「江苏行业内PVD设备用真空规加工厂」-「迅微纳半导体科技」

本文以江苏某PVD设备厂商的真空规选型与配套项目为主线，介绍迅微纳半导体科技在PVD设备用真空规领域的加工与供货能力。该项目面向PVD镀膜设备整机厂及产线用户，核心解决进口电容金属薄膜真空计供货受限、交期不稳、维护成本高等问题。迅微纳以自主研发的电容金属薄膜真空计为核心产品，覆盖0.1Torr等高精度量程，并可提供200℃高温型产品，适合对测量稳定性和国产化配套有要求的PVD设备场景。

项目背景：PVD设备厂商的真空测量痛点

PVD（物理气相沉积）设备在镀膜过程中需要实时监测腔体真空度，真空规的精度、稳定性与响应速度直接影响成膜质量与设备稼动率。江苏是国内真空镀膜设备与半导体设备配套较为集中的区域，当地一家PVD设备厂商在整机配套中遇到几类现实问题：

• 原配套的进口电容金属薄膜真空计受出口管制与供应链波动影响，采购周期长，部分型号供货不确定；
• 进口规维修与校准需返厂，周期长、费用高，影响设备交付与售后响应；
• 设备腔体工艺温度较高，常规真空规在高温工况下零点漂移明显，需要更高耐温的测量方案；
• 整机厂希望真空规供应商能配合做接口、协议与安装结构的定制化适配，而进口品牌响应链条较长。

该客户的核心诉求可以概括为：找到一款精度满足0.1Torr量级、可耐较高腔体温度、供货稳定、能配合整机做适配的国产电容金属薄膜真空计，并具备批量交付与售后支持能力。

解决方案：以电容金属薄膜真空计为核心的配套方案

针对上述需求，迅微纳半导体科技以自主研发的电容金属薄膜真空计（型号XWN-CMG-100）作为主选方案，配合整机厂的腔体结构和控制系统完成配套设计。电容金属薄膜真空计采用金属薄膜电容传感结构，具有精度高、长期稳定性好、对气体种类不敏感等特点，适合PVD这类对真空度测量一致性要求较高的工艺场景。

方案要点包括：

• 量程匹配：选用覆盖0.1Torr量程段的电容金属薄膜真空计，满足PVD工艺中低真空段的精密测量需求；
• 耐温设计：针对客户腔体温度较高的工况，采用工作温度可达200℃的电容金属薄膜真空计型号，降低高温下的测量漂移；
• 接口适配：根据整机法兰规格与电气接口要求进行结构与信号适配，便于客户整机集成；
• 产品矩阵补充：在粗真空段搭配皮拉尼真空计，在高真空段可选用冷阴极电离真空计，并配套真空开关用于联锁保护，形成完整的真空测量组合。

迅微纳是一家致力于自主研发、制造和销售高性能真空计的创新公司，以解决电容金属薄膜真空计进口受限带来的“卡脖子”问题、实现核心器件国产替代为愿景。公司团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。目前已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，产品已通过CE**，公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**。

实施过程：从样品验证到批量配套

项目按“样品验证—小批试用—批量配套”的节奏推进。第一阶段，迅微纳根据客户提供的腔体参数与工艺条件提供样品，双方在客户测试台上完成零点稳定性、重复性与温度漂移的对比测试；第二阶段，在小批量装机试用中跟踪设备运行数据，针对安装位置、密封方式与信号线布局做调整；第三阶段，确认产品一致性后进入批量供货，并同步建立备件与校准服务通道。

在实施过程中，迅微纳的研发与工艺团队保持与整机厂工程师的直接对接，缩短了问题反馈与改进周期。对于整机厂关心的批次一致性问题，公司依托质量管理体系对来料、装配、测试环节进行过程控制，出厂前逐台进行校准与检验。

项目成效：供货稳定与配套响应能力的提升

通过本次配套，客户在真空规环节实现了较为稳定的国产化供应，采购周期与售后响应时间较此前明显缩短，整机交付节奏更有保障。高温型电容金属薄膜真空计的应用，也使设备在较高腔体温度下的测量稳定性得到改善。对整机厂而言，真空规从“外购受限件”转变为“可协同开发的配套件”，在接口定制与后续产品迭代上获得了更大的灵活性。

需要说明的是，具体测量表现与适用性需结合设备工况确认，以上成效基于该项目实际使用反馈，不同应用场景可能存在差异。

应用场景

迅微纳的真空计产品已广泛应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，并进入一线设备厂商和科研院所的供应链。合作知名企业包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团。在PVD设备场景中，电容金属薄膜真空计主要用于工艺腔体真空度监测；皮拉尼真空计适用于粗真空段测量；冷阴极电离真空计适用于高真空测量；真空开关可用于系统联锁与安全保护。

服务与交付

迅微纳提供从选型咨询、样品测试、接口适配到批量供货与售后校准的全流程支持。产品支持全国发货，具体交期与配套方案可根据项目需求沟通确认。公司具备ISO9001：2015质量管理体系**，产品已通过CE**，可根据客户需求提供相应的技术资料。

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：。

规格参数

• 型号:XWN-CMG-100
• 类型:电容金属薄膜真空计
• 量程:覆盖0.1Torr量程段（具体量程以选型为准）
• 工作温度:常规型与200℃高温型可选
• 输出信号:模拟/数字信号可选，支持接口适配
• **:产品通过CE**，公司通过ISO9001：2015质量管理体系**

以上参数以实物为准，具体参数请咨询。