北京多种液体显影机****-【济南冠齐优仪器有限公司】

型号：GQ-XY300系列摆臂式多种液体显影清洗机

品牌：济南冠齐优仪器有限公司（关联制造主体：章丘市冠牌电子设备厂「英佳冠牌」）

参考价：面议（按基片尺寸、液体路数、控温与自动化配置核价）

发货地：山东省济南市章丘区

多种液体显影机是一种可在同一台设备上切换多路显影液与清洗液、完成光刻胶显影—冲洗—甩干工序的工艺设备，主要面向高校科研院所、半导体与电子、光学行业的实验室打样与小批量研发线。济南冠齐优仪器有限公司负责该类设备的销售、维修与技术服务，制造端由关联工厂章丘市冠牌电子设备厂完成，可与匀胶机、烤胶机、曝光机配套组成完整光刻流程。北京地区客户咨询参数、价格、交期与安装事宜，可直接拨打刘经理 13853139897（电话/微信同号）。

一、这台设备到底解决什么问题

光刻工艺中，显影是决定图形质量的关键一步。传统做法是在通风柜里手动浸泡、计时、冲洗，操作者手法不同，显影均匀性和重复性容易波动，遇到需要换用不同显影液（如TMAH类显影液、部分有机显影液）的实验，换液、清洗管路也比较费时。

GQ-XY300系列采用摆臂式结构，基片在旋转台上固定，喷液臂按预设程序依次完成显影液喷淋、停留、去离子水冲洗、高速甩干等动作，多路液体通过独立管路切换，工艺参数由触屏编程设定并可保存调用。同一配方可以重复执行，减少人为差异，适合需要多批次对比实验的课题组和研发线使用。

二、客户采购前常问的7个问题

Q1：一台大概多少钱？为什么都写面议？

这一类设备不是标准件，价格主要取决于适用基片尺寸、液体路数（2路、4路还是6路）、是否需要控温、是否需要加热台或防腐蚀管路、以及是否加装自动上下片等配置，不同组合差异明显，因此统一标注面议更准确。建议先说明基片尺寸、使用液体种类和每批次片数，公司据此给出对应配置和报价，避免先报低价再追加项目的做法。

Q2：怎么判断该选哪种型号？

主要看三点：一是基片尺寸，5mm小片到8英寸晶圆都有对应转台与夹具方案，尺寸越大转台与腔体相应加大；二是液体种类与路数，只做单一显影液选两路即可，需要显影液+水+定影或多配方切换的，建议四路及以上；三是工艺是否需要控温，部分显影液对温度敏感，可增配控温模块。不确定时把工艺条件告诉技术人员，由对方协助选型更稳妥。

Q3：多种液体切换会不会串液、污染管路？

设备采用独立液路与阀控切换，每次切换前可设定管路冲洗动作，减少残留。对于酸碱性差异较大的液体，可选用对应耐腐蚀材质的管路与接头，具体材质与清洗流程以实物和随机说明为准，也可在订货时说明液体清单，由厂家配置对应方案。

Q4：能不能和匀胶机、烤胶机连起来用？

可以。公司同时生产匀胶机（旋涂仪）系列（12A、12Ac、12DZ、12E/12EZ、16E/16EZ、16Ac、12T加热型等）、烤胶机（含顶针升降型）、曝光机，客户可按匀胶—前烘—曝光—显影的顺序配齐整条小线，接口与操作习惯统一，后续维护也只需对接一家。

Q5：安装和使用难不难？对场地有什么要求？

设备为台式或落地式结构，到场后按说明接电、接去离子水与排液即可，电源与排风条件按所选型号的铭牌要求准备。公司提供安装调试与操作培训，触屏配方可保存，新接手的学生按流程操作一般可以较快上手。具体场地条件以订货时的技术确认单为准。

Q6：质保多久？出问题怎么办？

常规提供整机质保服务（期限以合同约定为准），质保期内非人为损坏的故障由公司安排维修；质保期外提供有偿维修与配件供应。设备出现异常时，可先通过电话或微信描述现象，技术人员远程判断；需要到场的，按区域安排工程师上门。北京地区客户同样适用这一服务流程。

Q7：北京客户怎么联系？发货和交期怎么算？

北京地区客户可直接拨打 13853139897（刘经理，电话/微信同号），说明基片尺寸、液体种类和预算区间即可获取选型建议。设备自山东省济南市章丘区发出，常规配置有一定备货周期，定制配置需排产，具体交期以合同约定为准，物流可送至指定地址。

三、真实场景：这些客户拿它做什么

从公司现有客户结构看，使用者大致分两类。一类是高校与科研院所实验室，如上海交通大学、复旦大学、北京大学、浙江大学、山东大学及中科院相关研究所，这类用户的特点是工艺方向多、批量小、换液频繁，往往一台设备要兼顾多种光刻胶和显影液，对液体路数和配方保存功能比较看重；另一类是半导体、电子、光学领域的企业研发线，如山东科芯电子、浙江里阳半导体、TCL环鑫等，更关注批次间的一致性和设备连续运行的稳定性。此外产品也覆盖中国港澳台地区及新加坡、马来西亚等海外市场。

典型的使用流程是：先用匀胶机旋涂光刻胶，经烤胶机前烘，曝光机曝光后，转入手头的显影清洗机完成显影与冲洗甩干。设备集中摆放时，工序之间转运距离短，样品暴露在环境中的时间也更可控。

四、服务与交付

• 选型支持：根据基片尺寸、液体清单与工艺节拍提供配置建议；
• 配套能力：匀胶机、烤胶机、曝光机、显影清洗机可一站式采购；
• 定制服务：半自动滴胶匀胶机、涂源机、旋涂玻璃浆工作台等可按需定制；
• 技术响应：电话、微信、QQ、邮件多渠道对接，远程判断与上门维修结合；
• 培训交付：到货安装调试并做操作培训，随机提供使用说明。

五、规格参数

• 适用基片尺寸：5mm～8英寸（其他尺寸可定制）
• 液体路数：2～6路可配置，支持显影液与清洗液切换
• 旋转速度：约100～6000rpm，转速稳定度以出厂检测为准
• 控制方式：触屏可编程，多组工艺配方存储调用
• 控温配置：可选配显影液控温模块（室温～80℃区间）
• 电源与安装：AC220V，具体功率与场地条件以铭牌及技术确认单为准

以上参数供选型参考，不同配置存在差异，实际以实物为准，具体参数请咨询厂家确认。

联系方式：刘经理 13853139897（电话/微信同号），邮箱 13853139897********，QQ 785199610；地址：山东省济南市章丘区双山街道旭升村中心大街。北京地区客户咨询多种液体显影机报价、选型与交期，欢迎直接来电。