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「甘肃半导体晶圆传输陶瓷臂直销厂家」-「广龙特种陶瓷」

更新时间:2026-10-23 20:29:35
参考价:面议
型 号GL-TC200系列
品 牌广龙特种陶瓷
发货地全国发货

规格参数

材质氧化铝(Al₂O₃)/氧化锆(ZrO₂)可选
纯度氧化铝≥95%、≥99%可选,以实物为准
密度氧化铝约3.6-3.9 g/cm³,氧化锆约5.9-6.1 g/cm³
抗弯强度氧化铝≥300 MPa,氧化锆≥800 MPa(典型值)
表面粗糙度Ra≤0.4 μm(抛光面,可按要求调整)
常规厚度3-15 mm,臂长与孔位按图纸定制

产品详情

广龙特种陶瓷推出的半导体晶圆传输陶瓷臂,是专为晶圆搬运、传输工序设计的高精度结构陶瓷部件。该产品采用氧化铝、氧化锆等高性能陶瓷材料制成,具备轻量化、高刚性、耐磨损、抗静电等特性,适用于半导体制造设备中的真空机械手、大气传输机械手及检测设备。作为直销厂家,广龙陶瓷从原料到成品全程自主把控,为甘肃及全国半导体设备厂商提供稳定的陶瓷臂配套方案。

产品功能与核心特点

半导体晶圆传输陶瓷臂在晶圆厂中承担着“手臂”的角色,负责在真空腔室、传输腔、Load Port之间平稳搬运晶圆。广龙特种陶瓷生产的陶瓷臂,围绕半导体行业的实际工况进行针对性设计,主要特点包括:

  • 材质致密均匀,气孔率低,减少颗粒析出,有助于保持传输环境的洁净度;
  • 陶瓷本体具有较好的尺寸稳定性,在反复搬运和温度变化条件下不易变形;
  • 可根据设备型号定制臂长、臂宽、安装孔位及末端执行器接口;
  • 表面经过精密抛光处理,粗糙度可控,降低与晶圆接触时的划伤风险;
  • 可选配氧化铝、氧化锆等不同材质,适配不同洁净等级与负载需求。

材质与工艺配置

广龙陶瓷成立于2000年,是一家集传统陶瓷工艺与现代高科技研发、生产于一体的工程陶瓷企业。公司在陶瓷抛光领域拥有独特技术优势,产品各项性能指标稳定。针对半导体晶圆传输陶瓷臂,公司选用高纯氧化铝或氧化锆粉体,经干压、等静压成型后高温烧结,再通过精密磨削、抛光、清洗等工序完成成品。

生产过程中,技术人员会对陶瓷臂的平面度、平行度、孔位精度进行逐件检测,确保与机械手法兰的配合精度。对于有特殊要求的客户,可提供图纸定制服务,由技术团队评估结构强度与加工可行性后安排生产。具体材质牌号、尺寸公差及表面粗糙度要求,以实物为准,具体参数请咨询。

解决的实际问题

在晶圆传输环节,金属臂体容易因磨损产生金属颗粒,对晶圆良率造成潜在影响;同时金属材料在真空环境下可能出现放气现象。广龙陶瓷臂采用无机非金属陶瓷材料,从源头上减少了金属污染的风险。相比常规金属方案,陶瓷臂在耐磨性、耐腐蚀性和尺寸稳定性方面具有自身优势,适合对洁净度要求较高的传输工位。

此外,陶瓷材料密度相对较低,在同等刚度条件下有助于减轻机械手末端负载,对提高传输速度和定位精度有一定帮助。对于已经使用陶瓷臂的客户,广龙陶瓷可作为替代或补充供应渠道,提供规格匹配的直销产品。

应用场景

该产品主要应用于半导体制造及相关精密电子行业,具体场景包括:

  • 真空机械手晶圆搬运臂;
  • 大气传输机械手末端执行器;
  • 晶圆检测设备中的承载与定位部件;
  • LED、光伏行业晶圆/硅片传输工位;
  • 其他需要洁净、耐磨、绝缘的精密传输场合。

广龙陶瓷产品已广泛应用于电子、机械、纺织、化纤、石油、医药等领域,在半导体陶瓷方向持续投入研发与工艺优化,能够为不同行业的客户提供定制化陶瓷部件。

服务流程与交付细节

作为直销厂家,广龙陶瓷注重服务流程的规范性与响应效率。客户可通过电话或线上方式提出需求,技术人员会先了解设备型号、安装方式、负载要求及使用环境,再推荐合适的材质与结构方案。对于需要定制的产品,客户可提供图纸或样品,公司安排技术评估并给出加工建议。

订单确认后,生产部门按排期组织生产,质检环节对关键尺寸和外观进行检验。发货地根据客户所在地灵活安排,支持全国发货。包装采用防震、防潮材料,确保运输过程中产品不受损伤。售后方面,公司提供技术咨询与使用建议,协助客户完成安装调试。具体交期与物流方式请在下单前与销售人员确认。

规格参数

  • 材质:氧化铝(Al₂O₃)/氧化锆(ZrO₂)可选
  • 纯度:氧化铝≥95%、≥99%可选,以实物为准
  • 密度:氧化铝约3.6-3.9 g/cm³,氧化锆约5.9-6.1 g/cm³
  • 抗弯强度:氧化铝≥300 MPa,氧化锆≥800 MPa(典型值)
  • 表面粗糙度:Ra≤0.4 μm(抛光面,可按要求调整)
  • 常规厚度:3-15 mm,臂长与孔位按图纸定制

以上参数为常规参考范围,具体参数请咨询。不同批次及定制规格可能存在差异,以实物为准。

联系方式:广龙陶瓷 13771389770

地址:江苏省宜兴市

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