「苏州专业的替代MKS的金属薄膜真空规生产厂家」-「迅微纳半导体科技」

这是一款面向半导体设备、真空镀膜与科研装置的国产电容金属薄膜真空计，型号XWN-CMG-100，量程覆盖至0.1Torr，用于替代MKS同类金属薄膜真空规。产品由迅微纳半导体科技自主研发并实现量产，适合对测量稳定性、供货周期和长期使用成本有要求的设备厂商与科研单位。核心卖点是高量程段自主可控、200℃高温版本可选、全系列真空计配套供应，并已通过CE**与ISO9001：2015质量管理体系**。

项目背景：一条被进口器件卡住的产线

华东一家半导体设备集成商在腔体压力检测环节长期使用MKS电容金属薄膜真空计。随着进口渠道收紧，该客户面临三个现实问题：一是0.1Torr高精度量程段交期不确定，影响整机交付节点；二是备件价格逐年上浮，售后维护成本难以预估；三是部分高温工艺工位需要200℃工作温度的传感器，原选型无法覆盖。

客户的需求很明确：找到一款在接口、量程和精度上可对标的国产替代产品，先小批量验证，再逐步导入量产机型，同时希望供应商具备持续供货与技术支持能力，而不是一次性买卖。

解决方案：以0.1Torr量程为切入的替代方案

迅微纳半导体科技为该客户提供了以XWN-CMG-100为核心的替换方案。该型号属于电容金属薄膜真空计，量程覆盖0.1Torr段，是此类产品中制造难度较高的规格。公司已完成该量程产品的量产，并对高温工位提供工作温度200℃的版本，客户可按工位分别选型。

方案要点包括：

• 接口与安装尺寸按客户原有机型适配，减少改机工作量；
• 高温工位单独配置200℃版本，避免整机统一升级带来的成本浪费；
• 同步提供皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关，便于客户在同一供应商处完成粗真空到高真空的配套；
• 先送样测试，通过后再进入小批量试产，降低导入风险。

需要说明的是，具体接口形式、精度与量程组合需根据客户工况确认，以实物为准。

实施过程：从送样测试到小批量导入

项目分三个阶段推进。第一阶段由迅微纳提供样品，客户在自有测试台上与原有进口规进行比对，重点观察零点稳定性、重复性和高温工况下的漂移表现。第二阶段针对比对中发现的安装差异进行适配调整，并确认高温版本的结构细节。第三阶段进入小批量试产，配套供货皮拉尼真空计与真空开关，形成整机真空测量方案的国产化组合。

迅微纳研发人员占比超过50%，团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。这一团队配置使得样品阶段的适配调整可以在较短时间内完成，而不是依赖外部代工协调。

成效与长期价值：算的是全周期成本

导入完成后，客户在该机型上实现了金属薄膜真空规的国产替代，交期从原先的不确定状态转为可按生产计划排产，备件采购与售后响应也由本地团队直接对接。对客户而言，收益不只体现在单只采购价上，更体现在三方面：

• 供货稳定性：核心器件自主制造，减少外部供应波动对整机交付的影响；
• 配套效率：真空计与真空开关同源供应，减少多供应商管理成本；
• 维护成本：本地技术支持缩短故障排查周期，长期使用成本更可控。

目前迅微纳产品已进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团，应用覆盖科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域。公司已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。

应用场景

XWN-CMG-100及同系列产品适用于半导体设备腔体压力检测、真空镀膜工艺监控、太阳能电池制程、核工业真空系统以及高校与科研院所的真空实验装置。对于原本使用MKS或Inficon同类产品的用户，可作为替换选型的参考方向之一；具体适配性需结合实际工况评估。

服务与交付

迅微纳提供选型咨询、样品测试、适配调整与批量供货的全流程支持。发货地为苏州，可根据项目需要安排送样与批量交付。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**。价格按型号与配置面议。

规格参数

• 型号:XWN-CMG-100
• 类型:电容金属薄膜真空计
• 量程:覆盖至0.1Torr段
• 工作温度:标准版；高温版可达200℃
• **:CE**；企业通过ISO9001：2015质量管理体系**
• 配套产品:皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计、真空开关

以上参数以实物为准，具体参数请咨询。

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。