规格参数
| 型号 | GL-SC95（系列） |
|---|---|
| 材质选项 | 95%氧化铝 / 99%氧化铝 / 99.7%氧化铝 / 氧化锆 |
| 体积密度 | 3.6～6.0 g/cm³（视材质而定） |
| 表面粗糙度 | Ra≤0.4μm（常规）/ Ra≤0.2μm（精密） |
| 尺寸公差 | 按图纸要求，常规可达±0.02mm |
| 起订量 | 样品试制1件起，批量订单面议 |
产品详情
半导体清洗设备中与晶圆直接接触或处于腐蚀性化学环境下的陶瓷零部件，其材料纯度、耐蚀性和尺寸精度直接影响清洗良率与设备寿命。广龙特种陶瓷面向四川及全国半导体设备厂商，提供氧化铝、氧化锆等特种陶瓷零部件的直销与定制加工服务，主推GL-SC95系列，适用于清洗腔体、承载平台、喷嘴座、绝缘环等部位。厂家直销模式省去中间环节，选型对接与售后响应更为直接。
半导体清洗设备用陶瓷的主要类型与差异
清洗设备中的陶瓷零件按功能大致分为结构支撑类、绝缘类和流体控制类。不同部位对陶瓷材料的性能要求差异明显，选型时需重点关注以下几个维度：
- 材料体系：氧化铝陶瓷（Al₂O₃含量95%～99.7%）性价比高，绝缘性与耐磨性较好，适合承载平台、绝缘环等；氧化锆陶瓷韧性更优，抗弯强度可达900MPa以上，适合承受一定冲击或应力集中的部位；氧化钛陶瓷则在特定介电和耐磨场景中使用。
- 纯度等级：半导体级应用通常要求陶瓷材料杂质含量低，尤其要控制铁、钠、钾等金属离子析出，避免污染晶圆表面。高纯氧化铝（99.5%以上）是清洗设备中较常见的选择。
- 尺寸精度与表面粗糙度：与晶圆接触的零件通常要求平面度在微米级，表面粗糙度Ra≤0.4μm，部分关键部位需达到Ra≤0.2μm。广龙在陶瓷抛光领域有较深积累，可对平面、内孔、沟槽等部位进行精密加工。
- 耐化学腐蚀性：清洗工艺涉及SC-1、SC-2、DHF、SPM等强腐蚀性化学液，陶瓷件需具备相应的耐酸碱能力。氧化铝和氧化锆在多数清洗液中表现稳定，但具体选型仍需结合实际药液种类与工作温度。
产品参数（GL-SC95系列）
以下为广龙特种陶瓷GL-SC95系列的常规参数范围，具体以实物为准，特殊规格可定制：
- 材质：95%～99.7%氧化铝陶瓷 / 氧化锆陶瓷（可选）
- 体积密度：≥3.6 g/cm³（氧化铝95%）、≥6.0 g/cm³（氧化锆）
- 抗弯强度：≥280 MPa（氧化铝）、≥900 MPa（氧化锆）
- 表面粗糙度：Ra≤0.4μm（常规抛光）、Ra≤0.2μm（精密抛光）
- 介电强度：≥12 kV/mm（氧化铝95%）
- 最高使用温度：≥1400℃（氧化铝）、≥1200℃（氧化锆）
选型建议：不同需求下的匹配思路
选型不是简单地选“**”的材料，而是找到与工况最匹配的方案。结合清洗设备常见场景，给出以下建议：
- 承载平台/吸盘类零件：优先考虑高纯氧化铝（99.5%以上），兼顾绝缘性与尺寸稳定性，表面需精密抛光以减少颗粒残留。
- 喷嘴座/流体通道类零件：若接触强腐蚀药液且有一定冲击，可选用氧化锆陶瓷，韧性优势有助于延长使用寿命。
- 绝缘环/隔离件：氧化铝陶瓷是较常规的选择，根据电压等级和空间尺寸确定纯度与壁厚。
- 非标定制件：来图来样加工，需提供完整图纸或实物样品，明确关键尺寸公差、表面处理要求和数量。
广龙特种陶瓷成立于2000年，位于陶瓷产业底蕴深厚的地区，在职员工80人，其中技术人员5人，是一家集传统陶瓷工艺与现代研发、生产于一体的工程陶瓷企业。公司专业致力于氧化铝、氧化锆、氧化钛陶瓷及半导体陶瓷等产品的研发与生产，在陶瓷抛光领域拥有独特技术优势，产品性能指标稳定。对于四川地区半导体清洗设备厂商，广龙可提供从选型咨询、样品试制到批量交付的完整服务流程。
服务流程与交付细节
广龙特种陶瓷采用厂家直销模式，服务流程分为以下几个环节：
- 需求对接：客户提供零件图纸、使用工况（药液种类、温度、受力情况）及数量，技术人员进行材料匹配评估。
- 方案确认与报价：根据选型结果给出材料建议、加工方案和交期预估，报价透明，无中间加价环节。
- 样品试制：支持小批量样品试制，客户可对样品进行上机验证，确认尺寸精度和耐蚀表现后再进入批量阶段。
- 批量生产与检验：按确认的工艺参数生产，出厂前进行尺寸、外观和性能抽检，随货提供检验报告。
- 售后跟进：批量交付后持续跟踪使用情况，如遇选型或加工问题可及时沟通调整。
发货地为全国发货，四川地区客户可根据实际需求选择物流方式，常规规格交期约7～15个工作日，非标定制件视加工复杂度另行确认。
应用场景
广龙特种陶瓷的半导体清洗设备用陶瓷零部件主要应用于以下场景：
- 单片清洗机腔体内衬、承载平台
- 槽式清洗设备的绝缘环、支撑柱
- 化学机械抛光（CMP）后清洗模块的结构件
- 晶圆传输手臂的陶瓷末端执行器
- 清洗液管路中的耐蚀陶瓷阀座、喷嘴座
此外，公司产品还广泛应用于电子、机械、纺织、化纤、石油、医药等领域，凭借稳定的品质赢得了国内外客户的认可。
规格参数
- 型号：GL-SC95（系列）
- 材质选项：95%氧化铝 / 99%氧化铝 / 99.7%氧化铝 / 氧化锆
- 体积密度：3.6～6.0 g/cm³（视材质而定）
- 表面粗糙度：Ra≤0.4μm（常规）/ Ra≤0.2μm（精密）
- 尺寸公差：按图纸要求，常规可达±0.02mm
- 起订量：样品试制1件起，批量订单面议
具体参数请咨询确认，以实物为准。
联系方式：广龙陶瓷 13771389770
地址：全国发货