「苏州行业内电容薄膜真空规制造企业」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的电容薄膜真空规，是一款面向高精度真空测量场景的自主研发产品，量程覆盖0.1Torr至1000Torr，适用于半导体设备、真空镀膜、科研院所及核工业等领域。该产品以电容金属薄膜传感技术为核心，在国产替代背景下，为设备厂商和科研用户提供稳定可靠的真空测量方案，兼顾采购成本与长期使用价值。

产品定位与核心功能

电容薄膜真空规是一种利用金属薄膜电容变化来测量气体压力的精密传感器。当真空腔体内的压力发生变化时，薄膜两侧的压差导致薄膜产生微小位移，进而改变电容值，通过信号处理电路输出与压力成线性关系的电信号。迅微纳的XWN-CDM-1000系列采用全金属密封结构，感压薄膜经过特殊工艺处理，具备良好的温度稳定性和抗腐蚀能力。

该型号的显著特点在于实现了0.1Torr量程的自主量产。这一量程段此前主要依赖进口品牌，迅微纳通过自主设计薄膜张力控制工艺和信号调理电路，使产品在低量程段仍能保持稳定的分辨率与重复性。同时，公司还开发出工作温度可达200℃的高温型电容薄膜真空规，适应半导体刻蚀、CVD等高温工艺环境下的原位测量需求。

解决什么问题与方案优势

在半导体制造和高端真空设备中，真空度的精确控制直接影响工艺良率和设备稳定性。常规的皮拉尼规和冷阴极规在低量程段精度有限，而进口电容薄膜规虽然性能成熟，但面临交货周期长、价格高、售后响应慢等问题。迅微纳的电容薄膜真空规从设计到制造实现自主可控，能够为设备厂商提供更短的交货周期和更灵活的技术支持。

相比常规真空测量方案，该产品的优势体现在几个方面：

• 量程覆盖0.1Torr至1000Torr，单只传感器即可满足中低真空段的宽范围测量需求；
• 全金属结构，无有机材料放气，适合超高洁净度要求的半导体工艺环境；
• 200℃高温版本可选，适应腔体烘烤和高温工艺条件下的原位测量；
• 信号输出线性度好，长期漂移小，减少频繁校准带来的维护成本；
• 国产化供应，备件与技术服务响应更及时，降低设备全生命周期的维护支出。

从长期价值角度看，选择国产电容薄膜真空规不仅是在采购成本上获得优势，更在于供应链的稳定性和技术支持的可持续性。迅微纳已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品通过CE**，具备批量供货和定制化开发能力。

适用场景与行业应用

该产品已广泛应用于多个对真空测量有明确要求的领域。在半导体设备中，电容薄膜真空规用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺腔体的压力控制；在真空镀膜行业，用于蒸发镀膜、磁控溅射等设备的真空度监测；在科研院所，用于加速器、表面分析仪器等装置的真空系统；在核工业领域，用于聚变装置等特殊环境下的压力测量。

迅微纳的合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。这些应用案例表明，该产品在精度、稳定性和环境适应性方面能够满足不同行业的实际需求。

研发与制造能力

迅微纳是一家致力于自主研发、制造和销售高性能真空计的创新公司，核心团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，研发人员占比超过50%。创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司在电容金属薄膜真空计领域已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。

除电容薄膜真空规外，公司还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，能够为设备厂商提供多品类真空测量解决方案。产品已成功进入一线设备厂商和科研院所的供应链体系。

服务与交付

迅微纳提供从选型咨询、技术对接到售后维护的全流程服务。针对设备厂商的集成需求，可提供定制化接口和信号输出配置。常规产品交货周期根据订单数量协商确定，具体参数和价格请咨询销售人员。产品发货地为苏州，可发往全国。

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。

规格参数

• 型号: XWN-CDM-1000
• 量程: 0.1Torr至1000Torr（可选分段量程）
• 工作温度: 标准型-20℃至80℃，高温型可达200℃
• 输出信号: 0-10V / 4-20mA（可选）
• 接口类型: KF16、CF16、CF35等真空法兰（可选）
• 精度: 满量程的±0.5%（以实物为准，具体参数请咨询）