「苏州可靠的电容薄膜真空计品牌」-「迅微纳半导体科技」

本文介绍的是迅微纳半导体科技推出的XWN-CDM-100电容薄膜真空计在核聚变装置真空系统中的一个典型应用项目。该产品主要面向科研院所、半导体设备、真空镀膜及核工业等对真空测量精度和长期稳定性有较高要求的用户，核心卖点在于量程覆盖0.1Torr、可耐200℃高温、性能对标进口主流产品，同时具备国产化供应带来的性价比与长期使用价值。

项目背景：核聚变装置对真空测量的严苛需求

聚变新能（核聚变设备）在建设一套实验装置时，需要在真空腔体各关键节点部署高精度真空计，用于实时监测腔体压力变化。该场景对真空计提出了几项明确要求：一是量程需覆盖0.1Torr级别，以保证低真空段的测量分辨率；二是传感器需耐受200℃的烘烤温度，以适应装置运行前的除气工艺；三是长期稳定性要好，避免频繁校准影响实验进度。此前该单位主要依赖进口品牌，但受美国禁令影响，电容金属薄膜真空计的供货周期和后续服务存在不确定性，项目组开始寻找可靠的国产替代方案。

需求分析：为什么选择电容薄膜真空计

在核聚变、半导体刻蚀、真空镀膜等工艺中，电容薄膜真空计因其测量结果与气体种类无关、精度高、重复性好，被广泛用作真空测量的基准仪表。项目组需要的是一台能够长期稳定运行、且维护成本可控的国产设备。迅微纳半导体科技在了解到这一需求后，提供了XWN-CDM-100电容薄膜真空计进行测试验证。该型号采用金属薄膜电容传感结构，量程覆盖0.1Torr，工作温度可达200℃，在技术指标上能够满足装置要求。

产品方案：XWN-CDM-100的核心特点

迅微纳半导体科技是一家致力于自主研发、制造和销售高性能真空计的创新公司，聚焦电容金属薄膜真空计的国产替代。公司团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。目前已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，产品通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**。

在本项目中，XWN-CDM-100的主要优势体现在以下几个方面：

• 量程覆盖0.1Torr，适合低真空段的精密测量
• 工作温度可达200℃，适应烘烤除气工艺
• 金属薄膜电容传感结构，测量结果与气体种类无关
• 国产化供应，交期可控，后续维护成本相对较低
• 可替代MKS、Inficon等进口品牌同类产品

此外，迅微纳还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，能够为真空系统提供多层次的测量组合方案。

实施与成效：从测试到批量部署

项目初期，迅微纳技术团队与聚变新能的工程师共同制定了测试方案，在装置真空腔体的多个测点安装XWN-CDM-100进行对比测试。经过一段时间的连续运行，该真空计在0.1Torr量程段的测量数据与参考标准一致，高温烘烤后零点漂移在可接受范围内，满足了装置对测量精度和稳定性的要求。随后，该型号被纳入装置真空测量系统的批量采购清单，用于替代原进口方案中的同类产品。

从长期价值来看，国产电容薄膜真空计在采购成本、备件供应和技术支持响应速度上具有一定优势。迅微纳提供的产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，合作知名企业包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等，产品广泛应用到科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域。

应用场景：适合哪些用户

XWN-CDM-100电容薄膜真空计适用于以下场景：

• 核聚变装置真空系统监测
• 半导体刻蚀、PVD、CVD等工艺设备的真空测量
• 真空镀膜生产线的压力控制
• 科研院所真空实验平台的基准测量
• 核工业相关真空系统的过程监测

对于需要0.1Torr量程、200℃耐温能力，同时关注长期使用成本和供应稳定性的用户，该型号是一个值得评估的国产选项。

服务与交付：本地化支持与长期保障

迅微纳半导体科技位于苏州，具备自主研发和量产能力，能够为国内用户提供较快的技术响应和备件供应。公司提供产品选型咨询、安装指导、校准建议等售前售后支持。产品发货地为苏州，具体交期和价格根据配置和数量确定，欢迎咨询。

规格参数

• 型号: XWN-CDM-100
• 量程: 0.1Torr（具体以实物为准）
• 工作温度: 最高200℃
• 传感原理: 金属薄膜电容式
• 测量对象: 气体压力（与气体种类无关）
• **: CE**、ISO9001:2015质量管理体系**

具体参数请咨询迅微纳半导体科技，以实物和官方技术资料为准。

联系方式：迅微纳 4008168065
地址：苏州