「苏州质量好的0.1mTorr真空规生产厂家」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMG-100M电容金属薄膜真空计，是一款量程覆盖0.1mTorr（约0.013Pa）的高精度真空测量仪器，专为半导体制造、真空镀膜、科研实验等对低压段测量有严格要求的场景设计。该产品由迅微纳自主研发并实现量产，核心传感器与信号处理电路均为国产化方案，致力于为苏州及长三角地区客户提供响应及时、服务到位的本地化真空测量解决方案。

产品定位与核心功能

XWN-CMG-100M属于电容金属薄膜真空计（Capacitance Diaphragm Gauge，简称CDG），采用金属薄膜电容传感结构，通过检测薄膜在压差作用下的微小位移量来换算真空度。其**可测限度达到0.1mTorr级别，适用于中真空到高真空过渡段的精密测量。相比传统热传导式或电离式真空计，电容薄膜原理在0.1mTorr附近的读数受气体种类影响较小，具备较好的线性度和重复性，适合需要稳定压力控制的工艺环节。

该型号出厂前经过多点校准，并附带校准数据，用户可根据实际使用环境进行零点调整。产品支持标准0-10V模拟输出及RS485数字通讯接口，便于接入PLC、上位机或设备控制系统。

解决什么问题·与常规方案的差异

在0.1mTorr这一量程区间，常规的皮拉尼真空计（热传导式）灵敏度已明显下降，冷阴极电离计虽能测量更低压力，但在0.1mTorr附近易受磁场和污染影响，读数波动较大。电容金属薄膜真空计在该区间内能够提供相对稳定的**压力读数，尤其适合需要精确控制工艺压力的场合。

迅微纳的XWN-CMG-100M在以下方面具有自身特点：

• 核心传感元件为金属薄膜结构，相较陶瓷或硅基薄膜方案，在抗腐蚀和温度稳定性方面有较好表现；
• 信号处理电路针对低压段做了噪声抑制优化，0.1mTorr附近输出波动较小；
• 提供200℃高温版本可选，适用于需要烘烤除气的超高真空系统；
• 国产化供应链，交付周期和售后服务响应速度在本地市场具有优势。

适用场景

XWN-CMG-100M主要面向以下应用领域：

• 半导体设备：刻蚀、PVD、CVD等工艺腔体的压力监测与控制；
• 真空镀膜：蒸发镀膜、溅射镀膜设备的真空度测量；
• 科研院所：表面科学、加速器、聚变装置等实验系统的真空测量；
• 核工业：特殊环境下的真空系统监测；
• 太阳能与光伏：薄膜沉积工艺中的压力控制。

迅微纳产品已进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品通过CE**。

本地服务与交付

迅微纳半导体科技位于苏州，依托长三角地区完善的半导体产业链和物流网络，能够为苏州、上海、无锡、南京等地的客户提供较快的交付和技术支持服务。公司团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。目前已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。

针对本地客户，迅微纳可提供选型咨询、安装指导、校准服务及故障排查等技术支持。产品参考价为面议，具体价格和货期请根据实际需求咨询确认。

规格参数

• 测量原理:电容金属薄膜式
• **可测压力:0.1mTorr（约1.3×10⁻²Pa）
• 输出信号:0-10V模拟输出 / RS485数字通讯
• 工作温度:标准版常温 / 高温版可达200℃
• 接口规格:KF16 / CF35（以实物为准）
• 供电电源:24VDC（具体参数请咨询）

联系方式：迅微纳 4008168065