「江苏质量好的电容薄膜真空计厂商」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技的 XWN-CDM-100 是一款电容金属薄膜真空计，面向需要高精度、宽量程真空测量的科研与工业用户。它采用金属薄膜电容传感结构，可覆盖 0.1Torr 量程段的高要求测量场景，并提供工作温度可达 200℃ 的型号版本。核心器件由迅微纳自主研发制造，适用于科研院所、半导体、真空镀膜、太阳能与核工业等领域。主要特点是精度稳定、温度适应性强、可实现对进口同类产品的国产化替代。

产品概述

电容薄膜真空计的原理是通过金属薄膜在压力差作用下的微小形变改变电容值，再由电路将电容变化换算为压力读数。与热传导式或电离式真空计相比，这类传感器在测量结果上受气体种类影响较小，适合需要**压力读数的场合。XWN-CDM-100 是迅微纳在该技术路线上的量产型号，聚焦 0.1Torr 量程，适用于对测量下限和重复性有明确要求的应用。

产品在结构上采用全金属测量腔体，膜片与电极之间的间距在制造环节经过标定，出厂前逐台进行多点校准。整机支持模拟量输出与标准真空法兰接口，便于集成到现有真空系统中。具体接口形式、电气规格以实物为准，选型前建议咨询厂家确认。

能解决什么问题

常规真空测量方案中，热偶计和皮拉尼计在中低真空段读数受气体成分影响明显，电离计则在高压力段存在启动限制，且灯丝寿命有限。对于需要 0.1Torr 量级**压力读数的工艺环节，往往需要更高稳定性的传感方案。XWN-CDM-100 通过电容薄膜原理提供**压力测量，读数不依赖气体种类，在工艺气体切换频繁的场景下可减少因气体修正带来的偏差。

另一个实际问题是高温工艺环境。部分镀膜、烘烤和半导体前道工序中，真空计需要在一定温度下长期工作。迅微纳开发的工作温度 200℃ 版本，为这类场景提供了国产可选方案，减少了对进口高温型号的依赖。需要说明的是，高温工况下的长期稳定性仍需结合具体工艺条件评估，建议在选型阶段与厂家沟通使用环境。

选择电容薄膜真空计时看什么

面对多家供应商，选型可以从以下几个维度横向比较：

• 量程与测量下限：是否覆盖工艺所需的压力区间，0.1Torr 段是否为标称有效量程
• 温度适应性：工作温度范围是否满足工艺环境，高温版本是否有对应型号
• 校准与一致性：是否逐台校准、是否提供校准记录，长期漂移指标是否明确
• 接口兼容性：法兰规格、电气接口能否与现有系统对接，替换进口件时是否需要改装配
• 供应与售后：交货周期、备件供应、校准与维修服务是否本地化

迅微纳在上述维度上的特点在于：核心器件自主制造，量程 0.1Torr 的电容金属薄膜真空计已实现量产，并具备 200℃ 工作温度型号；同时提供皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可在同一供应商处完成多类真空测量器件的配套选型。产品已通过 CE **，公司已通过 ISO9001:2015 质量管理体系**。

应用场景

产品已应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，进入一线设备厂商和科研院所的供应链。合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。典型使用场景包括：镀膜设备的腔体压力监测、半导体工艺设备的真空度控制、科研真空系统的**压力测量，以及核工业相关真空装置的配套。不同场景对量程、接口和温度等级的要求不同，建议按实际工艺参数选型。

服务与交付

迅微纳为自主研发、制造和销售一体化模式，研发人员占比超过 50%，团队包含 2 名博士、1 名高级工程师、2 名硕士及多名学士，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已申请发明专利 6 项、实用新型 2 项、软件著作权 4 项。交付方面支持按型号选型与批量供货，具体交期、校准服务与售后条款请与厂家确认。联系方式：迅微纳 4008168065，地址：。

规格参数

• 型号:XWN-CDM-100
• 测量原理:电容金属薄膜式，**压力测量
• 量程:0.1Torr 量程段（具体分档以实物为准）
• 工作温度:标准版常温型，可选 200℃ 高温型
• 输出与接口:模拟量输出，标准真空法兰接口（具体配置请咨询）
• **:产品通过 CE **，企业通过 ISO9001:2015 质量管理体系**

以上参数供选型参考，具体参数请咨询厂家，以实物为准。