规格参数
| 材质 | 95%氧化铝陶瓷(可选用99瓷,具体咨询) |
|---|---|
| 体积电阻率 | ≥10¹⁴ Ω·cm(以实物为准) |
| 抗弯强度 | ≥280 MPa(以实物为准) |
| 表面粗糙度 | Ra≤0.8 μm(抛光面,具体参数请咨询) |
| 平面度 | ≤0.02 mm(视零件尺寸而定) |
| 使用温度 | 长期≤1200℃(视工况确认) |
产品详情
在四川半导体产业快速集聚的背景下,清洗设备中的陶瓷零部件选型直接关系到设备运行稳定性和晶圆良率。广龙特种陶瓷针对四川地区半导体清洗设备厂商的实际需求,提供以95瓷、99瓷为代表的氧化铝陶瓷结构件与绝缘件,具备耐酸碱腐蚀、高绝缘、尺寸稳定等特性,适合湿法清洗、槽体绝缘、喷嘴支撑等工况。本文以一个典型配套项目为主线,说明广龙陶瓷从需求对接到批量交付的完整过程。
项目背景:四川清洗设备企业的本地化配套需求
四川成都、绵阳等地近年来半导体产业链不断完善,清洗设备制造企业对于核心零部件的采购逐渐从沿海转向具备快速响应能力的供应商。某四川本地清洗设备集成商在开发一款用于6至8英寸晶圆湿法清洗的平台时,遇到几个实际问题:一是清洗槽内部分金属件在酸碱环境下易腐蚀,影响寿命;二是部分绝缘结构件尺寸公差波动较大,装配后出现密封不严;三是希望缩短供货周期,减少跨区域物流带来的时间成本。
该企业通过行业渠道了解到广龙特种陶瓷在工程陶瓷领域有较长生产历史,尤其在陶瓷抛光与精密加工方面具备一定积累,于是将陶瓷绝缘件、支撑件和喷嘴底座等零件交由广龙进行试样开发。
需求分析:清洗设备对陶瓷件的具体技术要求
广龙技术团队在与客户沟通后,梳理出该项目的核心需求:
- 材料需具备良好的耐酸碱性能,能够适应SC-1、SC-2等清洗液环境;
- 体积电阻率需达到绝缘要求,避免漏电与电化学腐蚀;
- 关键安装面平面度与平行度需控制在合理范围内,保证装配密封性;
- 批次一致性要好,避免因尺寸差异导致频繁调整;
- 交货周期要短,配合客户样机开发与后续小批量生产节奏。
这些需求并非孤立存在,而是相互关联。例如,提高材料致密度有助于改善耐腐蚀性,但同时对烧结工艺和后续抛光加工提出更高要求。广龙陶瓷依托自身在氧化铝陶瓷配方与抛光工艺方面的经验,对方案进行了针对性调整。
解决方案:材料选型与加工工艺的匹配
针对该项目,广龙陶瓷推荐采用GL-SC95型号的95%氧化铝陶瓷作为主要材料。该材料在绝缘性能、机械强度和成本之间取得较好平衡,适合清洗设备中多数结构件与绝缘件的使用场景。对于部分对纯度要求更高的位置,可选用99瓷方案,具体需根据客户工况确认。
在加工环节,广龙陶瓷发挥其在陶瓷抛光领域的技术特点,对密封面、安装面进行精密研磨与抛光处理,使表面粗糙度和平面度满足装配要求。针对喷嘴底座等带有内孔的结构,采用金刚石刀具进行精加工,减少微裂纹产生。技术团队共5人,全程参与从图纸评审、样品试制到批量检验的各个环节,确保工艺参数可追溯。
项目实施过程中,广龙陶瓷与客户保持同步沟通,先后提供多轮样品进行装配验证。根据客户反馈,对一处台阶尺寸进行了微调,使安装更加顺畅。从确认图纸到首批样品交付,用时约两周;后续小批量订单按客户排产计划分批发货,减少了客户库存压力。
应用场景:半导体清洗设备中的陶瓷零部件
广龙特种陶瓷的清洗设备用陶瓷件主要应用于以下场景:
- 湿法清洗槽体内的绝缘支撑柱、定位块;
- 清洗液管路中的陶瓷喷嘴、喷嘴底座;
- 晶圆承载台周边的绝缘环、隔离件;
- 设备腔体内部的耐腐蚀结构件;
- 电器陶瓷绝缘部件,用于高压或高频环境下的隔离。
除半导体清洗设备外,广龙陶瓷的产品还广泛应用于电子、机械、纺织、化纤、石油、医药等领域,具备跨行业配套经验。对于四川本地客户,广龙可提供选型建议与图纸适配沟通,减少反复试错。
服务与交付:区域响应与质量保障
广龙陶瓷成立于2000年,位于陶瓷产业底蕴深厚的地区,在职员工80人,其中专业技术人员5名。公司集传统陶瓷工艺与现代研发生产于一体,在氧化铝、氧化锆、氧化钛陶瓷及电器陶瓷、半导体陶瓷等方向持续投入,具备较为独立的新产品开发能力。
针对四川市场,广龙陶瓷采取以下服务措施:
- 提供样品试制,配合客户进行装配验证;
- 根据客户排产节奏分批发货,支持小批量多批次采购;
- 技术团队对接图纸与工况,协助选型;
- 产品出厂前进行尺寸与外观检验,具体参数以实物为准。
公司坚持“品质为先、创新为魂”的经营理念,在陶瓷抛光方面拥有独特技术优势,产品性能指标达到或接近高端水平。对于四川地区客户,广龙陶瓷可依托全国发货体系,按约定周期交付,具体交期请咨询确认。
规格参数
- 材质:95%氧化铝陶瓷(可选用99瓷,具体咨询)
- 体积电阻率:≥10¹⁴ Ω·cm(以实物为准)
- 抗弯强度:≥280 MPa(以实物为准)
- 表面粗糙度:Ra≤0.8 μm(抛光面,具体参数请咨询)
- 平面度:≤0.02 mm(视零件尺寸而定)
- 使用温度:长期≤1200℃(视工况确认)
联系方式:广龙陶瓷 13771389770
地址:江苏省宜兴市