「江苏专业的电容式真空规厂家」-「迅微纳半导体科技」

本文介绍的是迅微纳半导体科技针对半导体设备厂商需求交付的电容式真空规项目案例。该产品为电容金属薄膜真空计，量程覆盖0.1Torr，适用于半导体镀膜、刻蚀、科研院所高精度真空测量等场景，核心卖点在于实现高要求电容薄膜真空计的国产化替代，并已在多家一线设备厂商和科研机构批量应用。

项目背景：一线设备厂商的国产化替代需求

2023年，江苏一家从事真空镀膜设备集成的企业找到迅微纳半导体科技。该企业长期使用进口电容式真空规，但受美国对电容金属薄膜真空计出口限制影响，关键量程段（0.1Torr）的供货周期从8周延长至20周以上，且价格上浮明显。客户明确提出三点需求：第一，量程必须覆盖0.1Torr，精度满足半导体级工艺要求；第二，工作温度需适应镀膜腔体高温环境；第三，具备批量交付能力，且能提供本地化技术支持。

需求分析：为什么选择电容式真空规

在真空测量领域，电容式真空规（电容金属薄膜真空计）因其测量结果与气体种类无关、精度高、长期稳定性好，被广泛用于半导体设备、核工业、科研实验等对真空度要求严苛的场景。客户原有产线中，电容式真空规承担着腔体压力闭环控制的关键角色，一旦测量漂移，整批镀膜均匀性就会受到影响。因此，客户对替换产品的长期重复性、温度系数和抗污染能力提出了明确指标。

实施方案：从选型到批量交付

迅微纳技术团队在收到客户需求后，结合腔体结构、接口标准和工艺温度，推荐了XWN-CMG-100电容金属薄膜真空计。该型号采用全金属密封结构，量程0.1Torr，可耐受200℃烘烤温度，输出信号兼容客户现有控制器。实施过程分为三个阶段：

• 第一阶段：提供样品进行台架测试，对比进口产品在0.1Torr附近的线性度和重复性；
• 第二阶段：客户将样品装入镀膜设备进行工艺验证，连续运行30天，记录零点漂移和温漂数据；
• 第三阶段：通过验证后，迅微纳按客户排产计划分批交付，并提供现场安装指导和信号调试支持。

整个项目从样品测试到批量交付历时约4个月，客户替换了原产线中3个关键工位的进口电容式真空规，后续又追加了其他量程段的皮拉尼真空计和冷阴极电离真空计订单。

项目成效：客户获得了什么

替换完成后，客户反馈如下：供货周期从20周缩短至4周以内，采购成本较进口产品有明显下降；在0.1Torr量程段，测量重复性满足工艺要求，镀膜均匀性未出现异常波动；迅微纳提供的本地化技术支持响应时间在24小时以内，备件供应稳定。该客户已将迅微纳纳入合格供应商名录，并在新产线中优先选用国产真空计方案。

应用场景与适用客户

迅微纳电容式真空规及系列真空测量产品已广泛应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域。合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。产品适用于需要高精度、高稳定性真空测量的场景，尤其适合对进口电容薄膜真空计有替代需求的设备厂商和终端用户。

服务与交付

迅微纳半导体科技提供从选型咨询、样品测试、批量交付到售后技术支持的全流程服务。公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**，产品已通过CE**。团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。目前已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。发货地为全国发货，具体交付周期和批量价格请咨询销售工程师。

规格参数

• 型号：XWN-CMG-100
• 量程：0.1Torr（具体量程段可咨询）
• 工作温度：最高200℃（以实物为准）
• 结构类型：全金属密封电容薄膜结构
• 输出信号：0-10V / 4-20mA（可选，具体参数请咨询）
• **：CE**、ISO9001：2015质量管理体系**

联系方式：迅微纳 4008168065。地址：请致电获取详细地址。