规格参数
| 材质 | 氧化铝/氧化锆/氧化钛（可选） |
|---|---|
| 纯度 | ≥99%（视材质与型号而定） |
| 最高使用温度 | 1600℃（不同材质有所差异） |
| 体积密度 | ≥3.6 g/cm³（以氧化铝为例） |
| 表面粗糙度 | Ra≤0.8μm（抛光处理后，以实物为准） |
| 规格尺寸 | 可按图纸定制，具体参数请咨询 |
产品详情
广龙特种陶瓷推出的GL-HT99系列半导体高温制程陶瓷件，是专为半导体制造前道高温工艺环节设计的关键耗材与结构部件。该产品以高纯氧化铝、氧化锆及氧化钛等特种陶瓷为基材，适用于扩散炉、氧化炉、退火炉、刻蚀设备等高温制程环境，能够为晶圆制造过程中的承载、绝缘、隔热与保护提供稳定支撑。核心卖点在于材料纯度可控、抗热震性能良好、尺寸精度稳定，并依托广龙陶瓷多年积累的陶瓷抛光技术，在表面平整度与洁净度方面具有较好的表现，适合对洁净度与耐温性有较高要求的半导体制造场景。
产品功能与特点
半导体高温制程陶瓷件主要用于高温炉管内部及周边区域，承担晶圆承载、隔热屏蔽、电气绝缘、气体导流等作用。在扩散、氧化、退火等工艺中，陶瓷件长期处于高温、高洁净度及部分腐蚀性气氛环境中，对材料的纯度、热稳定性、化学惰性和机械强度提出了较高要求。广龙特种陶瓷的GL-HT99系列产品围绕这些实际需求进行材料选型与工艺设计，具备以下特点：
- 高纯度陶瓷基材，杂质含量控制在一定范围内，有助于减少对晶圆表面的污染风险；
- 良好的抗热震性能，可适应半导体制程中频繁升降温带来的热应力变化；
- 耐高温性能稳定，在长期高温环境下保持结构完整与尺寸稳定；
- 优异的电气绝缘性能，适用于高温环境下的绝缘隔离部件；
- 表面经过精密抛光处理，平整度与洁净度较好，有利于减少颗粒附着；
- 可根据设备型号与工艺需求定制不同规格、形状与开孔结构。
需要说明的是，具体性能指标会因材料配方、产品结构及使用工况不同而有所差异，实际参数以实物为准，选型时建议结合具体制程条件咨询技术人员。
能解决什么问题
在半导体高温制程中，常规金属部件在高温下易氧化、变形或释放污染物，而普通陶瓷件若纯度不足或致密度不够，也可能出现掉粉、开裂、尺寸漂移等问题，影响工艺稳定性与晶圆良率。广龙特种陶瓷的半导体高温制程陶瓷件从材料源头到加工环节进行控制，针对上述问题提供解决思路：
第一，通过选用高纯陶瓷粉体并优化烧结工艺，降低材料内部杂质与气孔率，减少高温下挥发性污染物的释放；第二，依托公司在陶瓷抛光领域的技术积累，对产品表面进行精细处理，降低表面粗糙度，减少颗粒吸附与脱落风险；第三，根据设备实际装配要求进行尺寸与公差控制，提升部件与炉管、夹具之间的匹配度，降低因装配间隙不当导致的工艺波动。相比常规陶瓷方案，广龙陶瓷的产品在表面质量与尺寸一致性方面具有一定优势，能够为半导体设备的高温制程提供较为稳定的配套支持。
材质与配置
GL-HT99系列产品可根据不同应用场景选择氧化铝（Al₂O₃）、氧化锆（ZrO₂）或氧化钛（TiO₂）等材质体系。其中，高纯氧化铝陶瓷具有较好的绝缘性与耐高温性能，适用于炉管绝缘件、承载板等；氧化锆陶瓷在韧性方面表现较好，适合对机械强度要求较高的结构件；氧化钛陶瓷则在特定气氛环境下具有独特的化学稳定性。产品配置方面，可根据客户图纸或样品进行定制加工，支持平板、圆环、管状、坩埚、夹具等多种形态，并可按需进行开槽、打孔、倒角等精密加工。具体材质选择与配置方案，建议根据实际制程温度、气氛类型及装配要求与广龙陶瓷技术团队沟通确认。
应用场景
广龙特种陶瓷的半导体高温制程陶瓷件主要面向半导体制造及相关高温工业领域，适用场景包括但不限于：
- 扩散炉、氧化炉、退火炉中的晶圆承载舟、隔热挡板、炉口绝缘件；
- 刻蚀设备中的陶瓷内衬、气体喷淋部件及绝缘环；
- 薄膜沉积设备中的高温承载台、保护管及绝缘结构件；
- 半导体材料制备过程中的高温坩埚、承烧板与夹具；
- 其他需要耐高温、绝缘、洁净的电子与光电制造环节。
依托湖南及周边地区半导体与电子制造产业的集聚优势，广龙陶瓷能够为本地及全国客户提供较为便捷的配套服务，在区域市场内积累了稳定的客户基础。
服务与交付
广龙陶瓷成立于2000年，坐落于陶瓷产业底蕴深厚的地区，是一家集传统陶瓷工艺与现代高科技研发、生产于一体的专业工程陶瓷企业。公司现有在职员工80人，其中专业技术人员5人，具备较为独立的新产品开发能力和高新陶瓷技术攻关能力。在半导体高温制程陶瓷件方面，公司可提供从材料选型、结构设计、样品试制到批量供货的全流程服务。依托本地化生产与区域服务优势，广龙陶瓷能够较快响应湖南及周边地区客户的需求，在交期沟通、技术对接与售后支持方面提供便利。产品发货地为全国发货，具体交期与物流方案可根据订单数量与定制要求协商确定。公司产品广泛应用于电子、机械、纺织、化纤、石油、医药等领域，赢得了国内外客户的一致认可与信赖。
规格参数
- 材质:氧化铝/氧化锆/氧化钛（可选）
- 纯度:≥99%（视材质与型号而定）
- 最高使用温度:1600℃（不同材质有所差异）
- 体积密度:≥3.6 g/cm³（以氧化铝为例）
- 表面粗糙度:Ra≤0.8μm（抛光处理后，以实物为准）
- 规格尺寸:可按图纸定制，具体参数请咨询
如需了解更多产品信息或获取选型建议，欢迎联系广龙陶瓷：13771389770。地址：。我们将根据您的制程需求提供针对性的陶瓷件解决方案。