「苏州专业的金属膜真空计制造厂」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技的XWN-CMG-100是一款量程覆盖0.1Torr的电容金属薄膜真空计，主要面向半导体设备、真空镀膜、科研院所及核工业等对真空测量精度和长期稳定性有要求的用户。该产品针对美国禁令下的进口替代需求自主研发，在保证核心指标的同时，兼顾采购成本与全生命周期使用成本，适合需要批量装机或长期连续运行的项目。核心卖点在于国产化供货、可维护性设计和高温版本可选，帮助用户在精度、交期与预算之间取得平衡。

项目背景：一线设备厂商的国产化替换需求

华东某真空镀膜设备厂商在2023年启动核心零部件国产化工作。其镀膜腔体真空测量长期依赖进口电容薄膜真空计，单台设备配置多支，随着设备出货量上升，进口采购周期长、单价高、备件响应慢的问题逐渐显现。用户希望在100mTorr量级测量段找到可稳定替代的国产方案，要求测量重复性好、零点漂移小、接口与原设备兼容，并能提供长期供货和技术支持。

迅微纳半导体科技聚焦高性能真空计的自主研发与制造，团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。这一项目正好对应公司解决电容金属薄膜真空计“卡脖子”问题、推进核心器件国产替代的方向。

需求分析：精度、交期与长期成本的三重考量

项目评审阶段，用户提出了几项明确要求：一是0.1Torr量程内的测量稳定性要满足镀膜工艺控制；二是设备接口、安装尺寸需与原进口件匹配，减少改造成本；三是供货周期可控，备件能快速到位；四是综合使用成本要低于进口方案，包括采购价、维护费用和停机损失。

针对上述需求，迅微纳没有简单追求低价，而是从测量传感器结构、电路温漂补偿和整机可维护性入手，在保证性能的前提下优化成本结构，使产品在批量装机场景下具备较好的性价比。

实施方案：从选型到联调的分阶段推进

第一阶段为样机选型与比对测试。迅微纳提供XWN-CMG-100样机，与用户原有进口产品在同一腔体上并行测量，记录不同压力点下的读数偏差和长期漂移情况。测试结果显示，样机在0.1Torr量程内重复性满足工艺要求，零点稳定性良好。

第二阶段为接口适配与批量验证。针对用户设备的结构特点，双方确认了法兰接口与电气连接方案，并完成小批量装机验证。第三阶段进入批量交付，迅微纳按项目节奏分批供货，同时提供安装指导和参数复核服务，帮助用户产线平稳切换。

• 量程覆盖0.1Torr测量段，适配中低真空工艺监控
• 金属薄膜敏感结构，兼顾响应速度与长期稳定性
• 接口与安装方式可按用户设备定制适配
• 提供200℃高温版本，适应烘烤工况
• 国产化供货，交期与备件响应更可控

应用场景：覆盖多行业真空测量需求

XWN-CMG-100适用于半导体设备腔体压力监控、真空镀膜工艺控制、科研院所真空系统搭建以及核工业相关真空环节。对于需要长期连续运行的设备，金属薄膜结构的稳定性和可维护性有助于降低校准频次和停机时间；对于高温工艺场景，可选用工作温度200℃的版本。

除电容金属薄膜真空计外，迅微纳还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可覆盖从低真空到高真空的多段测量需求，便于用户在同一供应商体系内完成配套选型。目前产品已进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

服务与交付：让长期使用成本可控

迅微纳已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品通过CE**。项目交付中，公司提供选型咨询、安装指导、参数复核和售后技术支持，帮助用户缩短调试周期。对于批量项目，可根据用量和交期安排分批供货，减少用户库存压力。

在长期价值方面，国产化供应链使备件采购和维修响应更加直接，用户不必为跨境物流和长周期返修承担额外成本。公司已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，持续投入产品迭代，为后续维护和升级提供技术支撑。具体价格与服务条款因配置和数量而异，欢迎咨询。

规格参数

• 型号:XWN-CMG-100
• 测量原理:电容金属薄膜式
• 量程:0.1Torr（约13.3Pa）
• 工作温度:常温型；可选200℃高温型
• 输出信号:模拟电压/电流输出（可按需配置）
• **:CE**；企业通过ISO9001:2015质量管理体系**

以上参数以实物为准，具体参数请咨询。

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。