「江苏行业内抗腐蚀真空计优质厂家」-「迅微纳半导体科技」

本文介绍的是迅微纳半导体科技面向江苏及周边地区客户推出的抗腐蚀电容金属薄膜真空计项目案例。该产品主要面向半导体刻蚀、真空镀膜、太阳能电池制造等存在腐蚀性气体的工艺场景，可对标MKS、Inficon等进口品牌同类产品，核心卖点在于耐腐蚀结构设计、200℃高温工作能力以及本土化的交付与响应服务。以下从项目背景、技术方案、实施成效、应用场景、服务交付及规格参数等方面展开说明。

项目背景：江苏半导体与镀膜产业对耐腐蚀真空测量的迫切需求

江苏是国内半导体设备、光伏制造和真空镀膜产业的重要集聚区，苏州、无锡、常州、南京等地分布着大量晶圆制造、薄膜沉积和刻蚀工艺产线。在这些工艺中，真空腔体内部常存在氟基、氯基等腐蚀性气体，对真空计的核心传感元件提出较高要求。此前，该类抗腐蚀电容金属薄膜真空计长期依赖进口，美国相关禁令出台后，供货周期与成本均面临不确定性。

2023年，江苏一家从事化合物半导体器件生产的设备集成商找到迅微纳半导体科技，希望在其刻蚀设备真空测量环节中，导入一款既能抵抗腐蚀性气体侵蚀、又能在较高温度下稳定工作的国产电容金属薄膜真空计，以降低对进口器件的依赖，并缩短维护响应周期。

需求分析：抗腐蚀、耐高温、可替代进口

客户提出的核心需求集中在三个方面：第一，真空计需在含氟、含氯气氛中长期工作，传感器膜片和封装结构须具备抗腐蚀能力；第二，工艺腔体存在烘烤除气环节，要求真空计工作温度达到200℃；第三，量程需覆盖0.1Torr至1000Torr区间，测量精度与重复性需满足工艺监控要求。此外，客户希望供应商具备本地化服务能力，能够在设备调试和故障排查时快速到场。

技术方案：电容金属薄膜真空计的抗腐蚀与高温设计

迅微纳半导体科技针对上述需求，提供了XWN-CMG-200C型电容金属薄膜真空计。该型号在标准电容金属薄膜真空计基础上，对膜片材料、密封结构和电极引出方式进行了针对性优化，使传感器在腐蚀性气氛中保持稳定的电容-压力响应特性。同时，通过高温封装工艺和温度补偿算法，将工作温度上限提升至200℃，适应腔体烘烤工况。

公司研发团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。团队在电容金属薄膜真空计的量产工艺上持续投入，已实现量程0.1Torr产品的批量制造能力，并围绕真空测量技术申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。

实施成效：从样品测试到批量导入

项目启动后，迅微纳先向客户提供了XWN-CMG-200C样品，在客户刻蚀设备上进行为期数月的在线测试。测试期间，真空计在含氟气氛和200℃烘烤条件下保持输出稳定，未出现明显漂移或膜片腐蚀失效。客户随后将产品导入其新一代刻蚀设备平台，并逐步扩展至其他真空腔体测量点位。

客户反馈显示，采用迅微纳抗腐蚀真空计后，真空测量环节的备件采购周期有所缩短，维护成本得到控制。该案例也为迅微纳在江苏地区半导体设备客户中积累了应用经验，目前公司产品已进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

应用场景：覆盖半导体、镀膜、核工业等领域

迅微纳抗腐蚀电容金属薄膜真空计适用于以下场景：

• 半导体刻蚀、薄膜沉积等存在腐蚀性气体的真空工艺腔体；
• 太阳能电池制造中的真空镀膜与等离子体工序；
• 真空镀膜设备的高温烘烤与工艺监控环节；
• 核工业及科研院所中需要耐腐蚀、耐高温真空测量的实验装置。

除电容金属薄膜真空计外，公司还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可对MKS和Inficon真空计产品形成系列化替代方案。

服务与交付：立足江苏，辐射全国

迅微纳半导体科技位于江苏，具备本地化技术支持与交付能力。针对江苏及周边地区客户，公司可提供选型咨询、样品测试、现场调试和售后维护等服务。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**。发货地覆盖江苏，具体交付周期和价格视型号与数量而定，欢迎来电咨询。

规格参数

• 型号: XWN-CMG-200C
• 类型: 电容金属薄膜真空计
• 量程: 0.1Torr至1000Torr（以实物为准）
• 工作温度: 最高200℃
• 抗腐蚀设计: 适用于含氟、含氯等腐蚀性气氛
• **: CE**，ISO9001:2015质量管理体系**

具体参数请咨询迅微纳半导体科技，以实物和官方技术资料为准。

联系方式：迅微纳 4008168065

地址：江苏