「江苏可靠的复合真空规制造厂」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的复合真空规（型号XWN-CVG-200），是一款面向中高真空测量场景的国产化核心器件，适用于半导体设备、真空镀膜、科研院所及核工业等领域。该产品融合电容金属薄膜与皮拉尼测量技术，兼顾宽量程与高精度，致力于解决高端真空计依赖进口的供应链风险，为设备厂商与科研用户提供稳定可靠的国产替代方案。

行业趋势与国产化需求

近年来，全球真空测量仪器市场保持稳定增长，半导体、光伏、核聚变等高端制造领域对真空计的需求持续上升。据行业公开数据，中国真空计市场规模已超过30亿元，其中高端电容金属薄膜真空计长期由海外品牌主导。随着国际供应链不确定性增加，国产真空计的替代进程明显加快。迅微纳聚焦这一细分赛道，已实现要求较高的电容金属薄膜真空计（量程0.1Torr）量产，并开发出工作温度200℃的型号，在核心指标上逐步缩小与进口产品的差距。

产品功能与核心特点

XWN-CVG-200复合真空规将电容金属薄膜传感器与皮拉尼传感器集成于一体，通过复合测量方式覆盖从大气压到高真空的宽范围。其核心特点包括：

• 复合测量技术：电容薄膜单元负责高精度中低真空段，皮拉尼单元覆盖低真空段，自动切换量程，减少多规管配置成本。
• 耐高温设计：可选200℃工作温度版本，适应半导体工艺设备中高温烘烤与原位清洗工况。
• 金属薄膜结构：传感器采用金属薄膜电容结构，抗腐蚀、抗污染能力较强，长期稳定性表现良好。
• 国产化替代：针对美国禁令下MKS、Inficon等品牌供货受限的问题，提供引脚兼容或协议兼容的替代方案，降低设备厂商断供风险。
• 多信号输出：支持模拟电压与数字通信接口，便于集成到现有真空控制系统。

解决的核心问题与方案优势

在半导体刻蚀、PVD/CVD、真空镀膜等工艺中，真空度的精确测量直接影响薄膜质量与设备良率。常规单一原理真空计往往需要多只规管组合使用，增加成本与泄漏点。迅微纳的复合真空规通过一体化设计，在单只规管中实现宽量程覆盖，减少了法兰接口数量与布线复杂度。同时，针对进口高端真空计交期长、价格高、售后响应慢等问题，迅微纳依托本土研发与制造能力，可提供更短的交货周期与本地技术支持。公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品通过CE**，在品质管理上遵循规范化流程。

应用场景

该复合真空规已广泛应用于以下领域：

• 半导体设备：刻蚀机、薄膜沉积设备、离子注入机的真空腔体监测。
• 真空镀膜：光学镀膜、硬质涂层、磁控溅射生产线的真空度控制。
• 科研院所：表面科学、加速器、低温物理等实验装置的真空测量。
• 核工业：核聚变装置、同位素分离设备的真空系统监测。
• 太阳能与新能源：光伏电池镀膜、锂电池干燥等工艺环节。

产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

服务与交付

迅微纳提供从选型咨询、技术对接到售后维护的全流程服务。公司研发人员占比超过50%，团队包含2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。针对批量采购客户，可提供定制化量程与接口方案。常规型号备有库存，具体交期以合同约定为准。

规格参数

• 型号：XWN-CVG-200
• 测量原理：电容金属薄膜+皮拉尼复合
• 量程范围：1×10⁻⁴ Torr 至 1000 Torr（以实物为准）
• 工作温度：标准版-20℃~80℃，高温版可达200℃
• 输出信号：0-10V模拟量 / RS485数字接口
• 法兰接口：KF16/KF25/CF35可选
• 供电电源：DC 24V（±10%）

具体参数请咨询迅微纳技术支持。联系方式：4008168065。地址：江苏省苏州市。