苏州质量好的电容式真空计厂商-【迅微纳半导体科技】
规格参数
| 型号 | XWN-CV100电容式真空计 |
|---|---|
| 量程范围 | 1×10⁻⁵ Torr～1×10¹ Torr（可选0.1Torr起测） |
| 测量精度 | ±15%读数（按实际工况标定） |
| 工作温度 | -20℃～85℃（耐高温款200℃） |
| 信号输出 | 0～10V / 4～20mA / RS485（Modbus RTU） |
| 过程接口 | DN16 / DN25法兰或KF接口（可定制） |
产品详情
迅微纳半导体科技推出的电容式真空计，是针对半导体、真空镀膜、科研院所等高端真空测量场景打造的国产高精度真空测量设备。它重点解决高端真空设备长期依赖进口真空计面临的交付受限、售后响应慢、采购成本高等痛点，是半导体及泛半导体领域实现核心真空测量器件国产替代的可靠选择。
客户痛点分析
当前，高端真空镀膜机与半导体设备对低量程（如0.1Torr）高精度真空计需求迫切，但行业内面临以下普遍痛点：
- 进口禁令导致交付受阻：电容金属薄膜真空计核心器件曾长期受美国禁令限制，进口渠道波动大，交期动辄数月甚至半年以上，严重拖慢设备生产进度与项目交付。
- 核心器件“卡脖子”：高端0.1Torr低量程型号长期依赖海外，采购成本高，维护与备件更换周期长。
- 售后响应滞后：海外厂商售后响应周期长，工艺调试排故等待时间长，影响企业正常生产。
- 非标工况适配难：部分特殊设备需定制特殊法兰接口或耐高温环境，进口产品定制周期长且沟通成本高。
技术方案与产品特点
迅微纳电容式真空计基于自主芯片与薄膜传感技术，量程覆盖低至0.1Torr的高真空段，精度与稳定性对标国际一线品牌，同时无进口禁令限制，交付稳定。主要特点包括：
- 核心器件自主可控：传感芯片与信号处理模块均为自主研发，不依赖海外供应链，供应稳定。
- 模块化结构：采用分离式变送模块，传感器与控制器分离，便于安装在狭小空间，维护更简单。
- 抗腐蚀与耐高温设计：传感元件涂覆抗腐蚀涂层，适用多种工艺气体；耐高温型号工作温度可达200℃，适配高温工艺环境。
- 全量程校准：出厂前逐台校准，附校准报告，支持现场安装调试与零点修正。
产品参数
产品参数如下，具体以实物为准，详情请咨询迅微纳客服。
- 量程范围：1×10⁻⁵ Torr～1×10¹ Torr（可选0.1Torr起测）
- 测量精度：±15%读数（按实际工况标定）
- 工作温度：-20℃～85℃（耐高温款可达200℃）
- 信号输出：0～10V / 4～20mA / RS485（Modbus RTU）
- 过程接口：DN16 / DN25 法兰或KF接口（可定制）
- 防护等级：IP54
应用场景
半导体领域：可用于刻蚀、沉积、离子注入等工艺设备的真空腔体高精度测量。低至0.1Torr的宽量程与信号输出兼容主流自动化控制系统，在复杂工艺环境下保持长期稳定运行，帮助半导体厂商实现产线核心器件的国产化升级。
真空镀膜与科研：适用于PVD、CVD、磁控溅射及光学镀膜设备的真空度控制。设备采用标准法兰接口，安装便捷；抗腐蚀传感技术可有效应对镀膜过程中的复杂反应气体，确保长时间镀膜工艺的稳定性与重复性。
太阳能与核工业：在太阳能薄膜电池制备与核聚变真空系统中，针对特殊法兰与耐高温需求，提供定制化适配方案与高温高真空测量支持，保障特殊工业环境下真空测量的可靠性。
服务与交付
- 苏州本地化快速响应：支持上门选型、安装调试、校准与售后维护，常规订单交期短，定制型号沟通确认后按期交付。
- 免费保修政策：非人为损坏免费保修12～24个月，终身提供维护服务。
- 技术咨询与培训：提供选型指导与现场安装培训，帮助设备厂商快速完成国产替代导入。
- 配套产品：同时供应皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计、真空开关等系列产品，可提供成套真空测量方案，方便一站式采购。
公司资质
迅微纳半导体科技是一家致力于自主研发、制造和销售高性能真空计的创新公司，以打破电容金属薄膜真空计美国禁令带来的“卡脖子”局限、实现核心器件国产替代为愿景。公司组建了由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士构成的研发团队，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。
目前公司已成功量产要求最高的电容金属薄膜真空计（0.1Torr量程），并研发出工作温度达200℃的电容金属薄膜真空计，以及皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列，实现对MKS和Inficon真空计产品的全方位替代。相关产品已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，通过CE**与ISO9001：2015质量管理体系**。
凭借可靠的产品质量，迅微纳真空计已成功进入一线设备厂商和科研院所，广泛应用于半导体、太阳能、真空镀膜、核工业等领域，并成为东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等知名企业与科研机构的合格供应商。
规格参数
- 型号：XWN-CV100电容式真空计
- 量程范围：1×10⁻⁵ Torr～1×10¹ Torr（可选0.1Torr起测）
- 测量精度：±15%读数（按实际工况标定）
- 工作温度：-20℃～85℃（耐高温款200℃）
- 信号输出：0～10V / 4～20mA / RS485（Modbus RTU）
- 过程接口：DN16 / DN25法兰或KF接口（可定制）
联系方式：迅微纳 4008168065 地址：江苏省苏州市（具体地址请咨询）