规格参数
| 材质 | 氧化铝（Al₂O₃ 95%/99%）、氧化锆增韧陶瓷（以实际选材为准） |
|---|---|
| 密度 | 氧化铝≥3.6 g/cm³，氧化锆≥5.9 g/cm³（以实物为准） |
| 表面粗糙度 | Ra≤0.4 μm（抛光面，具体依图纸要求） |
| 尺寸精度 | 常规公差±0.05 mm，精密件可达±0.01 mm（具体参数请咨询） |
| 耐电压 | ≥15 kV/mm（氧化铝材质，以实测为准） |
| 适用温度 | 长期使用≤1200℃（氧化铝），≤800℃（氧化锆，视工况而定） |
产品详情
广龙特种陶瓷推出的GL-SC95系列半导体清洗设备专用陶瓷部件，是面向四川及全国半导体清洗设备制造商、晶圆厂设备维护部门提供的关键耗材与结构件。该系列产品以高纯氧化铝、氧化锆陶瓷为主要材质，具备良好的耐腐蚀性、绝缘性与尺寸稳定性，可适配多种湿法清洗、超声清洗及兆声清洗设备的工况需求。广龙陶瓷依托多年工程陶瓷研发经验，从选材、成型、烧结到精密抛光形成完整服务流程，帮助客户在清洗设备运行中降低颗粒污染风险、延长部件更换周期。
产品功能与材质特点
半导体清洗设备在运行过程中，陶瓷部件常需接触酸碱清洗液、去离子水及高温环境，对材料的化学稳定性和机械强度有较高要求。广龙GL-SC95系列选用高纯氧化铝（Al₂O₃含量95%以上）及氧化锆增韧陶瓷为基材，经等静压成型与高温烧结制成，材料致密度较高，气孔率低，有助于减少颗粒脱落对晶圆表面的影响。
在功能层面，该系列陶瓷部件主要承担绝缘隔离、液体导流、承载定位及耐腐蚀防护等作用。例如，清洗槽内的陶瓷喷嘴、陶瓷吸盘、陶瓷导轨、陶瓷绝缘环等，均需在持续接触化学介质的条件下保持形状与性能稳定。广龙陶瓷通过配方调整与烧结工艺控制，使产品在耐酸碱腐蚀、抗热震及表面光洁度方面具备较为均衡的表现。
服务流程与细节说明
广龙陶瓷在服务半导体清洗设备客户时，注重从需求沟通到交付验收的全流程衔接。具体服务环节包括：
- 需求沟通：客户提供图纸、样品或工况参数（如接触介质、工作温度、尺寸精度要求），技术人员进行可行性评估。
- 选材建议：根据清洗设备的具体应用位置，推荐氧化铝、氧化锆或复合陶瓷方案，兼顾性能与成本。
- 样品试制：针对非标件或新开发件，可安排小批量试制，供客户装机验证。
- 精密加工：依托陶瓷抛光技术积累，对密封面、配合面进行研磨抛光，控制表面粗糙度与平面度。
- 检验交付：出货前进行尺寸抽检与外观检查，随货提供材质说明与检验记录（具体以协商为准）。
在细节层面，广龙陶瓷关注陶瓷件与金属件、塑料件的配合公差，避免因热膨胀系数差异导致装配应力集中。对于清洗设备中常见的薄壁环件、长条形导轨等易变形结构，技术人员会在烧结与加工环节采取辅助支撑与分步加工方式，以保持成品尺寸的一致性。
适用场景与适配设备
GL-SC95系列陶瓷部件适用于半导体晶圆制造中的湿法清洗工序，包括槽式清洗机、单片旋转清洗机、超声/兆声波清洗设备等。具体应用位置涵盖：清洗槽内衬、喷嘴、承载台、机械手末端执行器绝缘件、传输导轨、定位销及各类绝缘结构件。
除半导体行业外，该系列陶瓷件也可用于LED衬底清洗、光伏硅片清洗及精密电子清洗设备中，对耐腐蚀、绝缘及洁净度有要求的场合。广龙陶瓷可根据设备厂商提供的接口尺寸与安装方式，进行定制化生产，满足不同机型与工艺段的配套需求。
品质管控与技术支持
广龙陶瓷成立于2000年，位于陶瓷产业底蕴深厚的地区，现有员工80人，其中专业技术人员5人，是一家集传统陶瓷工艺与现代高科技研发、生产于一体的工程陶瓷企业。公司专业致力于氧化铝、氧化锆、氧化钛陶瓷及半导体陶瓷等特种陶瓷产品的研发与生产，在陶瓷抛光领域拥有独特技术优势，产品性能指标稳定。
在半导体清洗设备陶瓷件的生产中，广龙陶瓷从原料入库到成品出库设置多道检验节点，对粉体纯度、成型密度、烧结收缩率及成品尺寸进行记录与追踪。针对客户在装机过程中遇到的适配问题，技术人员可提供远程或现场沟通支持，协助分析问题原因并给出调整建议。具体技术参数及适配方案请咨询广龙陶瓷业务人员。
规格参数
- 材质：氧化铝（Al₂O₃ 95%/99%）、氧化锆增韧陶瓷（以实际选材为准）
- 密度：氧化铝≥3.6 g/cm³，氧化锆≥5.9 g/cm³（以实物为准）
- 表面粗糙度：Ra≤0.4 μm（抛光面，具体依图纸要求）
- 尺寸精度：常规公差±0.05 mm，精密件可达±0.01 mm（具体参数请咨询）
- 耐电压：≥15 kV/mm（氧化铝材质，以实测为准）
- 适用温度：长期使用≤1200℃（氧化铝），≤800℃（氧化锆，视工况而定）
联系方式：广龙陶瓷 13771389770，地址：江苏省宜兴市。