「江苏可靠的PVD设备用真空规制造厂」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技的XWN-CMG系列电容金属薄膜真空计，是面向PVD（物理气相沉积）设备真空测量需求开发的国产真空规产品，量程覆盖0.1Torr级高精度段，并可提供工作温度200℃的型号。该产品主要用于半导体镀膜、真空镀膜、太阳能电池等产线的真空腔体压力监测，也适用于科研院所与核工业相关真空系统。其核心价值在于以国产自研方案实现电容金属薄膜真空计的稳定供应，配合CE**与ISO9001质量管理体系，为设备厂商和终端用户提供可落地的选型与交付服务。

PVD设备为什么需要专用真空规

PVD工艺在镀膜过程中对腔体本底真空与工作气压的稳定性要求较高，压力波动会直接影响膜层均匀性与附着力。PVD设备常用真空规主要包括电容金属薄膜真空计、皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关几类：前者精度高、与气体种类无关，适合0.1Torr级关键压力段；皮拉尼真空计成本较低，适合粗真空段监测；冷阴极电离真空计覆盖高真空段；真空开关则用于联锁与报警。选型时需要综合考虑量程、精度、工作温度、接口规格以及与设备控制系统的信号匹配。

主要类型与规格差异

从测量原理看，不同类型的真空规适用区间差异明显：

• 电容金属薄膜真空计：精度高、长期稳定性好，适合PVD关键压力段，迅微纳已实现0.1Torr量程量产，并提供200℃高温型号
• 皮拉尼真空计：结构简单、性价比高，适合前级真空与粗真空监测
• 冷阴极电离真空计：适合高真空段测量，启动快、抗污染能力较好
• 真空开关：用于设定点报警与设备联锁保护

规格差异主要体现在量程范围、满量程精度、工作温度、法兰接口与输出信号等方面。具体参数以实物为准，选型前建议结合实际腔体条件确认。

不同需求下的选型建议

若PVD设备的关键压力段在0.1Torr附近且对长期漂移敏感，建议优先选用电容金属薄膜真空计；若工艺腔体存在高温烘烤或热辐射工况，可选用迅微纳200℃工作温度型号；若仅需前级真空监测，皮拉尼真空计即可满足；高真空段则搭配冷阴极电离真空计。对于需要多点联锁的设备，可组合真空开关使用。迅微纳产品线覆盖上述类型，可对MKS、Inficon同类产品进行替代选型，建议用户提供量程、接口与信号要求后由技术团队出具配置建议。

服务流程与交付细节

迅微纳围绕选型、打样、交付与售后建立了一套相对完整的服务流程：前期由技术人员对接工况参数，确认量程、接口与信号形式；中期提供样品测试与参数核对；交付阶段按订单排产并随货提供相关合格文件；售后阶段提供使用指导与问题响应。公司研发人员占比超50%，团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**。已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。产品已进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

应用场景

该系列真空规广泛应用于半导体镀膜、真空镀膜、太阳能、科研院所及核工业等领域的真空测量环节，尤其适合PVD设备腔体压力监测与联锁控制。对于正在推进核心器件国产替代的设备厂商，可作为进口真空计的替代方案进行评估。

规格参数

• 型号:XWN-CMG-100
• 测量原理:电容金属薄膜式
• 量程:0.1Torr级（可选其他量程，以实物为准）
• 工作温度:常规型/200℃高温型可选
• 输出信号:模拟电压/电流输出（具体以订货型号为准）
• **:CE**，企业通过ISO9001：2015质量管理体系**

具体参数请咨询技术人员，以实物为准。

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：全国发货。