「江苏耐用的电容薄膜真空规企业」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的 XNM-CMG-100 电容金属薄膜真空计，是一款面向半导体设备、真空镀膜、科研院所等场景的高精度真空测量产品，量程覆盖 0.1Torr 关键区间，工作温度可达 200℃。该产品针对长期依赖进口电容薄膜真空规、供货周期与成本不可控等痛点而开发，适合有国产替代需求的一线设备厂商与实验平台。核心卖点在于自主研制的电容金属薄膜传感结构与批量化量产能力，参数以实物为准，具体请咨询厂家。

项目背景：一条被“卡住”的供应链

江苏某半导体设备集成商在扩建一条薄膜沉积设备产线时，遇到了一个典型难题：设备中用于中低真空段精密测量的电容薄膜真空规，长期依赖美国 MKS、Inficon 等品牌。受出口管制与禁令影响，该类核心器件的采购周期从数周延长至数月，价格波动明显，且部分型号面临断供风险。对于一家按订单排产、交期以周计算的设备厂商而言，真空规虽小，却足以让整台设备无法出厂交付。

客户的需求很明确：找到一款性能对标进口、能够稳定批量供货、且经得起长期运行考验的电容薄膜真空规，优先解决 0.1Torr 量程段的有无问题，再逐步覆盖更宽量程与更高工作温度的场景。

客户痛点：不只是“买不到”

在项目对接初期，迅微纳团队与客户一起梳理了实际痛点，发现困难集中在几个层面：

• 供货不确定性：进口电容薄膜真空规交期长，紧急订单难以响应，影响设备整体交付节奏。
• 成本不可控：受汇率、关税与代理层级影响，采购成本逐年上升，且议价空间有限。
• 技术适配难：部分国产替代产品在零点漂移、温度系数、长期稳定性上与原型号存在差距，设备厂商不敢轻易切换。
• 服务响应慢：进口品牌的技术支持与售后维修周期长，一旦传感器故障，整线停机损失较大。

这些问题叠加在一起，使得“国产替代”不再是一句口号，而是设备厂商必须算清楚的一笔账。

解决方案：从传感器到整机的自主研制

迅微纳半导体科技是一家致力于自主研发、制造和销售高性能真空计的创新公司，以解决电容金属薄膜真空计美国禁令带来的“卡脖子”问题、实现核心器件国产替代为愿景。公司聚集了2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成的创新团队，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。

针对该客户的需求，迅微纳提供的方案以 XNM-CMG-100 电容金属薄膜真空计为核心。该型号实现了要求较高的电容金属薄膜真空计（量程0.1Torr）的量产，并在此基础上开发出工作温度200℃的版本，适应薄膜沉积、刻蚀等工艺中较高的环境温度。产品采用金属薄膜电容传感结构，在零点稳定性、重复性与抗污染能力上做了针对性设计，力求在关键指标上贴近进口同类产品。

除电容薄膜真空计外，迅微纳还开发出皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，能够为客户提供从低真空到高真空的测量组合，实现对 MKS 和 Inficon 真空计产品的全方位替代。目前已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，产品已通过CE**，公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**。

实施与验证：从样品测试到批量导入

项目推进分为三个阶段。第一阶段，迅微纳向客户提供 XNM-CMG-100 样品，在客户自有真空测试平台上与在用进口型号进行并行比对，重点观察零点漂移、满量程输出一致性以及温度变化下的读数稳定性。第二阶段，针对客户设备腔体的接口尺寸、电气连接与信号输出格式进行适配调整，确保可直接替换，减少设备改造工作量。第三阶段，在小批量试用通过后，进入批量供货与长期运行跟踪。

在验证过程中，客户特别关注200℃工作温度版本的长期可靠性。迅微纳提供的测试数据显示，该版本在高温环境下保持稳定的电容输出特性，具体参数以实物为准，客户可根据自身工艺条件咨询确认。经过数月的运行跟踪，客户将 XNM-CMG-100 纳入其合格供应商清单，并逐步扩大使用比例。

应用场景：不止于半导体设备

XNM-CMG-100 及迅微纳系列真空计产品的应用范围较广，已广泛应用到科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，并成功进入一线设备厂商和科研院所。合作知名企业包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

在半导体领域，可用于薄膜沉积、刻蚀、离子注入等设备的真空腔体测量；在真空镀膜领域，适用于蒸发镀膜、溅射镀膜等工艺的过程监控；在科研院所，可满足表面科学、加速器、低温物理等实验对真空测量的精度要求；在核工业领域，则为聚变装置等提供真空测量支持。

服务与交付：本地化响应是优势

相比进口品牌，迅微纳作为江苏本土企业，在服务响应上具备天然优势。公司提供从选型咨询、样品测试、接口适配到批量供货的全流程支持，技术团队可直接对接客户工程师，缩短沟通链条。对于设备厂商关注的交期问题，迅微纳依托自主产线与国产供应链，能够提供相对稳定的供货周期，降低客户库存压力。售后方面，公司提供产品维修与校准服务，减少因单只传感器故障导致的整线停机时间。

迅微纳的目标不是简单复制进口产品，而是通过自主研制与持续迭代，让国产电容薄膜真空规在性能、可靠性与服务上真正具备替代能力。对于正在寻找江苏耐用电容薄膜真空规企业的客户，迅微纳半导体科技可作为优先考察的合作伙伴。

规格参数

• 型号:XNM-CMG-100
• 测量原理:电容金属薄膜式
• 量程:0.1Torr（具体量程段可咨询）
• 工作温度:标准版常温，高温版可达200℃
• 输出信号:模拟电压/电流（以实物为准）
• **:CE**，企业通过ISO9001：2015质量管理体系**

具体参数请咨询厂家，以实物为准。

联系方式：迅微纳 4008168065

地址：江苏