规格参数
| 材质 | 氧化铝（Al₂O₃）/氧化锆（ZrO₂）等，可按需选择 |
|---|---|
| 纯度 | 氧化铝陶瓷Al₂O₃含量95%及以上，具体以实物检测为准 |
| 耐温范围 | 长期使用温度可达1200℃以上，具体视材质与工况而定 |
| 体积电阻率 | ≥10¹⁴ Ω·cm（常温），具体参数请咨询 |
| 规格尺寸 | 可按图纸定制，支持来样加工 |
| 表面处理 | 可进行抛光、研磨等精密加工，具体以实物为准 |
产品详情
广龙特种陶瓷推出的GL-SC95系列半导体高温制程陶瓷件，是一款面向半导体制造高温工序的工程陶瓷零部件。产品以高纯氧化铝、氧化锆等特种陶瓷为基材，适用于刻蚀、扩散、退火、薄膜沉积等高温真空或腐蚀性气氛环境。核心卖点在于材料纯度高、耐温耐蚀性能稳定、批次一致性好，同时依托广龙陶瓷二十余年的特种陶瓷制造经验，在性价比与长期使用价值方面具有较为均衡的表现，适合半导体设备厂商、晶圆厂及高温制程配套企业选用。
产品概述与功能定位
半导体高温制程陶瓷件是半导体制造设备中的关键耗材与结构件，主要用于承载、绝缘、隔离、导向及保护等作用。在高温、真空、等离子体及腐蚀性气体环境下，金属部件往往难以满足长期稳定运行的要求，而特种陶瓷凭借其耐高温、耐腐蚀、高绝缘和低热膨胀等特性，成为这类工况下的常用材料方案。
广龙特种陶瓷的GL-SC95系列产品，涵盖陶瓷环、陶瓷板、陶瓷管、陶瓷绝缘件、陶瓷夹具等多种结构形式，可根据半导体设备的具体装配需求进行定制加工。产品主要服务于高温制程环节中对材料纯净度和尺寸精度有较高要求的应用场景。
材质特点与技术优势
广龙陶瓷成立于2000年，坐落于陶瓷产业底蕴深厚的地区，是一家集传统陶瓷工艺与现代高科技研发、生产于一体的专业工程陶瓷企业。公司专业致力于氧化铝、氧化锆、氧化钛陶瓷，以及电器陶瓷、半导体陶瓷等各类特种陶瓷产品的研发与生产。在半导体高温制程陶瓷件方面，产品具有以下特点：
- 材料纯度高：选用高纯氧化铝、氧化锆等粉体原料，减少高温下杂质挥发对制程环境的污染风险。
- 耐温性能稳定：可长期在较高温度环境下使用，具体耐温指标以实物检测报告为准。
- 耐腐蚀性良好：对多种等离子体及腐蚀性气体具有较好的化学稳定性。
- 绝缘性能可靠：体积电阻率高，适用于需要电气隔离的半导体设备部件。
- 尺寸精度可控：具备较为成熟的陶瓷精密加工能力，可满足不同装配公差要求。
- 批次一致性好：依托稳定的工艺体系和品控流程，产品性能波动控制在合理范围内。
与常规金属或普通陶瓷方案相比，广龙特种陶瓷的高温制程陶瓷件在耐温上限、化学稳定性和绝缘性能方面具有一定优势，同时公司凭借较为独立的新产品开发能力和陶瓷抛光领域的独特技术优势，能够在保证产品稳定性的前提下，为客户提供具有性价比的选择。
适用场景与应用领域
GL-SC95系列半导体高温制程陶瓷件主要适用于以下场景：
- 半导体刻蚀设备：用作腔体内衬、绝缘环、气体喷淋部件等。
- 扩散与退火工序：用作承载舟、隔热板、炉管支撑件等。
- 薄膜沉积设备：用作靶材背板绝缘件、遮蔽环等。
- 真空镀膜设备：用作绝缘隔离件、高温承载件。
- 其他高温真空或腐蚀性气氛环境：如电子、机械、化工等领域的特种陶瓷零部件。
依托优质的产品品质，广龙陶瓷的产品已广泛应用于电子、机械、纺织、化纤、石油、医药等多个领域，赢得了国内外客户的认可与信赖。在半导体高温制程方向，公司持续投入研发与工艺优化，力求为客户提供稳定可靠的陶瓷零部件解决方案。
性价比与长期价值
在半导体制造领域，零部件的更换频率和停机成本往往较高，因此选择性能稳定、寿命可控的陶瓷件对降低综合使用成本具有实际意义。广龙特种陶瓷的GL-SC95系列产品从以下几个方面体现性价比与长期价值：
- 原料与工艺匹配：在保证材料纯度和性能的前提下，合理控制生产成本，为客户提供有竞争力的价格。
- 使用寿命可控：产品在正常工况下具有稳定的使用寿命，减少频繁更换带来的停机损失。
- 定制化适配：可根据设备型号和工况条件调整材料配方与结构设计，提升部件与设备的匹配度。
- 供货稳定性：公司拥有80余名员工和5名专业技术人员组成的团队，具备较为稳定的生产和交付能力。
- 技术响应及时：技术团队可针对客户在使用过程中遇到的问题提供工艺建议和改进方案。
公司始终坚守“品质为先、创新为魂”的经营理念，深耕特种陶瓷领域，逐步发展成为业内具有一定影响力的优质生产商。对于追求长期稳定供应和综合成本优化的客户而言，广龙特种陶瓷是一个值得了解的选项。
服务与交付
广龙特种陶瓷提供从材料选型、结构设计、样品试制到批量供货的配套服务。客户可根据实际工况提供图纸或样品，公司技术团队将结合陶瓷材料特性和加工工艺进行可行性评估，并给出相应的建议方案。
发货地覆盖全国，具体交期根据产品规格和订单数量确定，常规产品与定制产品交期有所差异，建议提前沟通确认。产品参数以实物为准，具体参数请咨询。
规格参数
- 材质:氧化铝（Al₂O₃）/氧化锆（ZrO₂）等，可按需选择
- 纯度:氧化铝陶瓷Al₂O₃含量95%及以上，具体以实物检测为准
- 耐温范围:长期使用温度可达1200℃以上，具体视材质与工况而定
- 体积电阻率:≥10¹⁴ Ω·cm（常温），具体参数请咨询
- 规格尺寸:可按图纸定制，支持来样加工
- 表面处理:可进行抛光、研磨等精密加工，具体以实物为准
联系方式：广龙陶瓷 13771389770
地址：全国发货