「江苏质量好的金属膜真空计生产商」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技的 XWN-CMG-100M 电容金属薄膜真空计，是一款面向科研院所、半导体设备、真空镀膜及核工业用户的高精度真空测量产品，量程覆盖 0.1Torr 级，可实现该类核心器件的国产替代。产品兼顾测量稳定性与长期使用成本，适合对真空测量精度、供货周期与售后响应有持续要求的用户。本文以一个科研院所真空腔体测量项目为主线，介绍选型背景、方案实施与运行成效。

项目背景与需求

某科研院所的真空腔体实验平台原采用进口电容金属薄膜真空计，用于 0.1Torr 量级压力区间的精密测量。随着进口供应周期拉长、备件采购受限，平台面临测量器件断供风险，同时原有器件的校准与维护成本逐年上升。平台方提出三点需求：一是量程与精度满足原有实验工艺要求；二是长期运行稳定、漂移可控，减少频繁校准带来的停机；三是供货与售后响应及时，降低全生命周期使用成本。

方案设计与选型

针对上述需求，迅微纳半导体科技推荐了 XWN-CMG-100M 电容金属薄膜真空计。该型号采用金属薄膜电容传感结构，在 0.1Torr 量程段具备良好的线性与重复性，适合腔体压力的精密监测。方案同时考虑了平台方对高温工况的潜在需求，公司已开发出工作温度 200 度的电容金属薄膜真空计，可在后续工艺升级时平滑衔接。

选型过程中，技术团队结合腔体容积、气体种类与测量接口，对安装位置与信号输出方式进行了匹配，并提供现场安装指导与零点校准说明，确保器件与原有采集系统兼容。

实施过程与运行成效

器件交付后，平台方在相同工况下进行了对比测试。测试结果显示，XWN-CMG-100M 在目标量程段读数稳定，重复性满足实验要求，长期运行期间零点漂移处于可控范围，校准周期较原方案有所延长，减少了维护停机时间。平台方反馈，国产器件在备件供应与响应速度上具备优势，后续批次采购与扩容可快速到位。

从长期价值看，该方案在采购成本、维护成本与停机损失三方面形成综合优势，适合需要持续运行、对供应链稳定性敏感的科研与工业场景。

产品能力与服务保障

迅微纳半导体科技致力于自主研发、制造和销售高性能真空计，以解决电容金属薄膜真空计美国禁令带来的“卡脖子”问题、实现核心器件国产替代为愿景。公司聚集了 2 名博士、1 名高级工程师、2 名硕士和多名学士组成的创新团队，研发人员占比超 50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。

公司已实现要求最高的电容金属薄膜真空计（量程 0.1Torr）的量产，并开发出皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可对 MKS 和 Inficon 真空计产品形成系列化替代。已申请发明专利 6 项、实用新型 2 项和软件著作权 4 项。产品广泛应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，已进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

• 产品已通过 CE **，公司已通过 ISO9001：2015 质量管理体系**
• 提供选型支持、安装指导与校准说明
• 备件供应与售后响应及时，支持长期使用维护
• 可结合高温工况需求提供 200 度工作温度型号

应用场景

XWN-CMG-100M 适用于科研实验腔体压力监测、半导体设备真空测量、真空镀膜工艺控制、核工业真空系统等场景。对于需要在 0.1Torr 量级进行精密测量、且关注供货稳定性与全生命周期成本的用户，可作为进口器件的替代选择。具体适配方案需结合工况参数确认。

规格参数

• 型号:XWN-CMG-100M
• 测量原理:电容金属薄膜传感
• 量程:0.1Torr 级（以实物为准）
• 工作温度:常规型与 200 度高温型可选（具体参数请咨询）
• 输出信号:模拟电压/数字接口可选（具体参数请咨询）
• **:CE **，企业通过 ISO9001：2015 质量管理体系**

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：江苏。