权等，可为用户提供从单台设备到整套检测方案的不同层级选择。
规格参数
- 型号：MK-VRG-200
- 台面尺寸：100 mm × 100 mm（可定制）
- 角度行程：±10°（可扩展至 ±15°）
- 角度分辨率：0.001°（依反馈元件配置而定）
- 重复定位精度：±0.003°（以实测报告为准）
- 真空适配：优于 1×10⁻⁵ Pa（高真空/超高真空版本可选）
以上参数为常规配置参考值，以实物为准，具体参数请咨询铭坤科技技术人员。
联系方式：铭坤科技 15301802076，地址：上海市