苏州可靠的金属膜真空计厂家 -【迅微纳半导体科技】
规格参数
| 测量原理 | 电容金属薄膜式 |
|---|---|
| 量程范围 | 0.1Torr / 1Torr / 10Torr / 100Torr / 1000Torr(多档可选) |
| 工作温度 | 标准版常温型;高温版最高200℃ |
| 输出信号 | 0-10V / 4-20mA(可选) |
| 精度 | 读数的0.5%(以实物为准) |
| 接口类型 | KF16 / CF35 / VCR等(可定制) |
产品详情
迅微纳半导体科技是一家专注于自主研发、制造和销售高性能真空计的创新企业,致力于解决电容金属薄膜真空计美国禁令带来的"卡脖子"问题,实现核心器件国产替代。公司已实现电容金属薄膜真空计(量程0.1Torr)的量产,并开发出工作温度200℃的电容金属薄膜真空计,以及皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品,可实现对MKS和Inficon真空计产品的全方位替代。产品广泛应用于科研院所、半导体、太阳能、真空镀膜、核工业等领域,适合对真空测量精度和稳定性有较高要求的设备厂商与科研用户。
一、迅微纳的金属膜真空计适合哪些场景?
在实际项目中,不同行业对真空计的需求差异较大。迅微纳的电容金属薄膜真空计目前主要应用于以下几类场景:
- 半导体设备:如刻蚀、PVD/CVD等工艺腔体的压力监测,要求高精度和长期稳定性。三安光电等一线设备厂商已在相关设备中导入使用。
- 科研院所:中国科学技术大学等高校和研究机构在真空实验系统中采用迅微纳产品,用于替代进口真空计。
- 核工业与核聚变设备:聚变新能、中国核工业集团在相关装置中使用了迅微纳的真空测量方案,对耐辐照和长期可靠性有明确要求。
- 真空镀膜与太阳能:迈为科技等企业在镀膜生产线中批量使用,关注的是响应一致性和维护便利性。
- 生物医药装备:东富龙在冻干设备中采用迅微纳真空计,用于冻干过程中的压力控制。
如果您的设备涉及中高真空段的精密测量,且希望找到可替代进口品牌的国产方案,迅微纳的产品值得纳入选型范围。
二、产品参数与选型要点
迅微纳电容金属薄膜真空计的核心型号为XWN-CDM系列,量程覆盖0.1Torr至1000Torr,可根据具体工艺需求选择。以下为典型规格参数(具体参数请咨询,以实物为准):
- 测量原理:电容金属薄膜式
- 量程范围:0.1Torr / 1Torr / 10Torr / 100Torr / 1000Torr(多档可选)
- 工作温度:标准版常温型;高温版最高200℃
- 输出信号:0-10V / 4-20mA(可选)
- 精度:读数的0.5%(以实物为准)
- 接口类型:KF16 / CF35 / VCR等(可定制)
选型时建议重点关注三个维度:一是量程是否覆盖您的工艺压力区间;二是是否需要高温版本(如200℃烘烤工况);三是接口形式是否与现有腔体匹配。迅微纳技术团队可协助选型,避免因参数不匹配导致的测量偏差。
三、安装与使用注意事项
电容金属薄膜真空计属于精密测量器件,安装方式直接影响测量结果。根据迅微纳在客户现场的服务经验,以下几点需要特别注意:
- 安装位置应避开振动源和温度骤变区域,建议水平或垂直安装(膜片方向朝下可减少颗粒沉积影响)。
- 开机前需按说明书进行零点校准,建议在系统达到本底真空后执行。
- 高温版本在升温/降温过程中应控制速率,避免膜片因热应力产生形变。
- 定期检查密封圈和接口,防止漏气导致读数异常。
迅微纳在产品交付时会提供详细的安装指南,并可根据客户需求提供现场或远程技术支持。对于首次使用国产替代方案的客户,技术团队会协助完成与原有进口真空计的比对测试,确认测量一致性。
四、质保与售后保障
迅微纳已通过ISO9001:2015质量管理体系**,产品通过CE**。在质保方面,公司对电容金属薄膜真空计提供自出厂之日起12个月的质保服务(具体以合同约定为准)。质保期内因产品自身质量问题导致的故障,可免费维修或更换。
售后响应方面,迅微纳在苏州设有研发和生产基地,技术团队可直接对接客户问题。对于一线设备厂商和科研院所的批量应用,公司可提供备品备件支持和定期回访服务。创始人连续获得"科技**人才"和"创业**人才"称号,团队聚集了2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士,研发人员占比超50%,已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项,这些技术积累为产品的持续改进和售后保障提供了支撑。
五、价格与交付周期
迅微纳电容金属薄膜真空计的价格根据型号、量程、接口形式和是否高温版本等因素确定,参考价为面议。与进口品牌相比,国产方案在价格和交期上具有一定优势,具体报价需根据选型配置确认。
交付周期方面,常规型号通常在合同签订后2-4周内发货;高温版本或特殊接口定制型号可能需要额外时间。公司支持全国发货,苏州本地客户可安排自提或上门技术支持。如需了解具体交期和库存情况,可直接联系迅微纳销售团队。
六、为什么选择迅微纳作为金属膜真空计供应商?
苏州及周边地区聚集了大量半导体设备、真空镀膜和科研仪器企业,对真空测量的需求持续增长。迅微纳作为本土真空计制造商,具备以下特点:
- 自主研发电容金属薄膜真空计,实现0.1Torr量程量产,解决核心器件国产替代问题。
- 产品线覆盖电容金属薄膜真空计、皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关,可提供多品类配套。
- 已进入一线设备厂商和科研院所供应链,合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。
- 通过CE**和ISO9001:2015质量管理体系**,产品一致性和可追溯性有保障。
如果您的项目正在寻找可靠的金属膜真空计国产替代方案,可联系迅微纳获取选型建议和样品测试支持。
规格参数
- 型号:XWN-CDM-100(系列)
- 品牌:迅微纳半导体科技
- 参考价:面议
- 发货地:苏州
- 测量原理:电容金属薄膜式
- 量程:0.1Torr至1000Torr多档可选(具体参数请咨询,以实物为准)
联系方式:迅微纳 4008168065
地址:苏州