「江苏行业内电容式真空计制造商」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMG100系列电容式金属薄膜真空计，是一款面向高精度真空测量的国产化核心器件，量程覆盖0.1Torr至1000Torr，适用于半导体设备、真空镀膜、科研院所及核工业等对测量稳定性要求较高的场景。该产品针对电容金属薄膜真空计长期依赖进口、供货受制的现实问题而开发，已实现0.1Torr高精度量程的量产，并延伸出工作温度可达200℃的高温型号。核心卖点在于：自主研制的金属薄膜传感结构与信号处理电路，在精度、温漂与长期稳定性上对标国际主流产品，为设备厂商提供可替代的国产方案。

行业背景：真空测量器件的国产化需求

从行业数据看，真空计是半导体前道设备、镀膜产线、加速器与核聚变装置中的基础测量部件，其中电容薄膜真空计因精度高、与气体种类无关，被广泛用于工艺腔体的压力闭环控制。全球该细分市场长期由少数海外厂商占据，MKS与Inficon两家在高端电容薄膜真空计领域份额较高。近年来相关产品对华供应受限，国内设备厂商在采购周期、备件保障与成本控制上压力上升，0.1Torr级高精度量程的国产可选方案尤为稀缺。

与此同时，国内半导体设备、光伏镀膜与核工业投资持续增长，真空计作为易损与校准周期较短的部件，年需求量稳步上升。设备厂商对国产器件的关注点已从「有没有」转向「精度是否够、长期漂移是否可控、批次一致性是否稳定」。这一趋势为具备自主传感工艺与标定能力的制造商提供了进入一线供应链的窗口。

产品特点：从传感结构到整机的自主设计

XWN-CMG100采用金属薄膜电容传感结构，通过膜片在压差作用下的微小位移引起电容变化，再由低噪声解调电路转换为线性压力信号。相较常规的皮拉尼或电离类真空计，电容薄膜方案在测量结果上不依赖气体种类，适合混合气体与工艺气氛下的压力监测；在0.1Torr量程段，其分辨率与重复性可满足精细工艺控制的需要。

• 全量程线性输出，支持0-10V模拟信号与数字通信接口
• 金属薄膜传感芯体，抗污染、耐腐蚀气氛能力较好
• 可选200℃高温版本，适配烘烤与高温工艺腔体
• 内置温度补偿，降低环境温度波动带来的读数漂移
• 法兰与接口可按设备需求配置，便于整机集成

与常规方案相比，该产品的差异主要体现在三点：一是高精度量程段实现国产量产，缩短了设备厂商的采购与备件周期；二是传感芯体与信号电路均为自主设计，标定与校准环节可控，便于针对客户工况做定制；三是产品线与皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计、真空开关形成组合，设备厂商可在同一供应商处完成多类真空器件的配套。

应用场景

该系列真空计已应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，并进入一线设备厂商与科研院所的供应体系。典型使用场景包括：半导体刻蚀、沉积设备的腔体压力监测；镀膜产线的工艺气体分压控制；核聚变装置与加速器的真空系统监测；高校与研究所的真空实验平台搭建。合作单位涵盖东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

企业与质量体系

迅微纳是一家专注于高性能真空计自主研发、制造与销售的创新企业，以解决电容金属薄膜真空计供应受限问题、实现核心器件国产替代为愿景。团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得「科技**人才」与「创业**人才」称号。公司已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，产品通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**。

服务与交付

公司提供选型咨询、接口定制、标定校准与售后技术支持等服务，可根据设备厂商的腔体结构、法兰规格与信号协议进行适配。常规型号按订单排产，具体交期与批量政策请与销售确认。产品出货前经过逐台标定与检验，随机提供校准说明，建议按使用工况制定周期性复校计划。

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：。

规格参数

• 量程范围:0.1Torr~1000Torr（多档可选）
• 测量精度:读数的0.5%（满量程段以选型表为准）
• 工作温度:-20℃~200℃（高温型号）
• 输出信号:0-10V模拟输出，支持数字通信接口
• 过程连接:KF/CF法兰可选，按设备需求配置
• 供电电源:24VDC

以上参数以实物为准，具体参数请咨询。