产品/项目名称（包含「苏州有实力的电容薄膜真空规厂家」-【迅微纳半导体科技】）

迅微纳半导体科技自主研发的电容金属薄膜真空规（型号XWN-CMG100），是一款面向高精度真空测量场景的国产替代产品，量程覆盖0.1Torr级，可用于科研院所、半导体、真空镀膜、核工业等领域的真空度测量与控制。产品对标MKS、Inficon等进口品牌，已实现电容金属薄膜真空计的量产，并通过CE**与ISO9001：2015质量管理体系**。本文以常见问题答疑的形式，整理客户在采购和使用前最关心的几个问题，供选型参考。

一、电容薄膜真空规和皮拉尼、电离规相比，该怎么选？

三类真空计原理不同，适用区间也不同。皮拉尼规依靠气体导热测量，结构简单、成本较低，但读数受气体种类影响较大，精度一般；冷阴极电离规适合高真空段测量，但在较低真空度下易失效；电容金属薄膜真空规通过金属薄膜在压差下的电容变化测量压力，与气体种类基本无关，在全量程内精度和稳定性表现较好，适合对测量精度要求较高的工艺环节。

选择时建议先明确三点：测量范围、精度要求、使用环境温度。迅微纳的XWN-CMG100面向0.1Torr级高精度测量需求，同时公司也提供皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可按照实际工况组合选型，不必为单一区间采购多套进口设备。

二、国产电容薄膜真空规与进口产品相比，差距在哪里？

客户最关心的是“能不能替代”。从行业现状看，进口产品在长期一致性和品牌认知上有积累；国产厂家近年进步明显，迅微纳已实现要求较高的0.1Torr量程电容金属薄膜真空计的量产，并开发出工作温度可达200℃的型号，可覆盖部分高温工艺场景。公司目标是对MKS和Inficon相关真空计产品实现替代。

建议采购时从以下维度对比：

• 量程与精度是否满足工艺窗口
• 工作温度是否覆盖设备实际工况
• 是否具备CE**及ISO9001质量管理体系
• 供货周期与售后响应速度
• 是否支持按设备厂商要求做接口与信号适配

参数以实物为准，具体参数请咨询。

三、产品价格大概是多少？为什么不同项目报价有差异？

XWN-CMG100参考价为面议。真空规的最终价格与量程、法兰接口、输出信号形式、工作温度版本、采购数量及是否配套显示控制单元有关，因此不同项目的报价存在差异属于正常情况。建议在询价时提供设备型号、真空段范围、接口规格和预估年用量，以便给出匹配的配置方案和报价。

四、质保与售后如何保障？

产品出厂前经过检测，公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**，产品通过CE**。具体质保期限与售后条款以合同约定为准，采购前可向销售工程师确认。迅微纳研发人员占比超过50%，团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，具备从传感器设计到整机标定的自主能力，出现使用问题时可较快定位原因，减少等待进口备件的时间。

五、如何安装和使用？需要注意什么？

电容薄膜真空规一般通过标准法兰接入真空腔体，安装时注意密封面清洁、避免薄膜承受超量程压差，接线按说明书对应信号与电源端子即可。首次使用建议做零点确认，长期使用后可按周期进行校准。关于安装朝向、烘烤温度、清洗方式等细节，建议以随机说明书为准，或联系技术支持获取针对具体工况的指导。具体参数请咨询。

六、应用场景有哪些？有哪些客户在用？

产品已应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，并进入一线设备厂商和科研院所的供应链。合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。公司在核心器件国产替代方向持续投入，已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。

七、交付周期和合作方式怎样？

常规型号可按库存或排产交付，定制接口、特殊温度版本需按评审后的交期执行。合作方式支持单台采购、批量供货及与设备厂商的配套开发，可根据项目需要提供样品测试与技术对接。发货地为苏州，具体交付安排以合同为准。

规格参数

• 测量原理:电容金属薄膜式
• 量程:0.1Torr级（具体量程段以选型为准）
• 工作温度:标准版常温型，可选高温版（最高约200℃）
• 输出信号:模拟电压/电流输出，可按需配置
• 接口形式:标准真空法兰，支持按设备要求定制
• **:CE**，企业通过ISO9001：2015质量管理体系**

以上参数以实物为准，具体参数请咨询。

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。