「苏州行业内电容薄膜真空计生产厂家」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CDM-100电容薄膜真空计，是一款面向0.1Torr量程段的高精度真空测量产品，采用电容金属薄膜传感结构，适用于半导体、真空镀膜、科研院所等对测量稳定性要求较高的场景。该产品针对电容金属薄膜真空计长期依赖进口的现状，实现了核心器件的国产化制造，并已形成200℃高温版本，可覆盖常规方案难以胜任的高温工艺环境。核心价值在于以自主量产的传感器件替代进口同类产品，为设备厂商和终端用户提供可持续供货的测量方案。

行业背景：真空测量的国产化需求正在上升

真空计是半导体设备、镀膜设备、加速器与核工业装置中的基础测量部件，其中电容金属薄膜真空计因精度高、长期漂移小，长期占据中高真空段的主流位置。过去这一细分市场主要由MKS、Inficon等国际品牌供应，近年来受出口管制与供应链波动影响，国内设备厂商对国产替代方案的需求明显增加。

从应用端看，半导体前道设备、光伏镀膜、核聚变实验装置等领域的扩产与升级，带动了对0.1Torr至1000Torr量程段真空计的需求增长。行业对产品的诉求集中在三点：量程覆盖完整、高温工况可用、批次一致性好。迅微纳的产品布局正是围绕这三个方向展开，目前已实现0.1Torr量程电容金属薄膜真空计的量产，并延伸出皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品。

产品特点：传感结构与工艺适配

XWN-CDM-100采用金属薄膜电容传感元件，通过膜片在压差作用下的微小位移转换为电容量变化，从而获得压力读数。相比热传导类真空计，该结构在测量精度和长期稳定性方面具有优势，且读数受气体种类影响较小，适合工艺气体组分变化的场合。

• 量程覆盖0.1Torr段，适配中高真空测量需求
• 金属薄膜传感结构，长期漂移控制较好
• 提供200℃高温工作版本，适配烘烤与高温工艺
• 输出信号兼容常规真空计控制器接口
• 核心传感件自主制造，供货周期可控

在工艺适配方面，产品可安装于真空腔体侧壁或管路节点，适用于需要连续监测的产线设备。高温版本针对腔体烘烤、沉积工艺中的热负载环境设计，减少了因温度波动导致的读数偏差。

解决什么问题：从供货到测量的双重考量

对设备厂商而言，进口真空计的交期与合规风险是现实问题。迅微纳以自主研发的传感件为核心，形成从设计到量产的完整链条，为设备厂商提供可长期配套的国产选项。对终端用户而言，产品在0.1Torr量程的测量一致性，可满足工艺监控对重复性的要求，降低因测量漂移导致的工艺波动。

需要说明的是，不同工况对真空计的要求存在差异，选型时应结合量程、气体环境、工作温度与接口协议综合判断，具体参数以实物为准，建议在采购前与技术人员确认适配方案。

应用场景

产品已应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，并进入一线设备厂商与科研院所的供应链。合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。典型场景包括：

• 半导体薄膜沉积与刻蚀设备的腔体压力监测
• 光伏镀膜产线的真空段过程控制
• 科研真空系统与加速器装置的真空度测量
• 核工业相关真空设备的压力监控

服务与交付

迅微纳半导体科技由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成研发团队，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，产品通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**。交付方面可根据项目需求提供选型支持与批量供货，具体交期与配套方案请咨询销售或技术人员。

规格参数

• 型号:XWN-CDM-100
• 测量原理:电容金属薄膜传感
• 量程:0.1Torr段（具体以选型为准）
• 工作温度:常规版/200℃高温版可选
• 输出信号:兼容常规真空计控制器接口
• **:CE**，ISO9001:2015体系

以上参数以实物为准，具体参数请咨询。联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。