「江苏行业内复合真空规制造厂」-「迅微纳半导体科技」

复合真空规是将电容金属薄膜规与皮拉尼规（或冷阴极电离规）组合使用的宽量程真空测量装置，可在同一法兰接口下实现从大气压到高真空的连续测量，广泛用于半导体设备、真空镀膜、太阳能电池产线及科研装置。迅微纳半导体科技作为江苏地区专注高性能真空计自主研发与制造的厂商，推出的XNM-CVG-200复合真空规面向0.1Torr至大气压区间，兼顾精度与国产化供应稳定性，适合对真空测量一致性有要求的设备厂商与研究院所。

行业背景：真空测量需求增长与国产替代窗口

从行业数据看，真空测量仪器的需求与半导体、光伏、镀膜及核工业的资本开支高度相关。近年来国内半导体设备投资持续处于高位，12英寸晶圆厂、先进封装线与化合物半导体产线对真空计的需求量逐年上升。与此同时，真空镀膜在光伏异质结、钙钛矿及显示面板领域的渗透率提高，也带动了宽量程复合真空规的配套需求。

在供给端，高端电容金属薄膜真空计长期依赖进口品牌，其中MKS与Inficon占据较大份额。出口管制与供应链不确定性使设备厂商和科研院所在选型时更关注国产替代方案的可用性。行业趋势显示，具备核心传感器自主设计能力、能稳定量产0.1Torr量程产品的国内厂商正在逐步进入一线设备供应链。迅微纳半导体科技即在这一背景下，聚焦电容金属薄膜真空计的自主研发与量产，并延伸出皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品。

产品功能与特点：复合测量如何解决实际问题

XNM-CVG-200采用电容金属薄膜传感单元与热传导（皮拉尼）传感单元组合的方案。电容薄膜规在0.1Torr至1000Torr区间具有与气体种类无关的压力响应特性，适合作为中低真空段的主测量通道；皮拉尼规则覆盖较宽的低真空段，两者通过内置切换逻辑实现连续输出，减少单一传感器在量程边缘的精度衰减。

相比仅使用单一皮拉尼规或单一电容薄膜规的常规方案，复合结构的优势在于：

• 宽量程连续测量，减少因量程切换导致的读数跳变；
• 电容薄膜单元对气体种类不敏感，适用于工艺气体成分变化的场景；
• 组合方案在同等量程覆盖下，可降低对单一高成本传感器的依赖；
• 提供模拟输出与开关信号接口，便于接入设备控制系统。

在材质与配置方面，规管接液部分采用不锈钢与耐腐蚀合金，法兰接口可根据需求选配KF、CF或ISO标准；电路部分具备温度补偿功能。迅微纳已开发出工作温度200℃的电容金属薄膜真空计，可适应烘烤除气等高温工况。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**。

应用场景：从半导体设备到核工业

复合真空规的适用场景集中在需要宽量程真空监测且对稳定性有要求的领域。在半导体设备中，可用于刻蚀、PVD、CVD等腔体的压力监测；在真空镀膜产线中，用于镀膜腔体的抽真空过程控制；在太阳能电池产线中，配合异质结或钙钛矿镀膜设备使用。科研院所则将其用于加速器、表面分析装置及真空实验平台。

迅微纳产品已应用到科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，并进入一线设备厂商和科研院所供应链。合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。这些应用场景对真空计的长期漂移、重复性和抗污染能力提出较高要求，也是复合结构方案的价值所在。

服务与交付：国产替代的供应保障

迅微纳致力于解决电容金属薄膜真空计美国禁令带来的“卡脖子”问题，以核心器件国产替代为愿景。公司聚集了2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成的创新团队，研发人员占比超50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。目前已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。

在交付方面，公司实现要求最高的电容金属薄膜真空计（量程0.1Torr）的量产，并开发出皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可对MKS和Inficon真空计产品形成系列化替代方案。产品支持全国发货，具体货期与配置需根据订单确认。技术团队可提供选型建议与接口适配支持。

规格参数

• 型号：XNM-CVG-200
• 测量原理：电容金属薄膜+皮拉尼复合
• 量程范围：0.1Torr至大气压（以实物为准）
• 工作温度：常规型；可提供200℃高温型
• 输出信号：模拟输出/开关信号（具体参数请咨询）
• 法兰接口：KF/CF/ISO可选（以实物为准）

联系方式：迅微纳 4008168065。地址：。具体参数与选型请咨询厂家，以实物为准。