「苏州行业内PVD设备用真空规产品」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMG-100P是一款面向苏州及长三角地区PVD设备行业用户的电容金属薄膜真空计。该产品适用于磁控溅射、蒸发镀膜、离子镀等PVD工艺环节的压力测量，量程覆盖0.1Torr至1000Torr，核心传感元件为金属薄膜电容结构，可在200℃高温环境下稳定工作。产品定位为高性能真空规国产替代方案，主要服务苏州本地半导体设备厂商、镀膜产线及科研院所，帮助用户在PVD制程中获得稳定、可重复的真空度数据。

产品概述与功能特点

XWN-CMG-100P属于电容金属薄膜真空计（Capacitance Manometer Gauge），采用全金属密封结构和差分电容检测原理。当气体压力作用于金属薄膜时，薄膜产生微小形变，引起电容值变化，通过信号调理电路转换为与压力线性对应的电信号输出。该产品在PVD设备中通常安装于工艺腔体或真空管路中，用于实时监测腔体压力，为镀膜速率控制和工艺重复性提供关键数据支撑。

产品主要特点包括：

• 量程0.1Torr，覆盖PVD工艺中常用的中低真空段
• 工作温度可达200℃，适应PVD腔体烘烤及高温工艺环境
• 金属薄膜传感结构，抗腐蚀、抗污染能力较好
• 输出信号线性度高，长期漂移小，适合长时间连续运行
• 兼容主流PVD设备控制接口，便于系统集成

该产品由迅微纳自主研发制造，核心传感元件和信号处理电路均为国产化设计，旨在解决高端电容金属薄膜真空计长期依赖进口的问题。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，具体参数以实物为准，选型时请咨询技术人员确认适配性。

解决的行业问题与方案优势

在PVD设备运行过程中，真空度的精确测量直接影响薄膜厚度均匀性、附着力和工艺良率。常规真空规在高温、腐蚀性气体或频繁启停工况下，容易出现零点漂移、响应迟滞或寿命缩短等问题。XWN-CMG-100P针对这些实际痛点进行了针对性设计：金属薄膜结构相比传统不锈钢膜片具有更好的弹性稳定性和抗疲劳特性；200℃的工作温度上限使其能够兼容PVD腔体的高温烘烤工艺，减少因温度变化带来的测量误差。

与常规方案相比，该产品在以下方面具有客观优势：一是量程覆盖0.1Torr，适合PVD工艺中低真空段的精确测量需求；二是国产化供应链缩短了交货周期，苏州本地及周边客户可获得更快的技术支持响应；三是产品系列完整，除电容金属薄膜真空计外，迅微纳还提供皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等配套产品，便于用户统一选型和系统集成。

应用场景与适用行业

XWN-CMG-100P主要面向以下应用场景：

• 磁控溅射PVD设备：监测工艺腔体压力，配合流量控制实现镀膜速率稳定
• 蒸发镀膜设备：在高温蒸发源环境下提供压力反馈
• 离子镀与离子辅助沉积：用于真空度闭环控制
• 半导体晶圆制造中的PVD工序：满足洁净室兼容要求
• 太阳能薄膜电池产线：适用于大面积镀膜设备的压力监测
• 科研院所真空实验装置：用于薄膜制备与表面科学研究

产品已在苏州及长三角地区的半导体设备厂商、镀膜产线和科研院所中使用，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。迅微纳团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号，已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。

本地服务与交付支持

迅微纳半导体科技位于江苏苏州，面向苏州本地及长三角区域客户提供真空规产品的选型咨询、安装指导、校准服务和售后维护。本地化服务团队可在较短时间内响应客户的技术需求，减少设备停机等待时间。对于PVD设备厂商和产线用户，公司可提供样品测试、批量供货和技术培训等支持。

发货地为江苏苏州，常规型号备有库存，具体交期根据订单数量协商确定。产品包装符合真空计运输要求，随货提供出厂检测报告和校准数据。如需现场调试或故障排查，可联系技术人员安排上门服务。

规格参数

• 型号:XWN-CMG-100P
• 类型:电容金属薄膜真空计
• 量程:0.1Torr（可扩展至1000Torr，具体以选型为准）
• 工作温度:最高200℃
• 输出信号:0-10V / 4-20mA（可选）
• 接口类型:KF16/KF25/CF35（可选，以实物为准）

以上参数仅供参考，具体规格请咨询迅微纳技术人员确认。联系方式：4008168065，地址：江苏省苏州市。