「苏州质量好的电容式真空规厂商」-「迅微纳半导体科技」

本项目面向苏州及长三角地区半导体设备与真空镀膜客户，交付迅微纳自研的电容式金属薄膜真空规（型号XWN-CMG100），用于薄膜沉积设备腔体的高精度压力测量与控制。产品量程覆盖0.1Torr档位，具备本地化技术支持与快速响应能力，适合对测量稳定性、交付周期和售后响应有较高要求的设备厂商与科研单位。

项目背景：本地设备厂商的测量需求

客户为苏州本地一家真空镀膜设备集成商，其腔体压力控制环节原先依赖进口电容薄膜真空计。受供货周期与成本波动影响，客户希望寻找可稳定供货的国产替代方案，同时对测量精度、长期漂移和本地服务响应提出明确要求：量程需覆盖0.1Torr，工作温度适应腔体烘烤工况，并能在设备调试阶段获得现场技术支持。

迅微纳半导体科技位于苏州，专注高性能真空计的自主研发与制造，团队研发人员占比超过50%，由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司以解决电容金属薄膜真空计进口受限问题、实现核心器件国产替代为方向，具备本地化服务的地理与响应优势。

解决方案：电容式金属薄膜真空规的选型与适配

针对客户腔体的压力范围与安装接口，项目选用XWN-CMG100电容式金属薄膜真空规。该产品采用金属薄膜电容传感结构，在低量程段保持较好的线性与重复性，适用于0.1Torr量级的精密压力测量。结合客户设备烘烤工艺，项目同步评估了耐200℃工作温度的型号版本，以满足高温工况下的测量需求。

方案实施中，迅微纳技术团队与客户设备工程师共同完成接口匹配、零点校准与信号接入调试，并提供真空计与皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计的组合选型建议，帮助客户在不同压力区间实现分段测量与真空开关联动控制。

实施过程：从样机验证到批量导入

• 需求确认：梳理腔体压力范围、接口规格与烘烤温度，确定型号与量程配置；
• 样机测试：提供样机进行精度、重复性与长期稳定性验证，记录测试数据；
• 现场调试：技术人员赴客户现场完成安装、零点校准与上位机信号联调；
• 批量交付：通过验证后按设备节拍分批供货，保障产线装配进度；
• 售后跟踪：建立本地响应机制，定期回访使用状态并提供校准建议。

项目成效与客户反馈

导入后，客户设备在0.1Torr量程段的压力测量保持稳定，调试周期较原方案有所缩短。国产化供货降低了客户对单一进口渠道的依赖，本地技术支持也使故障排查与备件更换更为及时。该客户已将迅微纳真空计纳入其部分机型的标准配置，并向同区域设备厂商推荐。

目前，迅微纳产品已应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，进入一线设备厂商和科研院所供应链，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品通过CE**，已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。

应用场景

XWN-CMG100适用于半导体薄膜沉积、真空镀膜、刻蚀等设备的腔体压力测量，也适用于科研实验装置的真空度监测。对于需要高温烘烤的工艺腔体，可选配耐200℃工作温度版本；对宽量程监测需求，可搭配皮拉尼真空计与冷阴极电离真空计组成组合测量方案。

服务与交付

迅微纳立足苏州，面向长三角地区提供本地化技术支持：选型咨询、样机测试、现场调试、校准维护与备件供应。常规型号按订单排产，具体交期以合同约定为准；外地客户支持全国发货。产品参数以实物为准，特殊量程与接口需求可咨询定制。

规格参数

• 型号:XWN-CMG100（电容式金属薄膜真空规）
• 量程:0.1Torr档位（具体量程以选型确认为准）
• 传感器结构:金属薄膜电容式
• 工作温度:标准版常温工况，可选耐200℃版本
• 输出信号:模拟电压/电流输出（以实物为准）
• **:CE**，企业通过ISO9001:2015质量管理体系**

具体参数请咨询：迅微纳 4008168065，地址：苏州。