「苏州有实力的薄膜真空计企业」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CDM-100电容金属薄膜真空计，是一款面向半导体设备、科研院所及核工业领域的高精度真空测量产品。该产品针对0.1Torr量程段实现国产化量产，核心传感器与信号处理电路均为自主研发，适合对真空度稳定性、重复性有较高要求的制程环节。其突出特点在于兼顾测量精度与长期使用成本，为受进口禁令影响的用户提供了一条可持续的替代路径。

项目背景：一线设备厂商的国产化替代需求

2023年，苏州一家半导体薄膜沉积设备制造商面临关键真空计供应中断的问题。其原有产线使用的进口电容金属薄膜真空计因出口管制无法继续采购，而该部件直接影响工艺腔体的压力控制精度，进而关系到薄膜均匀性与良率。客户提出的需求明确：寻找一款量程覆盖0.1Torr、精度可对标进口产品、且能长期稳定供货的国产真空计，同时希望综合使用成本可控。

迅微纳半导体科技在接到需求后，组织研发团队对客户设备接口、通信协议及工艺环境进行了实地评估。公司创始人团队包含2名博士、1名高级工程师及多名硕士，研发人员占比超过50%，此前已围绕电容金属薄膜真空计申请发明专利6项、实用新型2项及软件著作权4项，具备从敏感膜片设计到整机标定的完整能力。

技术方案：从传感器到整机的自主设计

针对客户对0.1Torr量程段精度和长期漂移的要求，迅微纳提供了XWN-CDM-100型电容金属薄膜真空计。该产品采用金属膜片作为电容敏感元件，通过自主设计的信号解调电路实现微电容变化的高分辨率采集。与进口方案相比，其核心优势体现在三个方面：

• 量程覆盖0.1Torr，满足中低真空段的精密测量需求；
• 工作温度可达200℃，适应烘烤除气等高温工艺环境；
• 提供模拟与数字输出接口，便于替换原有进口型号。

在项目实施阶段，迅微纳团队与客户设备工程师共同完成了接口适配与真空系统联调。产品经过CE**，公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，确保从物料采购到出厂标定的全流程可追溯。客户在连续运行测试后确认，该真空计在重复性和温度稳定性方面达到预期指标，具体参数以实物为准。

应用场景：覆盖多领域的真空测量需求

除半导体薄膜设备外，XWN-CDM-100还可应用于太阳能电池镀膜、真空镀膜生产线、核工业真空系统及科研院所的实验装置。迅微纳的真空计产品线还包括皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关，能够为不同真空段提供组合测量方案。目前公司产品已进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学及中国核工业集团等。

对于预算有限但需要稳定测量的用户，迅微纳的电容金属薄膜真空计在保持核心性能的同时，提供了更具弹性的价格方案。由于省去了进口关税与长周期物流成本，用户在采购和后期维护环节的综合投入相对可控，长期使用价值较为明显。

服务与交付：从选型到售后的全程支持

迅微纳提供从真空计选型、接口定制到现场调试的技术支持。针对批量采购客户，公司可安排工程师进行安装指导与操作培训。产品发货地为苏州，支持全国发货。质保期内出现非人为故障，可返厂检修或更换。公司同时提供真空开关等配套产品的联动方案，帮助用户简化系统集成。

在交付周期方面，常规型号的电容金属薄膜真空计可根据库存情况安排发货，定制接口或特殊量程需求需提前沟通。具体交期与价格请咨询销售人员。

规格参数

• 型号: XWN-CDM-100
• 测量原理: 电容金属薄膜式
• 量程: 0.1Torr（具体量程可选，以实物为准）
• 工作温度: 最高200℃
• 输出信号: 模拟/数字可选
• **: CE、ISO9001:2015

如需了解详细技术参数或获取样品测试，请联系迅微纳半导体科技。电话：4008168065。地址：苏州。