「江苏质量好的金属薄膜真空规供货商」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMF-100系列电容金属薄膜真空规，是一款面向高精度真空测量场景的国产核心器件。该产品量程覆盖0.1Torr至1000Torr，采用金属薄膜电容传感结构，适用于半导体设备、真空镀膜、科研院所及核工业等对测量稳定性与重复性要求较高的领域。其核心价值在于实现电容金属薄膜真空计的国产化量产，为受美国禁令影响的用户提供可替代的供货选择，同时支持200℃高温工况版本，满足严苛制程环境下的测量需求。

行业背景与国产替代趋势

电容金属薄膜真空计长期依赖进口，主要供应商集中于美国MKS和瑞士Inficon等企业。近年来，受出口管制与供应链波动影响，国内半导体设备、核工业及高端科研领域面临交付周期延长、维护成本上升等现实问题。据行业公开数据，全球真空计市场规模约在数十亿美元级别，其中电容薄膜真空计在半导体刻蚀、CVD/PVD镀膜等环节占比显著。国内高端真空计国产化率仍处于较低水平，替代空间明确。

迅微纳半导体科技聚焦这一细分赛道，组建了由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士构成的研发团队，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已实现要求较高的电容金属薄膜真空计（量程0.1Torr）量产，并开发出工作温度200℃的型号，同时覆盖皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等产品线，形成对MKS和Inficon真空计产品的系列化替代方案。

产品特点与技术优势

XWN-CMF-100系列采用全金属密封结构，敏感元件为金属薄膜电容传感器，相比常规玻璃或陶瓷封装方案，在抗振动、抗热冲击和长期零点稳定性方面具有工程优势。具体特点包括：

• 量程覆盖0.1Torr至1000Torr，可满足从粗真空到高真空的宽范围测量需求；
• 金属薄膜传感结构，对温度变化和机械振动不敏感，适合设备集成环境；
• 提供200℃高温版本，适用于半导体镀膜、刻蚀等高温工艺腔体；
• 输出信号线性度良好，便于与上位机或PLC系统对接；
• 全金属焊接封装，降低漏率，提升长期可靠性。

该产品主要解决三类问题：一是进口电容薄膜真空计交付周期不确定、采购成本较高；二是高温工况下常规真空计零点漂移明显，影响工艺重复性；三是设备厂商对国产核心器件在一致性和批次稳定性方面的验证需求。迅微纳通过自主传感器设计和标定工艺，在0.1Torr量程段实现量产，产品已通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**。

应用场景与适用领域

XWN-CMF-100系列适用于以下典型场景：

• 半导体设备：刻蚀、CVD、PVD等工艺腔体的压力监测与控制；
• 真空镀膜：光学镀膜、硬质涂层等镀膜设备的真空度测量；
• 科研院所：表面科学、加速器、低温物理等实验装置的真空计量；
• 核工业：聚变装置、同位素分离等特殊环境下的真空监测；
• 太阳能与平板显示：薄膜沉积制程中的压力控制。

产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。这些应用案例覆盖了从研发验证到批量供货的不同阶段，反映了产品在精度、稳定性和交付能力方面的实际表现。

服务与交付

迅微纳提供从选型咨询、样品测试到批量供货的全流程支持。针对不同应用场景，可提供标准型号及高温定制版本。公司具备自主标定能力，可根据客户需求出具测试报告。发货地为江苏，支持全国发货。具体交货周期和定制需求请与销售工程师沟通确认。

在知识产权方面，公司已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，覆盖传感器结构、信号处理及标定方法等环节。产品参数以实物为准，具体参数请咨询确认。

规格参数

• 型号：XWN-CMF-100
• 量程：0.1Torr至1000Torr（可分段选择）
• 传感器类型：金属薄膜电容式
• 工作温度：标准版-20℃至+80℃；高温版最高200℃
• 输出信号：0-10V / 4-20mA（可选）
• 接口材质：不锈钢（具体以实物为准）

联系方式：迅微纳 4008168065
地址：江苏