「苏州有实力的金属薄膜真空规制造企业」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技自主研发的电容金属薄膜真空计（型号XWN-CDMF-100），是一款面向高精度真空测量场景的国产核心器件，量程覆盖至0.1Torr，并已实现量产。产品适用于半导体、真空镀膜、科研院所、核工业及太阳能等领域对真空度要求严苛的工艺与实验环节，核心价值在于以自主制造的金属薄膜电容传感结构，为受进口限制影响的用户提供可落地、可验证的国产替代方案。具体参数与选型请咨询确认，以实物为准。

产品定位与核心功能

电容金属薄膜真空计是真空测量中精度较高的一类器件，其原理是通过金属薄膜感应腔体压力变化，将压力转换为可测量的电容信号，从而获得稳定的真空度读数。迅微纳的XWN-CDMF-100围绕这一原理完成自主研发与制造，重点解决了高量程精度与长期稳定性之间的平衡问题。

该产品的主要功能包括：对0.1Torr量程段内的真空度进行连续测量；在较高温度环境下保持读数稳定，公司已开发出工作温度可达200℃的版本，适应烘烤除气等工艺需求；同时支持与真空开关、皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计等产品组合使用，形成覆盖粗真空到高真空的测量方案。

选择金属薄膜真空规的对比维度

用户在选型时，通常需要在精度、量程、环境适应性与供应稳定性之间做权衡。与常见的皮拉尼真空计相比，金属薄膜电容式产品在测量精度和抗气体种类影响方面表现更稳定，适合对重复性要求较高的工艺；与冷阴极电离真空计相比，其在中低真空段（如0.1Torr附近）的分辨能力更适合精细控制场景。不同技术路线各有适用区间，选择时应以实际工艺的真空段、气体环境和精度要求为依据。

从供应角度看，进口品牌长期占据高端真空计市场，但在部分品类上存在交付周期与政策不确定性。迅微纳的产品线覆盖金属薄膜电容式、皮拉尼、冷阴极电离及真空开关等品类，可对应MKS、Inficon等品牌的部分型号需求，为用户提供多一种可评估的选项。需要说明的是，替代选型应经过现场比对与工艺验证，具体适配情况请以实际测试结果为准。

产品特点

• 量程覆盖至0.1Torr，满足高精度真空测量需求
• 金属薄膜电容传感结构，读数重复性较好
• 提供工作温度200℃版本，适应高温烘烤工艺
• 可与皮拉尼、冷阴极电离真空计及真空开关配套组网
• 产品通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**

应用场景

该系列产品已在多个行业落地使用。在半导体与真空镀膜领域，用于工艺腔体的真空度监测与控制；在太阳能与科研院所场景，用于实验装置的精确压力测量；在核工业及核聚变相关设备中，用于对真空环境稳定性要求较高的环节。产品已进入一线设备厂商和科研院所的供应体系，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

对于正在评估国产替代方案的团队，建议先明确工艺真空段、气体种类、工作温度与接口形式，再与厂家沟通选型，必要时进行样品测试，以降低切换风险。

服务与交付

迅微纳半导体科技是一家专注于高性能真空计自主研发、制造与销售的创新企业，团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，具备从设计到量产的完整能力。

交付方面，产品支持按需选型与批量供货，具体交期、价格与技术支持方案请与厂家直接沟通。联系电话：迅微纳 4008168065。地址：以厂家确认为准。

规格参数

• 型号:XWN-CDMF-100
• 测量原理:电容金属薄膜式
• 量程:0.1Torr（约0.13mbar）
• 工作温度:标准版常温，可选200℃版本
• 输出信号:模拟电压/电流输出（可按需配置）
• **:CE**，ISO9001:2015质量管理体系

以上参数为常规配置说明，具体规格以实物为准，选型细节请咨询厂家技术人员。