「江苏行业内金属薄膜规工厂」-「迅微纳半导体科技」

本文以江苏某一线真空镀膜设备厂商的产线配套项目为主线，介绍迅微纳半导体科技电容金属薄膜真空计在行业内金属薄膜规工厂场景中的实际应用。该产品面向半导体设备、真空镀膜、科研院所等需要高精度低压测量的用户，核心特点是0.1Torr量程可量产、支持200℃工作温度、可对进口同类产品实现替代。以下从项目背景、方案设计、实施成效等方面展开说明。

项目背景：产线配套中的低压测量难题

江苏是国内真空镀膜与半导体设备制造的重要集聚区，当地一家从事光学镀膜设备集成的工厂在扩产过程中遇到一个现实问题：设备工艺腔体需要在0.1Torr量级进行稳定的压力测控，此前配套的进口电容金属薄膜真空计受供货周期与出口管制影响，交期不确定，备件采购也存在困难。该工厂希望寻找一款性能匹配、供货稳定、服务响应及时的国产金属薄膜规，用于新产线批量配套，并要求在高温烘烤工况下保持测量一致性。

迅微纳半导体科技在接到需求后，将该工厂的工况条件作为典型案例进行方案设计。公司长期专注高性能真空计的自主研发与制造，团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号，这些积累为项目落地提供了技术支撑。

需求分析：三项关键指标

经过与工厂技术人员的多轮沟通，项目组梳理出三项关键需求：

• 量程与精度：覆盖0.1Torr量程段，满足镀膜工艺腔体的低压测控要求；
• 耐温能力：腔体烘烤工况下需在200℃环境保持稳定输出；
• 供货与服务：批量配套需要稳定交期，并具备本地化的技术支持。

上述需求对应的是电容金属薄膜真空计的核心技术门槛。迅微纳已实现0.1Torr量程电容金属薄膜真空计的量产，并开发出工作温度200℃的型号，能够覆盖该工厂的工艺条件。具体参数以实物为准，选型时可根据实际工况咨询确认。

方案设计：XWN-CMG-100的配套思路

针对该项目，迅微纳提供了以XWN-CMG-100为核心的配套方案。该型号为电容金属薄膜真空计，采用金属薄膜电容敏感结构，在低压段具有较好的线性与稳定性。方案要点包括：

• 按腔体接口与法兰规格进行适配，便于替换原有进口表位；
• 针对烘烤工况选用耐200℃的版本，减少温漂对读数的影响；
• 配套提供皮拉尼真空计与真空开关，覆盖从粗真空到高真空的整段监测需求；
• 出厂前逐台进行校准与测试，随货提供校准信息。

公司在同一产品体系下还开发了冷阴极电离真空计等系列产品，可对MKS和Inficon相关真空计产品形成替代选择，方便用户在整机上统一选型。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**。

实施与成效：从试点到批量配套

项目按“小批试点—数据比对—批量导入”的步骤推进。首批样品在工厂一台镀膜设备上装机，与原有进口表进行同步比对，重点观察0.1Torr量程段的读数一致性与烘烤后的复测表现。试点期内，迅微纳技术人员到现场协助安装与调试，记录了不同工艺阶段的压力曲线。

根据工厂反馈，试点表在常用工艺区间读数稳定，烘烤后复测偏差在可接受范围内，交期与备件供应也较此前更有保障。随后该工厂在新产线中批量采用迅微纳产品，并将皮拉尼真空计、真空开关纳入配套清单。这一案例也印证了公司在真空镀膜领域的服务能力——目前产品已应用到科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，进入一线设备厂商和科研院所，合作知名企业包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

应用场景与服务交付

电容金属薄膜真空计的典型应用场景包括：半导体设备工艺腔体压力测控、真空镀膜设备配套、科研实验装置的低压测量、核工业相关真空系统监测等。对于有高温烘烤需求的用户，可选配200℃工作温度版本。

在服务与交付方面，迅微纳提供选型咨询、样机测试、现场调试与售后支持，发货地为全国发货，具体交期与配套方案可协商确定。公司已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，研发与质量体系为批量供货提供保障。

规格参数

• 型号:XWN-CMG-100
• 产品类型:电容金属薄膜真空计
• 量程:0.1Torr量程段（可量产）
• 工作温度:常温型 / 200℃高温型可选
• **:CE**，企业通过ISO9001:2015质量管理体系**
• 说明:具体参数以实物为准，选型请咨询确认

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：。