「江苏行业内200度的真空规品牌」-「迅微纳半导体科技」

本文以江苏一家半导体设备集成商的高温工艺腔体真空测量改造项目为主线，介绍迅微纳半导体科技200℃电容金属薄膜真空计（XWN-CMG200H）的应用情况。该产品面向需要在高温环境下进行稳定压力测量的半导体、真空镀膜、科研装置等用户，核心卖点是耐受200℃工作温度、0.1Torr量程能力可覆盖高精度测量需求，以及国产化带来的供货稳定与长期使用成本优势。对于关注性价比与长期价值的采购方，本文可作为选型参考。

项目背景：高温腔体测量为何成为瓶颈

该客户位于江苏，主要为半导体与真空镀膜行业提供工艺腔体集成方案。在其一款高温工艺设备中，腔体长期运行温度接近200℃，原有真空测量方案在高温工况下出现零点漂移、读数一致性下降的问题，需要频繁停机校准，影响整线节拍与维护成本。

客户的核心需求有三点：一是真空计需在200℃环境下长期稳定工作，二是量程覆盖工艺所需的低压段并要求较高分辨率，三是供货周期可控、售后响应及时，避免因进口器件交期与价格波动影响项目交付。

需求分析与方案选择

项目组对腔体工况、测量区间与安装方式进行了联合评估。客户此前使用的进口电容薄膜真空计精度表现稳定，但价格与交期压力较大，且在高温规格上可选型号有限。迅微纳团队根据现场条件，推荐了工作温度200℃的电容金属薄膜真空计XWN-CMG200H，并配合其皮拉尼真空计与真空开关产品，形成从粗真空到高精度测量、再到联锁保护的组合方案。

方案要点包括：

• 主测量采用XWN-CMG200H，量程覆盖0.1Torr级低压段，满足工艺腔体精细压力控制；
• 传感器与腔体连接处采用耐温结构设计，减少温度对测量零点的干扰；
• 预留真空开关输出，用于超压与异常工况的联锁保护；
• 整机按客户设备接口定制电气连接方式，缩短现场改造时间。

实施过程：从打样到批量装机

项目分三个阶段推进。第一阶段为样机验证，迅微纳提供样机供客户在高温腔体上做对比测试，重点记录升温过程中的零点稳定性与重复性；第二阶段为小批量试装，客户在多台设备上并行运行，验证长期漂移与维护周期；第三阶段进入批量装机，由迅微纳提供安装指导与参数配置说明，客户产线完成切换。

在验证阶段，客户对国产器件的初始疑虑主要集中在高温下的长期一致性和批次稳定性。迅微纳团队提供了测试数据与出厂校准记录，并配合客户完成多轮对比测试，逐步建立信任。整个过程依托公司ISO9001:2015质量管理体系运行的流程执行，产品已通过CE**。

应用成效与长期价值

改造完成后，客户设备在高温工况下的压力读数稳定性得到改善，校准与维护频次下降，停机时间相应减少。从长期价值看，国产化方案在采购价格、交期与备件供应上具备优势，减少了单一进口渠道带来的不确定性，也便于后续产线扩展时快速复制。

迅微纳是一家致力于自主研发、制造和销售高性能真空计的创新公司，以解决电容金属薄膜真空计进口限制带来的供应风险、实现核心器件国产替代为愿景。公司已实现0.1Torr量程电容金属薄膜真空计的量产，并开发出200℃工作温度的型号，同时具备皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品。团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号，已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。

应用场景与适用客户

XWN-CMG200H适用于需要在较高环境温度下进行稳定真空测量的场合，典型场景包括半导体高温工艺腔体、真空镀膜设备、科研院所真空实验装置以及核工业相关真空系统。迅微纳产品已应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，并进入一线设备厂商与科研院所供应链，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

服务与交付

迅微纳提供选型咨询、样机测试、安装指导与售后支持等环节的服务，可根据客户设备接口与工况条件提供配置建议。产品发货覆盖全国，具体交期与技术支持安排可提前沟通确认。对于批量项目，可配合客户完成验证与切换计划，降低产线改造风险。

规格参数

• 型号:XWN-CMG200H
• 测量原理:电容金属薄膜式
• 工作温度:最高200℃
• 量程:覆盖0.1Torr级低压段（具体量程以选型确认为准）
• 输出信号:模拟电压/电流输出（可选）
• **:CE**，按ISO9001:2015体系生产

以上参数以实物为准，具体参数请咨询厂家确认。

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：。