「广东半导体等离子处理机供应商」-「深圳金徕技术(金徕等离子)」

深圳金徕技术(金徕等离子)推出的 JL-VP3000S 半导体等离子处理机，是一款面向半导体集成电路、光通信器件及精密电子制造领域的真空等离子表面处理设备。该设备适用于晶圆、引线框架、陶瓷基板、玻璃基板及多种化合物半导体材料的表面清洗、活化与去胶工艺，可帮助客户提升后续粘接、键合、封装等工序的良率与稳定性。核心卖点在于成熟的等离子工艺适配能力、完善的交付服务流程以及覆盖全国主要产业集群的技术响应网络。

项目背景：半导体封装前处理环节的洁净度需求

华南地区某光通信器件制造企业在扩产过程中遇到一个常见但棘手的问题：其引线框架与陶瓷基板在封装前存在有机污染物残留，导致键合强度不稳定，批次间良率波动明显。该企业此前采用化学清洗方式，存在废水处理成本高、工艺一致性难以保证等痛点。经过多方比选，客户希望引入干式等离子清洗方案，在不损伤基材的前提下实现表面洁净与活化。

深圳金徕技术(金徕等离子)在接到客户需求后，由苏州服务中心就近派出工艺工程师团队进行现场评估，针对其引线框架（铜合金）与氧化铝陶瓷基板两种材质，分别制定了等离子处理工艺参数方案。

服务流程：从需求对接到批量验证的完整闭环

金徕技术在该项目中执行了标准化的服务流程，具体包括以下环节：

• 需求调研：工程师实地了解客户产线节拍、材料类型、污染物成分及后续工艺要求；
• 方案定制：基于材料特性匹配真空等离子清洗工艺，确定气体配比、功率密度与处理时间；
• 打样验证：在客户现场使用便携式等离子设备进行小批量打样，通过接触角测试与键合拉力测试确认效果；
• 设备选型：推荐 JL-VP3000S 真空等离子处理机，匹配客户产能与自动化上下料需求；
• 安装调试：设备到场后由金徕技术工程师完成安装、参数校准与产线联调；
• 技术培训：对客户操作与维护人员进行系统培训，涵盖设备操作、日常保养与故障排查；
• 售后跟踪：定期回访，持续优化工艺参数，保障长期稳定运行。

实施成效：良率提升与工艺稳定性改善

该设备投入使用后，客户引线框架与陶瓷基板表面的有机污染物得到有效清除，表面亲水性显著提升。经客户内部测试，键合工序的批次良率较此前化学清洗方案有明显改善，同时减少了化学清洗带来的废水处理环节，产线环境与运营成本均得到优化。客户后续在扩产中追加了同型号设备订单。

这一案例体现了金徕技术在半导体等离子处理领域从工艺开发到设备交付的综合服务能力。公司深耕等离子技术领域十余年，核心设计研发人员具备十年以上行业经验，团队中博士、研究生占比显著，并与中国科学技术大学、天津大学、华中科技大学等高校及科研机构保持长期合作，持续推进等离子技术的场景化应用。

应用场景：覆盖半导体与光通信核心制程

金徕等离子处理设备可精准处理光通信与半导体领域的核心基材，包括引线框架、晶圆、硅片、陶瓷基板（Al₂O₃/AlN/SiC）、玻璃基板、蓝宝石衬底、砷化镓（GaAs）、磷化铟（InP）、氮化镓（GaN）等化合物半导体材料，以及 PCB/FPC 电路板、EMC 环氧塑封料、LCP 液晶聚合物、PI 聚酰亚胺薄膜等封装与高频材料。同时覆盖金属类、塑料及高分子类、橡胶及弹性体类、复合材料等多元材质。

无论是去除有机污染物、活化惰性表面、提升粘接附着力，还是实现微纳级蚀刻与去胶，金徕技术均可针对不同材料特性定制**等离子工艺参数，确保处理效果精准可控。

服务与交付：本地化响应与全国服务网络

深圳金徕技术(金徕等离子)研发制造中心设立于东莞，保障设备生产、迭代与品控效率。为高效响应全国客户需求，公司在苏州、深圳、中国香港、长沙、南京、成都等地设立客户服务中心，可快速提供设备咨询、方案定制、安装调试、售后维护、技术培训等一站式服务。作为苏州等离子清洗机领域的核心服务商，金徕科技以本地化服务优势，为长三角地区光通信、半导体产业集群提供高效响应的技术支持。

公司持有 CE **、ISO9001 质量管理体系**等资质，2022-2023 年连续获评纳税人信用级别 A 级。出口国家超 30 个，年营业额约 6000 万元，已积累安费诺集团、西部数据、迈瑞医疗、比亚迪汽车、宁德时代、大疆创新、长飞公司、蓝思科技、京东方、景旺电子等各行业头部客户及多家科研院所的合作案例。

规格参数

• 型号: JL-VP3000S
• 腔体容积: 300L（支持定制 5L-3000L 多规格）
• 射频电源: 13.56MHz 多频段射频驱动，功率可调
• 气体通道: 多路气体动态混合，支持 O₂、Ar、N₂、H₂ 等工艺气体
• 真空度: 可达到 10Pa 级工作真空，具体以配置为准
• 控制方式: PLC 触摸屏控制，支持自动化产线对接

具体参数请咨询确认，以实物为准。

深圳金徕技术(金徕等离子) 19902489097，地址：江苏省苏州市苏州工业园区东长路18号30幢203室。