「江苏有实力的金属薄膜规生产厂家」-「迅微纳半导体科技」

金属薄膜规（电容金属薄膜真空计）是真空测量领域精度较高的一类产品，广泛用于半导体、镀膜、科研与核工业等对真空度要求严格的场景。迅微纳半导体科技面向国产替代需求，已实现0.1Torr量程电容金属薄膜真空计的量产，并推出工作温度200℃的型号，配套皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计与真空开关，形成较完整的产品谱系，适合有进口替换与稳定供货需求的设备厂商和科研单位选用。本文从类型、规格差异和选型要点出发，结合服务流程给出对比建议，具体参数以实物为准。

金属薄膜规的主要类型与规格差异

市面上的金属薄膜规按量程大致分为高精度小量程（约0.1Torr级）、中量程（1～100Torr级）和较大量程（1000Torr级）几档，量程越小，对薄膜结构与信号处理的要求越高。按工作环境可分为常温型与高温型，高温型通常要求在100～200℃下保持稳定性，适用于烘烤工艺或高温制程。按接口与输出形式，有KF、CF法兰可选，模拟输出多为0～10V，部分型号支持数字通讯。选型时应重点关注满量程精度、分辨率、零点稳定性、耐温能力以及与现有控制器/真空系统的接口匹配。

不同需求下的选型建议

若用于半导体前道或高精度科研场景，且量程需求集中在低压段，建议优先考虑0.1Torr级电容金属薄膜真空计，此类产品是国产替代中技术门槛较高的品类；若工艺过程存在烘烤或较高环境温度，应选择高温型；若只需粗真空监测或联锁保护，皮拉尼真空计与真空开关的组合更具成本优势；若需覆盖从大气到高真空的宽范围测量，可采用薄膜规与冷阴极电离真空计组合方案。迅微纳的主推型号XWN-CMG-100即针对低压高精度与国产替换需求设计，可对标MKS、Inficon同类产品，是否适配需结合现场系统确认。

产品参数（以实物为准，具体参数请咨询）

• 量程:0.1Torr（满量程），覆盖低压高精度测量段
• 测量原理:电容金属薄膜式，全金属传感结构
• 工作温度:常温型/高温型（最高200℃）可选
• 输出信号:0～10V模拟输出，可配显示控制器
• 接口形式:KF/CF法兰可选，按系统匹配
• **:产品通过CE**，企业通过ISO9001:2015质量管理体系**

应用场景

该类产品已应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜和核工业等领域，并进入一线设备厂商供应链，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。典型用途包括镀膜腔体真空度监测、半导体工艺腔压力控制、真空系统联锁保护及实验装置真空标定。

服务流程与交付细节

选型阶段，技术人员会先了解客户的量程、介质、温度、接口和控制器匹配情况，再给出型号建议；确认需求后提供样品或小批量试用，便于现场验证；批量交付前进行出厂检测与校准记录整理，随货提供使用说明；交付后提供安装指导与调试支持，遇到量程或接口不匹配可协助调整方案。迅微纳研发人员占比超过50%，团队含2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士，已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，可为定制化需求提供技术对接。具体交期与校准服务内容请咨询确认。

规格参数

• 型号:XWN-CMG-100
• 品牌:迅微纳半导体科技
• 参考价:面议
• 发货地:全国发货
• 量程:0.1Torr
• 工作温度:最高200℃（高温型）

联系方式：迅微纳 4008168065；地址：详询客服。