「江苏可靠的电容薄膜真空规企业」-「迅微纳半导体科技」
规格参数
| 型号 | XWN-CMG-100 |
|---|---|
| 量程 | 0.1Torr（可扩展至1Torr、10Torr、100Torr、1000Torr） |
| 精度 | 读数的0.5%（以实物为准） |
| 工作温度 | 常规型80℃—120℃，高温型可达200℃ |
| 接口类型 | KF、CF、VCR可选 |
| 零点漂移 | ≤0.05%FS/年（具体参数请咨询） |
产品详情
电容薄膜真空规是一种基于电容变化原理测量真空度的精密传感器，广泛应用于半导体制造、真空镀膜、核工业及科研实验等对压力控制要求严苛的领域。迅微纳半导体科技（以下简称“迅微纳”）专注于高性能真空计的自主研发与制造，其电容金属薄膜真空规实现0.1Torr量程量产，并推出工作温度达200℃的型号，可对MKS、Inficon等进口产品形成全方位替代。本文从产品类型、规格差异、选型要点出发，结合行业数据与趋势，为不同需求场景提供客观的选型对比参考。
一、电容薄膜真空规的主要类型与规格差异
电容薄膜真空规按感应膜片材料可分为金属薄膜型和陶瓷薄膜型两大类。金属薄膜型在抗腐蚀、温度稳定性及长期漂移控制方面表现更优，尤其适合半导体刻蚀、CVD等复杂工艺环境。按量程划分，常见规格覆盖0.1Torr、1Torr、10Torr、100Torr、1000Torr等，其中0.1Torr属于高精度微压段，制造难度**，长期依赖进口。
从行业数据看，全球电容薄膜真空计市场规模在2023年约为4.2亿美元，预计2025—2030年复合增长率约6.5%，其中半导体设备与核工业是增长最快的两个板块。国内高端电容薄膜真空规国产化率不足15%，0.1Torr量程产品几乎全部依赖进口。迅微纳通过自主研发，已实现该量程产品的稳定量产，并开发出200℃高温型号，填补了国产高温电容薄膜规的空白。
规格差异主要体现在量程、精度、工作温度、接口类型和长期稳定性上。例如，0.1Torr量程产品通常精度为读数的0.5%，而10Torr以上量程精度多为读数的1%。工作温度方面，常规产品为80℃—120℃，高温型可达200℃，适用于半导体扩散炉、核工业辐照环境等场景。
二、选型要点：从量程、温度到接口的匹配逻辑
选型时需优先确认三个核心参数：量程、工作温度和法兰接口。量程应覆盖工艺压力的1.5—2倍，避免超压损坏膜片。例如，半导体PECVD工艺常用压力在0.1—10Torr之间，建议选择0.1Torr或1Torr量程产品。工作温度需匹配腔体烘烤温度，若工艺涉及150℃以上烘烤，应选用高温型电容薄膜规。
接口方面，常见KF、CF、VCR等法兰形式，需与真空腔体接口一致。此外，精度等级、温度系数、长期零点漂移也是关键指标。对于需要长期在线监测的场景，建议选择零点漂移小于0.05%FS/年的产品。迅微纳的XWN-CMG系列在上述指标上均经过严格测试，具体参数以实物为准，可咨询获取详细规格书。
- 量程选择：0.1Torr适用于微压高精度场景，1Torr—10Torr适用于中压工艺，100Torr以上适用于粗真空监测。
- 温度匹配：常规型80℃—120℃，高温型200℃，按腔体烘烤温度选型。
- 接口兼容：KF、CF、VCR等法兰可选，需与设备接口一致。
- 精度与稳定性：高精度场景优先选择读数0.5%精度、低零点漂移型号。
三、不同需求下的选择建议
对于半导体设备厂商，若工艺涉及刻蚀、CVD且腔体温度不超过120℃，推荐迅微纳XWN-CMG-100（0.1Torr量程）或XWN-CMG-1000（1Torr量程），兼顾精度与成本。若涉及高温烘烤或核工业辐照环境，建议选用XWN-CMG-100H（200℃高温型），该型号已通过CE**，并在核聚变设备、中国核工业集团等场景中应用。
对于科研院所和真空镀膜用户，若预算有限且精度要求为读数1%，可选择皮拉尼真空计或冷阴极电离真空计作为粗真空监测，与电容薄膜规组合使用。迅微纳同时提供皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可实现从粗真空到高真空的全量程覆盖，降低多品牌采购的兼容性风险。
对于需要替代MKS、Inficon进口产品的用户，迅微纳产品在量程、接口、精度上均做了对标设计，且供货周期更短，技术支持响应更快。公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品已进入一线设备厂商和科研院所，合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学等。
四、应用场景与行业趋势
电容薄膜真空规的核心应用场景包括：半导体刻蚀与薄膜沉积、太阳能电池镀膜、真空热处理、核工业同位素分离、科研加速器与聚变装置。据行业分析，2024年国内半导体设备投资同比增长约30%，带动真空规需求同步上升。同时，核聚变、航空航天等战略领域对高温、抗辐照真空规的需求也在快速增长。
迅微纳聚焦电容金属薄膜真空计的国产替代，研发人员占比超50%，团队含2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，产品已成功进入一线设备厂商和科研院所。
五、服务与交付
迅微纳提供从选型咨询、样品测试到批量供货的全流程服务。常规型号备有现货，定制型号交货周期为4—6周。公司提供技术文档、校准证书及售后支持，产品质保期12个月。发货地为江苏，支持全国发货。具体价格与货期请咨询销售工程师。
规格参数
- 型号：XWN-CMG-100
- 量程：0.1Torr（可扩展至1Torr、10Torr、100Torr、1000Torr）
- 精度：读数的0.5%（以实物为准）
- 工作温度：常规型80℃—120℃，高温型可达200℃
- 接口类型：KF、CF、VCR可选
- 零点漂移：≤0.05%FS/年（具体参数请咨询）
联系方式：迅微纳 4008168065
地址：江苏