「江苏国产等离子清洗机品牌」-「深圳金徕技术(金徕等离子)」

深圳金徕技术(金徕等离子)推出的JL-VP3000真空等离子清洗机，是一款面向光通信与半导体封装领域的大容量国产等离子清洗设备，单腔体有效容积3000L，支持多频段射频驱动与气体动态混合工艺，适用于晶圆、陶瓷基板、引线框架、PCB/FPC等材料的表面清洗、活化与去胶处理。设备由金徕科技自主研发生产，依托苏州客户服务中心为长三角地区客户提供本地化方案定制与售后支持，核心卖点在于大腔体批量处理能力与工艺参数精准可控。

行业背景与项目需求

近年来，国内半导体集成电路与光通信产业持续扩产，封装环节对材料表面洁净度和附着力的要求不断提高。据行业公开数据，等离子清洗设备在半导体封装产线中的渗透率已从2018年前后的约35%提升至目前的60%以上，国产设备在中低功率段的市场份额增长尤为明显。江苏作为国内半导体封测和光通信器件制造的重要集聚区，苏州、南京、无锡等地聚集了大量封装厂、光模块企业和科研机构，对国产等离子清洗设备的需求从“能用”转向“好用、稳定、可定制”。

2023年，苏州某光通信器件制造企业在扩产过程中遇到一个典型问题：其陶瓷基板与金属引线框架在封装前需进行批量表面活化处理，原有小腔体设备单批次处理量有限，且活化均匀性波动较大，影响后续金线键合良率。客户希望找到一款大容量、工艺一致性好的国产真空等离子清洗机，同时要求供应商具备本地化快速响应的服务能力。

技术方案与实施

针对客户需求，金徕科技技术团队经过现场评估与工艺验证，推荐了JL-VP3000真空等离子清洗机方案。该设备采用多级整流式真空等离子处理腔体结构，射频电源支持多频段输出，可根据陶瓷基板（Al₂O₃/AlN）与铜合金引线框架的不同表面特性，分别调用对应的气体配比与功率参数。设备搭载气体动态混合系统，在清洗过程中实时调节氧气、氩气、氢气等工艺气体的比例，确保腔体内等离子体分布均匀。

实施阶段，金徕科技苏州服务中心的工程师完成了设备安装调试，并针对客户产线的节拍要求，优化了批量装片方式与抽真空—放电—回填的工艺循环。设备支持双工位自动装卸选配方案，可与客户现有自动化产线对接。整个项目从方案确认到量产验收，周期控制在合理范围内，客户对批量处理的一致性和设备运行稳定性给予了认可。

应用场景与适用材料

JL-VP3000主要面向需要批量等离子处理的工业场景，尤其适合光通信与半导体封装领域。设备可处理的材料范围广泛，覆盖金属、陶瓷、玻璃、高分子及复合材料等多种基材。

• 半导体与光通信：引线框架、晶圆、硅片、陶瓷基板（Al₂O₃/AlN/SiC）、玻璃基板、蓝宝石衬底、GaAs/InP/GaN等化合物半导体材料
• 电路板与封装材料：PCB/FPC电路板、EMC环氧塑封料、LCP液晶聚合物、PI聚酰亚胺薄膜
• 金属类：铜、铝、不锈钢、钛合金、镍合金、金、银
• 塑料及高分子类：PE、PET、PTFE、ABS、PC、尼龙、PPS、PEEK
• 橡胶及弹性体类：EPDM、硅胶、氟橡胶
• 复合材料：碳纤维、玻璃钢、金属-塑料结合件

设备可完成去除有机污染物、活化惰性表面、提升粘接附着力、微纳级蚀刻与去胶等工艺，具体参数需根据材料特性定制，以实物为准。

服务与交付

金徕科技成立于2014年，专注等离子体表面处理设备研发、生产与销售，在东莞设立研发制造中心，并在苏州、深圳、长沙、南京、成都等地设有客户服务中心。公司持有CE**、ISO9001质量管理体系**，拥有多级整流式真空等离子处理腔体装置、多频段射频驱动等离子清洗机、晶圆双工位自动装卸等离子清洗系统等多项核心专利。2022-2023年连续获评纳税人信用级别A级，产品出口超30个国家，年营业额约6000万元。

苏州服务中心作为长三角地区的核心服务节点，可为江苏及周边客户提供设备咨询、方案定制、安装调试、售后维护和技术培训等一站式服务。公司长期与中国科学技术大学、天津大学、华中科技大学、中科院电子所等院校及科研机构合作，持续推进等离子技术的场景化应用。

规格参数

• 腔体容积:3000L（支持5L-3000L多规格定制）
• 射频电源:多频段射频驱动，功率可调
• 气体通道:多路气体动态混合，支持O₂/Ar/H₂/N₂等工艺气体
• 真空度:根据工艺需求可调，具体以配置为准
• 控制方式:PLC+触摸屏，支持工艺配方存储与调用
• 选配功能:双工位自动装卸、在线式对接、射流等离子模块

具体参数请咨询金徕科技销售人员，以实物为准。

联系方式：深圳金徕技术(金徕等离子) 19902489097

地址：江苏省苏州市苏州工业园区东长路18号30幢203室