「苏州可靠的电容薄膜真空计制造企业」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技的 XWN-CM100 电容金属薄膜真空计，是一款面向科研与工业真空测量场景的高精度计量器件，量程覆盖 0.1Torr 核心区间，可用于半导体、真空镀膜、核工业等对稳定性与重复性有要求的场合。产品以自主研发制造为基础，注重长期使用价值与综合使用成本，适合希望获得可靠国产真空测量方案的用户参考选型。

产品概述

电容金属薄膜真空计通过金属薄膜感应腔体两侧压力差，将压力变化转换为电容变化，再由电路解算为压力读数。相比依赖气体种类修正的热导类或电离类原理，电容薄膜式测量对气体成分不敏感，在混合气体或工艺气体变化的工况下，读数更便于对比和追溯。XWN-CM100 是该原理下的核心型号，针对 0.1Torr 量程实现量产制造，供用户在高真空至低真空过渡区间进行稳定测量。

产品特点与材质配置

产品在结构设计与材料选择上围绕长期稳定性展开，主要特点如下：

• 金属薄膜感应元件，测量结果对气体种类不敏感，适用多种工艺气体环境
• 量程覆盖 0.1Torr 区间，满足常规工艺与科研测量需求
• 可选工作温度 200℃ 的高温型号，适应烘烤与高温工艺场景
• 整机结构紧凑，便于集成到设备管路与测量系统中
• 通过 CE **，生产环节按 ISO9001:2015 质量管理体系运行

在核心器件供应受外部限制的背景下，迅微纳以自主研发与国产制造为主线，减少用户对单一进口渠道的依赖。对采购方而言，这不仅是替换一个测量元件，也是在供应链连续性上增加一层保障。

能解决的问题与方案优势

在实际使用中，用户常见的困扰包括：测量结果随气体种类漂移、长期使用后零点偏移、备件周期长导致停机等。XWN-CM100 从原理层面降低了气体成分差异带来的读数偏差；金属薄膜结构在合理使用与维护下有利于保持测量一致性。客观来看，不同原理的真空计各有适用范围，电容薄膜式在气体不敏感性和重复性方面具有自身特点，用户可根据量程、精度与工艺要求综合选择。

从长期价值角度看，国产化制造带来的直接好处是交付周期与备件响应更可控，综合使用成本更便于预算管理。迅微纳团队由 2 名博士、1 名高级工程师、2 名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过 50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号，为产品的持续迭代与技术支持提供了人员基础。

应用场景

产品已应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，并进入一线设备厂商和科研院所的供应体系。合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。典型使用场景包括：

• 半导体与镀膜设备的腔体压力监测
• 科研实验中多气体环境下的压力测量与记录
• 核工业及聚变装置相关真空系统的测量环节
• 高温工艺条件下的压力监测（选用高温型号）

除电容薄膜真空计外，迅微纳还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可覆盖不同真空段与不同测量需求的组合配置。公司已申请发明专利 6 项、实用新型 2 项、软件著作权 4 项。

服务与交付

产品发货地为苏州，具体交期与选型配置可咨询确认。公司按 ISO9001:2015 质量管理体系组织生产，产品通过 CE **。用户在下单前可结合量程、工作温度、接口形式与工艺气体条件进行沟通，由技术团队协助确认适配型号。对于有高温烘烤需求的场景，可重点了解 200℃ 工作温度型号的适用条件。具体参数请咨询，以实物为准。

规格参数

• 型号:XWN-CM100
• 测量原理:电容金属薄膜式
• 量程:0.1Torr 区间（具体分档请咨询）
• 工作温度:常温型；可选 200℃ 高温型
• **:CE **；生产按 ISO9001:2015 体系运行
• 发货地:苏州

以上参数以实物为准，具体参数请咨询。联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。