苏州质量好的电容薄膜真空规加工厂｜迅微纳半导体科技电容薄膜真空规产品介绍

迅微纳半导体科技的电容薄膜真空规（型号 XWN-CMG100）是一款面向高精度低压测量场景的国产真空计，量程覆盖 0.1Torr 级，可满足科研、半导体、镀膜及核工业等领域的真空测量需求。产品针对进口电容薄膜真空计供货受限、交期与成本压力大的现实痛点而开发，适合正在寻找稳定国产替代方案的设备厂商与科研单位。核心卖点在于高量程精度、200℃高温版本可选，以及自主可控的研发与量产能力。

客户痛点：进口真空计的供货与成本压力

电容薄膜真空计长期以进口品牌为主，采购方普遍面临三类问题：一是供货周期不确定，关键型号交期拉长会直接影响整机交付；二是价格与售后成本较高，备件更换和校准周期长；三是部分高精度量程型号存在获取限制。对于设备集成商而言，真空计虽是小部件，却直接关系整机验收与客户信任。

迅微纳半导体科技以自主研发、制造和销售高性能真空计为核心业务，聚焦电容金属薄膜真空计的国产化。公司已实现量程 0.1Torr 的电容金属薄膜真空计量产，并开发出工作温度 200℃ 的电容金属薄膜真空计，可在高温工艺环境下保持测量稳定，为进口替代提供可直接对接的选项。

应用场景一：半导体设备与工艺腔体

半导体薄膜沉积、刻蚀、离子注入等工艺腔体对低压段测量精度要求高，且腔体常伴随温度升高与工艺气体环境。客户需要真空计在 0.1Torr 附近具备稳定分辨能力，并能承受烘烤与工艺升温。

XWN-CMG100 的金属薄膜传感结构适合中低真空段的精密测量，200℃ 高温版本可适配需要高温烘烤的腔体。产品已进入一线设备厂商供应链，可与真空开关、皮拉尼真空计等产品组合，形成腔体真空测量的完整方案。

应用场景二：真空镀膜与太阳能产线

镀膜产线强调连续运行与批次一致性，真空计一旦漂移或损坏，会造成膜层质量波动和停机损失。客户关注的是长期稳定性、抗污染能力与备件响应速度。

迅微纳的电容薄膜真空规采用金属薄膜敏感元件，适合镀膜腔体的压力监控；配合公司皮拉尼真空计与冷阴极电离真空计，可覆盖从粗真空到高真空的全程监测。公司已与迈为科技、三安光电等企业合作，产品在太阳能与镀膜场景中具备实际应用基础。

应用场景三：科研院所与核工业装置

科研装置与核工业设备对真空测量的要求是量程匹配、读数可靠、可长期校准溯源。此类客户往往单台采购、型号多样，对供应商的技术支持能力要求较高。

迅微纳研发人员占比超过 50%，团队包含博士、高级工程师与硕士，能够针对非标量程与接口需求提供技术沟通。产品已应用于中国科学技术大学、中国核工业集团及聚变新能（核聚变设备）等项目，覆盖科研与核工业的典型真空测量场景。

服务与交付

公司已通过 ISO9001:2015 质量管理体系**，产品通过 CE **，从研发、制造到出厂检验形成流程化管理。已申请发明专利 6 项、实用新型 2 项、软件著作权 4 项，核心器件自主可控。

• 支持电容薄膜真空计、皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计、真空开关等系列产品选型配套
• 可对接 MKS、Inficon 同类产品的替换需求，提供参数比对与接口确认
• 面向设备厂商与科研单位提供技术沟通与售后支持
• 具体量程、接口与交付周期以实物为准，欢迎咨询确认

规格参数

• 型号:XWN-CMG100
• 类型:电容金属薄膜真空规
• 量程:0.1Torr 级（具体量程以选型确认为准）
• 工作温度:标准版常温型；高温版可达 200℃
• 输出信号:模拟电压/电流输出（接口可按需确认）
• **:CE；企业通过 ISO9001:2015 质量管理体系**

以上参数以实物为准，具体参数请咨询。

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。