「苏州耐用的0.1mTorr真空规制造厂」-「迅微纳半导体科技」

本文介绍的是迅微纳半导体科技面向高精度真空测量场景推出的0.1mTorr（0.1Torr量程）电容金属薄膜真空计项目案例。该产品主要面向半导体设备、真空镀膜、科研院所及核工业等对低压段测量稳定性要求较高的用户，核心特点是量程覆盖0.1Torr、采用电容金属薄膜传感结构、可实现对进口同类产品的国产化替代。以下通过一个典型设备厂商合作项目，说明产品选型、实施过程与实际成效。

项目背景：一线设备厂商的真空测量国产化需求

2023年，华东地区一家从事真空镀膜设备集成的企业找到迅微纳半导体科技。该企业此前长期使用进口品牌电容薄膜真空计，用于镀膜腔体的低压段压力监控。由于进口产品交期长、价格高，且部分型号受出口管制影响，企业希望寻找一款性能稳定、供货可控的国产替代方案。

客户的核心需求有三点：第一，量程需覆盖0.1Torr低压段，测量精度满足工艺要求；第二，长期运行漂移小，减少校准频次；第三，供应商具备持续供货与技术支持能力。迅微纳团队在了解客户设备结构与工艺窗口后，推荐了XWN-CMG-100M电容金属薄膜真空计作为主选方案。

产品方案：0.1Torr电容金属薄膜真空计的技术特点

XWN-CMG-100M属于电容金属薄膜真空计系列，量程覆盖0.1Torr，采用金属薄膜电容传感结构，对低压段压力变化响应较为灵敏。相比传统皮拉尼规在低压段受气体种类影响较大的问题，电容薄膜结构在0.1Torr附近具有更好的信号稳定性与重复性。

迅微纳半导体科技是一家致力于自主研发、制造和销售高性能真空计的创新公司，聚焦电容金属薄膜真空计的国产替代。公司已实现要求较高的0.1Torr量程电容金属薄膜真空计量产，并开发出工作温度可达200℃的电容金属薄膜真空计，同时拥有皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可覆盖MKS、Inficon等进口品牌的多类应用场景。

• 量程覆盖0.1Torr，适合低压段精密测量
• 电容金属薄膜传感结构，低压段信号稳定
• 可提供200℃高温版本，适应烘烤工况
• 与进口同类产品安装尺寸兼容，便于替换

实施过程：从选型测试到批量导入

项目初期，迅微纳技术团队与客户设备工程师共同确认了接口规格、电气连接与信号输出方式。随后提供样品进行为期六周的在线测试，对比进口产品在相同腔体条件下的读数一致性。测试期间，团队记录了不同工艺阶段的压力曲线，并针对客户设备的电磁环境优化了屏蔽与接地方式。

测试结果显示，XWN-CMG-100M在0.1Torr附近的读数与进口参考规偏差在客户可接受范围内，长期运行漂移表现稳定。客户随后将产品导入两条镀膜设备产线，并逐步扩展至更多机型。迅微纳同步提供了校准建议与备件支持，帮助客户建立本地化的维护流程。

应用场景：覆盖多领域低压测量需求

该型号真空计适用于多种需要低压段精确监控的场景。在半导体设备中，可用于刻蚀、镀膜等工艺腔体的压力控制；在真空镀膜领域，适合光学镀膜、硬质涂层等对压力敏感的工艺；在科研院所，可用于表面分析、薄膜沉积等实验装置。

此外，核工业与核聚变设备对真空测量的可靠性要求较高，迅微纳产品已进入聚变新能（核聚变设备）、中国核工业集团等单位的供应链。在太阳能与半导体领域，合作企业包括三安光电、迈为科技、东富龙等。产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，覆盖科研、工业量产等多种工况。

服务与交付：本地化支持与质量保障

迅微纳半导体科技位于苏州，具备研发与制造能力，研发人员占比超过50%，团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品已通过CE**。

在服务方面，公司提供选型咨询、样品测试、安装指导与售后校准建议。已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，技术积累覆盖电容薄膜、皮拉尼、冷阴极电离等多条产品线。对于批量采购客户，可根据需求提供定制化接口与信号输出方案，具体交付周期与技术支持内容请咨询确认。

规格参数

• 型号: XWN-CMG-100M
• 量程: 0.1Torr（低压段）
• 传感原理: 电容金属薄膜
• 工作温度: 标准版常温，可选200℃高温版本
• 输出信号: 模拟电压/电流（具体以订货型号为准）
• **: CE、ISO9001:2015（企业体系**）

以上参数以实物为准，具体参数请咨询。不同工况下的精度与稳定性表现可能存在差异，建议结合实际应用环境进行选型确认。

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。