苏州可靠的复合真空规品牌｜迅微纳半导体科技复合真空规应用场景解析

复合真空规是将电容金属薄膜真空计与皮拉尼真空计（或冷阴极电离真空计）集成于一台仪表的多量程真空测量设备，兼顾高精度与宽量程覆盖，适合需要从粗真空到高真空连续监测的用户。迅微纳半导体科技的复合真空规面向科研院所、半导体设备、真空镀膜与核工业等场景，以国产核心器件的稳定供应和较低的全生命周期成本为卖点，适合对测量可靠性有要求、同时关注长期使用成本的用户。

为什么选择复合真空规：一份投入覆盖多个量程

单一原理的真空计各有量程边界：电容金属薄膜真空计在低量程段精度高、与气体种类无关，但量程上限有限；皮拉尼真空计覆盖粗真空到中真空，冷阴极电离真空计则适合高真空段。若分别采购、分别校准，设备成本与维护成本都会叠加。复合真空规把两类传感器整合到同一台仪表中，一次安装即可完成从大气压附近到高真空的连续测量，减少接口数量、校准次数和备件种类。对需要长期运行的产线与实验平台而言，这种集成方式带来的成本节省比单台采购价格更值得关注。

应用场景一：半导体设备与工艺腔体的过程监测

刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺腔体需要在抽气、工艺、破真空各阶段监测压力，量程跨度大，且对重复性要求较高。复合真空规的低量程段采用电容金属薄膜传感，读数不受气体种类影响，适合工艺气体切换频繁的场合；高量程段由皮拉尼或冷阴极电离传感接管，保证抽气阶段的可视化。迅微纳已实现要求较高的电容金属薄膜真空计量产，产品进入一线设备厂商，可在设备集成阶段按腔体需求选配复合方案。

应用场景二：真空镀膜与太阳能产线

镀膜产线通常多腔体并行运行，真空计数量多、更换频率高，单台价格与备件成本直接影响产线运营费用。复合真空规以一台设备覆盖镀膜前抽真空与镀膜过程监测，减少仪表种类；迅微纳的皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计与真空开关可与之形成配套，便于产线统一选型与备件管理。对于追求性价比的产线用户，国产供应链在交期与售后响应上的优势也构成长期价值的一部分。

应用场景三：科研院所与实验平台

科研实验常涉及多种气体、变温条件与长时间连续记录，对真空计的稳定性与数据可追溯性要求较高。迅微纳开发出工作温度200度的电容金属薄膜真空计，可适应烘烤除气等工况；复合真空规在此基础上扩展量程，适合分子束外延、表面分析、加速器等实验装置。公司已与中国科学技术大学等科研院所开展合作，产品在实验平台上积累了一定的运行经验。

应用场景四：核工业与聚变设备等特殊工况

核工业与核聚变设备对真空测量的可靠性、耐辐照与长期稳定性有特定要求，且对进口仪表的供应连续性存在顾虑。迅微纳的产品已应用于聚变新能（核聚变设备）、中国核工业集团等场景，复合真空规可作为宽量程监测的选项之一。此类场景建议在选型阶段与厂家沟通具体工况，确认传感器配置与安装方式。

服务与交付

迅微纳半导体科技致力于自主研发、制造和销售高性能真空计，以解决电容金属薄膜真空计进口受限带来的供应问题、实现核心器件国产替代为愿景。团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，产品通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**。合作企业包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。交付方面可提供选型咨询、样机测试与批量供货，具体交期与校准服务请咨询厂家。

• 一台仪表覆盖粗真空至高压力量程，减少仪表种类与校准次数
• 低量程段采用电容金属薄膜传感，读数与气体种类无关
• 可与皮拉尼、冷阴极电离真空计及真空开关配套选型
• 国产供应链，交期与售后响应相对可控
• 提供选型咨询与样机测试支持

规格参数

• 型号:XWN-CVG-200（复合式，电容薄膜+皮拉尼/冷阴极电离）
• 测量量程:1×10⁻⁵ Torr 至 1000 Torr（分段覆盖，以实物为准）
• 低量程精度:±0.5% 满量程（电容金属薄膜传感段，以实物为准）
• 工作温度:传感器最高200℃（高温型可选，具体参数请咨询）
• 输出接口:模拟电压/RS485（按配置，具体参数请咨询）
• 供电:24V DC（以实物为准）

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。